期刊文献+
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
共找到87篇文章
< 1 2 … 5 >
每页显示 20 50 100
已选择0条
导出题录 引用分析
参考文献
引证文献
 统计分析
检索结果
已选文献
显示方式：
基于超薄Al2O3栅绝缘层的低工作电压IGZO薄膜晶体管及其在共源极放大器中的应用 被引量：4
1
作者 张浩 李俊 +5 位作者 赵婷婷 郭爱英 李痛快 茅帅帅 原理 张建华 《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2020年第4期451-460,共10页
随着薄膜晶体管(Thin-film transistor,TFT)在各类新兴电子产品中得到广泛应用,作为各类电子设备的关键组件,其工作电压和稳定性面临着巨大挑战。为了满足未来高度集成化、功能复杂的应用场合,实现其低工作电压和高稳定性就变得异常重... 随着薄膜晶体管(Thin-film transistor,TFT)在各类新兴电子产品中得到广泛应用,作为各类电子设备的关键组件,其工作电压和稳定性面临着巨大挑战。为了满足未来高度集成化、功能复杂的应用场合,实现其低工作电压和高稳定性就变得异常重要。我们在150 mm×150 mm大面积玻璃基底上,采用磁控溅射非晶铟镓锌氧化物(amorphous indium-gallium-zinc-oxide,a-IGZO)作为有源层,以原子层沉积(ALD)Al2O3为栅绝缘层,制备了底栅顶接触型a-IGZO TFT,并研究了50,40,30,20 nm超薄Al2O3栅绝缘层对TFT器件的影响。其中,20 nm超薄Al2O3栅绝缘层TFT具有最优综合性能:1 V的低工作电压、接近0 V的阈值电压和仅为65.21 mV/dec的亚阈值摆幅,还具有15.52 cm^2/(V·s)的高载流子迁移率以及5.85×10^7的高开关比。同时,器件还表现出优异的稳定性:栅极±5 V偏压1 h阈值电压波动最小仅为0.09 V以及优良的150 mm×150 mm大面积分布均一性。实现了TFT器件的低工作电压和高稳定性。最后,以该TFT器件为基础设计了共源极放大器,得到14 dB的放大增益。 展开更多
关键词 a-IGZO薄膜晶体管 Al2O3栅绝缘层 原子层沉积 共源极放大器
在线阅读 下载PDF
基于电感源极退化技术的高线性混频器设计
2
作者 张雷鸣 刘博 张金灿 《电子技术应用》 北大核心 2016年第2期32-35,共4页
基于电感源极退化技术设计了一款新颖的高线性度正反馈跨导放大器,并且将该跨导放大器应用于折叠结构式混频器当中。通过抵消反相器和辅助放大器之间的三阶跨导分量,改善了其线性度。电路采用TSMC 0.13μm CMOS工艺进行设计与仿真,完成... 基于电感源极退化技术设计了一款新颖的高线性度正反馈跨导放大器,并且将该跨导放大器应用于折叠结构式混频器当中。通过抵消反相器和辅助放大器之间的三阶跨导分量,改善了其线性度。电路采用TSMC 0.13μm CMOS工艺进行设计与仿真,完成了版图设计与流片。与传统结构相比,该混频器的输入三阶交调点IIP3高达8.6 dBm,噪声系数为10.9 dB,增益高达14 dB,并且取得了更优的归一化FOM指标。 展开更多
关键词 线性度 跨导放大器 混频器 电感源极退化技术
在线阅读 下载PDF
基于容性源极耦合电流放大器的5GHz电压控制环形振荡器的设计
3
作者 徐结海 《黑龙江科技信息》 2009年第32期17-17,共1页
一种使用0.25微米CMOS工艺的5GHz电压控制环形振荡器(VCO)已设计成功,该振荡器的关键是采用了容性源极耦合电流放大器(SC3A)。
关键词 压控振荡器(VCO) 容性源极耦合电流放大器(SC3A) 设计
在线阅读 下载PDF
应用于AMOLED源极驱动的高精度DAC设计 被引量：3
4
