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压敏电阻位置对压阻式压力传感器输出影响研究
1
作者
郝一鸣
雷程
+4 位作者
王涛龙
余建刚
冀鹏飞
闫施锦
梁庭
《仪表技术与传感器》
北大核心
2025年第5期10-14,共5页
随着MEMS技术的快速发展,压阻式压力传感器在微型化进程中面临性能挑战。文中采用有限元模拟分析方法,研究了膜片尺寸和压敏电阻的布局对传感器输出的影响。芯片尺寸固定为1 100μm×700μm×400μm。结果表明:方形膜片边长与...
随着MEMS技术的快速发展,压阻式压力传感器在微型化进程中面临性能挑战。文中采用有限元模拟分析方法,研究了膜片尺寸和压敏电阻的布局对传感器输出的影响。芯片尺寸固定为1 100μm×700μm×400μm。结果表明:方形膜片边长与芯片宽度的比例小于4∶5时,最大应力随膜片边长的增加而变大。选取膜片尺寸为460μm×460μm×7.5μm,当压敏电阻置于敏感膜上时,输出电压随压敏电阻到膜片边缘距离的减小而增大。当平行于膜边电阻超过敏感膜边缘2μm、垂直于膜边电阻超过敏感膜边缘6μm时,芯片满量程输出最大。结果显示,膜片相对于芯片尺寸的比例以及压敏电阻的布局对压阻式压力传感器输出特性具有显著的影响,合理设计芯片结构,可以确保在压力传感器的微型化过程中实现高性能的目标。
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关键词
压阻式压力传感器
有限元仿真
敏感膜尺寸
压敏电阻
满量程输出
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职称材料
题名
压敏电阻位置对压阻式压力传感器输出影响研究
1
作者
郝一鸣
雷程
王涛龙
余建刚
冀鹏飞
闫施锦
梁庭
机构
中北大学
成都天奥电子股份有限公司
出处
《仪表技术与传感器》
北大核心
2025年第5期10-14,共5页
基金
国家重点研发计划项目(2023YFB3209100)
中央引导地方科技发展资金项目(YDZJSX20231B006)
山西省重点研发计划项目(202302030201001)。
文摘
随着MEMS技术的快速发展,压阻式压力传感器在微型化进程中面临性能挑战。文中采用有限元模拟分析方法,研究了膜片尺寸和压敏电阻的布局对传感器输出的影响。芯片尺寸固定为1 100μm×700μm×400μm。结果表明:方形膜片边长与芯片宽度的比例小于4∶5时,最大应力随膜片边长的增加而变大。选取膜片尺寸为460μm×460μm×7.5μm,当压敏电阻置于敏感膜上时,输出电压随压敏电阻到膜片边缘距离的减小而增大。当平行于膜边电阻超过敏感膜边缘2μm、垂直于膜边电阻超过敏感膜边缘6μm时,芯片满量程输出最大。结果显示,膜片相对于芯片尺寸的比例以及压敏电阻的布局对压阻式压力传感器输出特性具有显著的影响,合理设计芯片结构,可以确保在压力传感器的微型化过程中实现高性能的目标。
关键词
压阻式压力传感器
有限元仿真
敏感膜尺寸
压敏电阻
满量程输出
Keywords
piezoresistive pressure sensors
finite element simulation
sensitive film size
varistors
full-scale output
分类号
TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
压敏电阻位置对压阻式压力传感器输出影响研究
郝一鸣
雷程
王涛龙
余建刚
冀鹏飞
闫施锦
梁庭
《仪表技术与传感器》
北大核心
2025
0
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职称材料
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