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SnO_2纳米颗粒气体传感器在CO_2气体检测中的应用
被引量：
1
1
作者
王凌英
丁占来
《传感器与微系统》
CSCD
北大核心
2007年第12期114-116,共3页
将有机金属先驱体[Sn(N(CH3)2)2]2在适当的条件下热解,制备了尺寸分布集中的SnO2纳米颗粒。然后,在气体传感器的多晶硅层上原位沉积纳米颗粒悬浮液得到纳米颗粒多孔薄膜传感层,并探索了SnO2纳米颗粒传感器原位掺杂Mg,K,Ba元素,检测气体...
将有机金属先驱体[Sn(N(CH3)2)2]2在适当的条件下热解,制备了尺寸分布集中的SnO2纳米颗粒。然后,在气体传感器的多晶硅层上原位沉积纳米颗粒悬浮液得到纳米颗粒多孔薄膜传感层,并探索了SnO2纳米颗粒传感器原位掺杂Mg,K,Ba元素,检测气体传感器在不同CO2体积分数下的敏感性。结果表明:此方法制得的传感器对CO2气体敏感性不佳,尚需进一步研究掺杂元素和掺杂工艺。
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关键词
SnO2纳米颗粒
气体传感器
滴液沉积法
CO2气体
敏感性
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职称材料
题名
SnO_2纳米颗粒气体传感器在CO_2气体检测中的应用
被引量：
1
1
作者
王凌英
丁占来
机构
石家庄铁道学院材料科学与工程分院
出处
《传感器与微系统》
CSCD
北大核心
2007年第12期114-116,共3页
基金
河北省留学回国人员择优资助项目
文摘
将有机金属先驱体[Sn(N(CH3)2)2]2在适当的条件下热解,制备了尺寸分布集中的SnO2纳米颗粒。然后,在气体传感器的多晶硅层上原位沉积纳米颗粒悬浮液得到纳米颗粒多孔薄膜传感层,并探索了SnO2纳米颗粒传感器原位掺杂Mg,K,Ba元素,检测气体传感器在不同CO2体积分数下的敏感性。结果表明:此方法制得的传感器对CO2气体敏感性不佳,尚需进一步研究掺杂元素和掺杂工艺。
关键词
SnO2纳米颗粒
气体传感器
滴液沉积法
CO2气体
敏感性
Keywords
SnO2 nanoparticles
gas sensor
dropping deposit method
CO2 gas
sensibility
分类号
O614.4 [理学—无机化学]
TN304 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
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1
SnO_2纳米颗粒气体传感器在CO_2气体检测中的应用
王凌英
丁占来
《传感器与微系统》
CSCD
北大核心
2007
1
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