作者 孟宇 尹勇生 +2 位作者 宇跃峰 邓红辉 贾晨 《液晶与显示》 CAS CSCD 北大核心 2019年第4期379-385,共7页
针对OLED显示面板更高分辨率、更高精度的需求,本文提出了一种应用于高分辨率AMOLED源极驱动的高精度10bit DAC结构。设计的DAC由6bit的GAMMA校正电阻串DAC及4bit的基于尾电流源插值的输出缓冲器级联构成,达到高精度的同时占用较小的芯... 针对OLED显示面板更高分辨率、更高精度的需求,本文提出了一种应用于高分辨率AMOLED源极驱动的高精度10bit DAC结构。设计的DAC由6bit的GAMMA校正电阻串DAC及4bit的基于尾电流源插值的输出缓冲器级联构成,达到高精度的同时占用较小的芯片面积。为进一步提高AMOLED驱动的灰阶电压精度,增加了一个DAC斜率可编程单元对线性DAC输出曲线进行进一步调节,以更好地拟合AMOLED显示屏所需的灰阶-电压曲线,此外,输出缓冲器采用尾电流源插值的方法来实现高精度的第二级DAC。在UMC 80nm CMOS工艺下,仿真结果表明设计的DAC的最大INL和DNL分别为0.47LSB、0.24LSB。在10kΩ电阻及30pF电容负载下,DAC电压从最低灰阶到最高灰阶的建立时间为3.38μs。驱动电路可以快速、精确地将图像数据转换为建立在像素电路上的电压,满足分辨率为1080×2 160驱动芯片的应用需求。 展开更多
关键词 源极驱动 高精度DAC 斜率编程 插值
在线阅读 下载PDF
应用于AMOLED源极驱动的具有DAC功能的输出缓冲器设计
5
作者 孙蕊 邓红辉 +2 位作者 张俊 权磊 贾晨 《液晶与显示》 CAS CSCD 北大核心 2020年第9期938-945,共8页
针对AMOLED驱动芯片小面积、高精度、低功耗的需求,设计了一种具有DAC功能的高性能输出缓冲器。该缓冲器采用轨对轨的输入级和Class AB输出级以适应大的输入输出电压范围,采用Cascode Miller补偿以减小补偿电容大小,其尾电流源可编程以... 针对AMOLED驱动芯片小面积、高精度、低功耗的需求,设计了一种具有DAC功能的高性能输出缓冲器。该缓冲器采用轨对轨的输入级和Class AB输出级以适应大的输入输出电压范围,采用Cascode Miller补偿以减小补偿电容大小,其尾电流源可编程以实现4 bit DAC功能插值,节约了整体功耗和芯片面积。在UMC80 nm CMOS工艺下,仿真结果表明,在0.2~6.3 V的输入电压范围内,缓冲器直流增益大于70 dB,相位裕度大于60°,静态电流最小可至0.5μA,建立时间低至1.49μs;典型中压3.3 V的情况下,直流增益可达129 dB,相位裕度为75°,增益带宽为9.4 MHz,静态电流为1.3μA;对60 mV输入电压进行4 bit插值后,输出误差小于0.255 mV。设计的缓冲器精度高、建立时间快且功耗低,输出缓冲器实现了第二级DAC的作用,满足了AMOLED源极驱动的应用需求。 展开更多
关键词 AMOLED源极驱动 轨对轨 尾电流源可编程 Class AB输出级 Cascode Miller补偿
在线阅读 下载PDF
应用于可携式产品液晶显示器之低静态电流与晶片面积的源极驱动电路架构
6
作者 江伟山 刘汉文 +3 位作者 黄男雄 曹铭原 张振豪 刘堂傑 《电子器件》 CAS 2008年第1期260-264,共5页
在这篇论文中,我们提出一种适用于QCIF+解析度、262千色的薄膜电晶体液晶显示器,具有低靜态电流和晶片面积的源极驱动电路架构。此类驱动晶片可以实际被应用于行动电话或其他高阶可攜式电子产品上。传统A、B、C等三种形式的源极驱动电路... 在这篇论文中,我们提出一种适用于QCIF+解析度、262千色的薄膜电晶体液晶显示器,具有低靜态电流和晶片面积的源极驱动电路架构。此类驱动晶片可以实际被应用于行动电话或其他高阶可攜式电子产品上。传统A、B、C等三种形式的源极驱动电路,需使用大量的运算放大器来驱动面板中的画素,和较大阻值的电阻式数位类比转?