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正压漏孔校准装置被引量：22: 1; 作者张涤新李得天 +3 位作者张建军许珩冯焱龚月莉《真空科学与技术》 CSCD 北大核心 2001年第1期55-59,共5页; 正压漏孔校准装置是校准气体漏率的计量标准 ,可采用定容法和定量气体动态比较法对正压漏孔进行校准 ,校准范围为 1× 10 2 ～ 5× 10 -5Pa·L/s。; 关键词真空计量学漏率校准正压漏孔校准装置质谱检漏仪标定正压检漏; 在线阅读下载PDF 职称材料

恒压式正压漏孔校准装置的设计被引量：11: 2; 作者冯焱张涤新《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第5期442-445,共4页; 设计了基于恒压自动控制的正压漏孔校准装置,装置由供气和稳压系统、抽气系统、校准系统、测量与控制系统、恒温系统等五部分组成,可采用比例积分微分(PID)控制模式和压力微小波动控制模式校准正压漏孔。在装置的设计中,解决了计算机控... 展开更多; 关键词真空计量学正压漏孔漏率校准校准装置恒压法; 在线阅读下载PDF 职称材料

极小气体流量测量技术研究被引量：17: 3; 作者李得天冯焱 +2 位作者成永军张涤新郭美如《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第4期435-439,共5页; 介绍了固定流导法极小气体流量测量技术,利用流导值为10-9m3/s量级的精密小孔,通过在10-110 Pa范围内调节进气压力,实现了10-810-10Pa·m3/s的流量测量,合成标准不确定度为0.94%。利用流导比值为187.9的两个激光小孔,将固定流导法... 展开更多; 关键词极小气体流量固定流导法分流法漏率校准; 在线阅读下载PDF 职称材料