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题名激光等离子体对微纳颗粒去除效果的空间特性
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作者
李小魁
张秋慧
高胥华
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机构
河南工程学院电气信息工程学院
中国工程物理研究院激光聚变研究中心
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出处
《激光杂志》
北大核心
2018年第1期64-68,共5页
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基金
高等学校重点科研项目(No.15A510020)
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文摘
在半导体器件精密加工等领域,微纳粒子对器件污染会严重影响器件的性能,如何有效对其进行去除,已经成为一个亟待解决的问题。本文研究了激光等离子体冲击波去除硅基片表面Al微纳米颗粒的去除机理,以及不同的去除机理对应的去除区域,得出了每个区域的范围。研究结果表明：激光等离子体对微粒的去除效果与空间位置密切相关,在激光等离子体的正下方区域（A区域）为去除效应较差,而向外扩展的区域（B区域）则具有最佳的去除效应,后随着距离的增加,去除效果越来越差。这种空间分布特征与激光等离子体冲击波的空间部分密切相关,在A区域主要是基于弹跳去除模型,主要是依靠冲击波向下的压力而弹跳去除;在B区域则是基于滚动去除,该区域压力的作用主要是平行于基地,所以去除效果最好;随着距离的增加,压力逐渐变弱,微粒去除效果逐渐变差（C区域）。
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关键词
激光等离子体
冲击波
微纳颗粒去除
弹跳去除
滚动去除
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Keywords
laser plasma
shock wave
the removal of miero-nano particles
bounce removal mode
rolling re- moval mode
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分类号
TN248.1
[电子电信—物理电子学]
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