电路来产生珈玛电压,以保有最低的靜态消耗电流。而我们提出的第四种源极驱动电路架构,仅使用二个运算放大器和较低电阻的电阻式数位类比转換电路,而且并不会增加靜态消耗电流。因此,这颗源极驱动晶片,不仅可省下晶片面积、增加产品竞<力,更可以降低靜态功率的消耗以延长电池的续航力。我们所提出的运算放大器和源极驱动电路之原型晶片,是利用3.3 V、0.35μmCMOS的制程技术来实现的.运算放大器电路的核心尺寸大小为100μm×50μm,源极驱动电路为400μm×650μm。由我们所提出的第四种驱动电路架构,晶片面积约可減少54.25 %,而靜态消耗电流仅需2.6 %。 展开更多
关键词 架构 QCIF+解析度 源极驱动电路 薄膜电晶体液晶显示器
在线阅读 下载PDF
新型基于源极跟随器的零极点型滤波器
7
作者 陈勇 周玉梅 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2010年第3期295-298,共4页
提出一种新型基于源极跟随器的零极点型滤波器。提出的单支路全差分的双二阶单元采用两个前馈电容综合复数零点,用于实现连续时间零极点型滤波器。源极跟随器在电压域直接处理信号使得该双二阶单元以低功耗实现高线性度。利用CMOS0.18μ... 提出一种新型基于源极跟随器的零极点型滤波器。提出的单支路全差分的双二阶单元采用两个前馈电容综合复数零点,用于实现连续时间零极点型滤波器。源极跟随器在电压域直接处理信号使得该双二阶单元以低功耗实现高线性度。利用CMOS0.18μm工艺级联实现了一个4阶切比雪夫Ⅱ型全差分低通滤波器。测试结果表明,滤波器带宽为2.75MHz,实现了带外下陷特性。在2V电源电压下,消耗电流为1.5mA,测得带内IIP3为5dBm。在三次谐波失真(HD3)为-46.3dB条件下滤波器的动态范围为65dB。 展开更多
关键词 基于源极跟随器型双二阶单元 切比雪夫Ⅱ型滤波器 互补型金属氧化物晶体管
在线阅读 下载PDF
大屏幕TFT液晶显示器栅极/源极显示驱动解决方案 被引量：2
8
作者 黄臣龙 《中国集成电路》 2006年第6期84-88,共5页
本文首先对TFT液晶显示技术进行了简要的介绍,随后对大屏幕TFT液晶栅极/源极显示驱动技术进行了详细的解析,最后对典型的大屏幕TFT液晶显示系统给出了完整的栅极/源极显示驱动芯片解决方案。
关键词 TFT 栅极 大屏幕 LCD 源极 液晶显示器 显示驱动 解决方案
在线阅读 下载PDF
大尺寸TFT显示器源极驱动解决方案
9
作者 Albert Leung 《电子产品世界》 2004年第06B期81-83,共3页
关键词 TFT显示器 液晶显示器 源极驱动 RSDS接口
在线阅读 下载PDF
考虑四极子声源的高速磁浮列车气动噪声数值模拟方法 被引量：2
10
作者 刘加利 于梦阁 +1 位作者 陈大伟 杨志刚 《西南交通大学学报》 EI CSCD 北大核心 2024年第1期54-61,共8页
随着列车速度的提高,四极子声源对列车气动噪声的贡献增大,高速磁浮列车的运行速度达到600 km/h时,有必要考虑四极子声源对高速磁浮列车气动噪声的影响.为此,本文建立考虑四极子声源的高速磁浮列车气动噪声数值模拟方法,对高速磁浮列车... 随着列车速度的提高,四极子声源对列车气动噪声的贡献增大,高速磁浮列车的运行速度达到600 km/h时,有必要考虑四极子声源对高速磁浮列车气动噪声的影响.为此,本文建立考虑四极子声源的高速磁浮列车气动噪声数值模拟方法,对高速磁浮列车流线型尾部、头部区域的积分面进行局部外推,探索流线型尾部、头部区域的四极子声源对高速磁浮列车气动噪声的影响.研究发现:高速磁浮列车的尾涡会穿过下游的积分面,流线型尾部区域不能采用全封闭积分面,否则会产生非常大的伪声;流线型尾部区域的积分面需要较多地向尾涡区延伸,并去除尾涡穿过的区域;高速磁浮列车流线型头部区域四极子声源的贡献很小,流线型头部区域的积分面可以取为流线型头型表面;在600 km/h下,高速磁浮列车四极子声源引起的气动噪声能量占比达到42%. 展开更多
