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磁驱动滑动弧放电装置的磁路设计 被引量:1
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作者 江中和 刘明海 +1 位作者 辜承林 潘垣 《核聚变与等离子体物理》 CAS CSCD 北大核心 2002年第2期111-114,共4页
大气压磁驱动滑动弧放电能产生具有约束性能较好的非平衡等离子体 ,在微电子工业、环境工程等领域有广泛的应用前景。利用磁导法对此装置进行了磁路设计 ,得出了磁感应强度、磁体厚度、气隙长度三者之间的解析表达式。所得出的结果与有... 大气压磁驱动滑动弧放电能产生具有约束性能较好的非平衡等离子体 ,在微电子工业、环境工程等领域有广泛的应用前景。利用磁导法对此装置进行了磁路设计 ,得出了磁感应强度、磁体厚度、气隙长度三者之间的解析表达式。所得出的结果与有限元分析结果进行了比较 ,偏差约为 3 1% ,但磁导法简捷方便 ,通用性强 ,经济性好 。 展开更多
关键词 磁路 磁导 有限元法 大气压非平衡等离子体 优化设计 低温等离子体 磁驱动 滑动弧放电装置 磁路设计
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