关键词 高速磁浮列车 气动噪声 四极子声源 尾涡
在线阅读 下载PDF
400 km/h高速列车受电弓多极子声源气动噪声特性研究 被引量：1
11
作者 蔡陈之 肖军 +1 位作者 李晏良 詹晏 《中国铁路》 北大核心 2024年第6期7-16,共10页
随着高速列车的运行速度不断增加,其产生的气动噪声呈现明显多声源特征,高速运动效应显著,四极子声源比例增加,对列车远场噪声的影响不容忽视。根据混合CAA方法,基于涡声理论和Lighthill声比拟方法,分析400 km/h受电弓结构周围流场与气... 随着高速列车的运行速度不断增加,其产生的气动噪声呈现明显多声源特征,高速运动效应显著,四极子声源比例增加,对列车远场噪声的影响不容忽视。根据混合CAA方法,基于涡声理论和Lighthill声比拟方法,分析400 km/h受电弓结构周围流场与气动噪声、远场声传播特性,研究四极子声源对其声辐射的影响。结果表明:受电弓结构高速运动在近壁面产生的复杂涡运动是主要气动噪声源,涡结构主要集中在头部、底架和绝缘子处。受电弓高速运动产生的高湍流区域主要发生在主杆附近,导致体四极子声源加强,该区域部件表面流动分离,产生较强的湍流。四极子声源最大强度约为偶极子声源的0.4倍,其声场能量转化效率比偶极子声源低。受电弓近场最大总声压级为136 dB,远场声辐射沿不同方向的主频位于同一频带,频谱整体呈现多峰特征。400 km/h高速列车受电弓产生的气动噪声中,四极子声源能量占比达到38.3%。 展开更多
关键词 气动噪声 低频声场 四极子声源 声传播 数值仿真 高速列车 受电弓
在线阅读 下载PDF
偶极子声源在套管井中的应用研究 被引量：5
12
作者 陈雪莲 陈晓晓 +1 位作者 王瑞甲 苏远大 《测井技术》 CAS CSCD 2007年第3期245-248,共4页
套管井第I界面胶结差时单极子声波测井通常测量不到地层波信息。在套管井边界条件下,推导出了不同胶结状况下的偶极子声源激发的井内声场,计算了它在井孔中的二维谱和时域波形。计算结果表明在稍高的激发频率下,在第I界面胶结不好时在... 套管井第I界面胶结差时单极子声波测井通常测量不到地层波信息。在套管井边界条件下,推导出了不同胶结状况下的偶极子声源激发的井内声场,计算了它在井孔中的二维谱和时域波形。计算结果表明在稍高的激发频率下,在第I界面胶结不好时在接收波列中可清晰地观测到纵波和弯曲波振相,分别以地层纵波和横波的速度传播,这表明横向偏振的声源比纵向振动的声源有更好的穿透性;在较低的激发频率下,波形中占主导地位的是地层弯曲波和套管弯曲波;在第I、II界面均胶结良好时主要是地层弯曲波。 展开更多
关键词 石油测井 套管井 偶极声源 合成多极阵列波形 自由套管
在线阅读 下载PDF
井中偶极声源激励下的反射横波实验研究 被引量：3
13
作者 魏周拓 陈雪莲 《西南石油大学学报（自然科学版）》 CAS CSCD 北大核心 2013年第6期1-8,共8页
针对偶极横波远探测测量模式开展相关的实验研究,模拟研究了井中偶极声源激励下来自井旁地层界面的反射横波,分别测量了不同声源位置、不同声源振动方向和不同地层界面特性下的地层和井孔全波。实验结果表明:井中偶极声源除了激发出沿... 针对偶极横波远探测测量模式开展相关的实验研究,模拟研究了井中偶极声源激励下来自井旁地层界面的反射横波,分别测量了不同声源位置、不同声源振动方向和不同地层界面特性下的地层和井孔全波。实验结果表明:井中偶极声源除了激发出沿井传播的直达弯曲波之外,还会向地层中辐射SH和SV两种类型的横波。随着偶极声源振动方向与地层界面走向的夹角从0°增至90°,反射横波幅度逐渐减小,验证了偶极声源对于井旁反射体具有明显的方位指向特性,可以用来反演井旁反射体的走向。在固–液或固–气地层界面特性下,SH波在界面处会发生全反射,而SV波则会在界面处发生模式转换,SH反射横波更有利于进行远探测反射波成像,尤其对于井旁裂缝研究具有独特的优势。 展开更多
关键词 偶极声源 反射横波 物理模拟 振动方向 界面特性
在线阅读 下载PDF
极紫外光源锡液滴靶的检测研究 被引量：4
14
作者 陈子琪 王新兵 +2 位作者 左都罗 陆培祥 吴涛 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第12期39-43,共5页
采用正交放置的两路CCD,基于图像采集及处理的方法,建立了极紫外光源锡液滴靶发生装置的锡液滴检测系统,可以实时监测锡液滴的运动状态及稳定性。对本实验室频率为34kHz的锡靶发生器产生的液滴进行了锡液滴监测实验。监测结果显示,锡液... 采用正交放置的两路CCD,基于图像采集及处理的方法,建立了极紫外光源锡液滴靶发生装置的锡液滴检测系统,可以实时监测锡液滴的运动状态及稳定性。对本实验室频率为34kHz的锡靶发生器产生的液滴进行了锡液滴监测实验。监测结果显示,锡液滴直径约为137μm,平均间距为375μm,稳定性较好,并对水平面上横向稳定性进行了分析。 展开更多
关键词 极紫外光源 激光等离子体 锡液滴靶 稳定性
在线阅读 下载PDF
偶极声源激发的波频散特性 被引量：4
15
作者 李鹤升 李宁 《石油地球物理勘探》 EI CSCD 北大核心 2002年第5期441-445,454,共6页
李鹤升 ,李宁 .偶极声源激发的波频散特性 .石油地球物理勘探 ,2 0 0 2 ,37(5 ) :4 4 1～ 4 4 5 ,4 5 4　　偶极声源在地层井内激发的波是频散波 ,已经有许多文章讨论了它的频散特性 ,并涉及了频散校正问题 ,但主要讨论它的最低模式 (... 李鹤升 ,李宁 .偶极声源激发的波频散特性 .石油地球物理勘探 ,2 0 0 2 ,37(5 ) :4 4 1～ 4 4 5 ,4 5 4　　偶极声源在地层井内激发的波是频散波 ,已经有许多文章讨论了它的频散特性 ,并涉及了频散校正问题 ,但主要讨论它的最低模式 (即截止频率最低的那一条曲线 ) ,而对于其他模式则没有进行比较详细的讨论。本文根据地层横波速度与泥浆速度相比高、接近、低的三种情况把地层分为硬性地层、中性地层和软性地层 ;给出了单极和偶极两种声源在这三类地层中激发的频散波的频散曲线。结果表明 ,这两种声源激发的频散波具有很强的可对比性 ,它们的最低模式在单极声源激发时是斯通利波 ,在偶极声源激发时是弯曲波 ;两种声源的其他模式处于截止频率时 ,在硬性地层中的速度趋于横波速度 ,在软性地层中速度趋于纵波速度 。 展开更多
关键词 偶极声源 激发 波频散特性 孔隙介质 软地层 硬地层 频散曲线
在线阅读 下载PDF
常阻抗地平面上方垂直电偶极源电磁场的精确和有效解 被引量：2
16
作者 江滨浩 《微波学报》 CSCD 北大核心 2006年第3期5-9,共5页
地平面上方偶极源的电磁场可以分解成直达波场、镜像波场和Somm erfeld型积分三部分之和。应用圆柱波函数的球面波展开式和超几何函数理论,常阻抗地平面上方垂直电偶极源电磁场中的Somm erfeld型积分被表达成圆柱波函数(表面波模)与快... 地平面上方偶极源的电磁场可以分解成直达波场、镜像波场和Somm erfeld型积分三部分之和。应用圆柱波函数的球面波展开式和超几何函数理论,常阻抗地平面上方垂直电偶极源电磁场中的Somm erfeld型积分被表达成圆柱波函数(表面波模)与快速、绝对收敛的球面波函数集展开式之和;其级数展开式的系数是以表面阻抗为宗量的勒让德函数。该展开式数学物理意义明显,并且便于计算,它是此类Somm erfeld半空间问题的精确、有效解答。 展开更多
关键词 Sommerfeld型积分 垂直电偶极源 阻抗边界条件 球面波展开 表面波模
在线阅读 下载PDF
井孔偶极子源声场的复极点分布
17
作者 张秀梅 张海澜 《声学技术》 CSCD 北大核心 2007年第5期1018-1019,共2页
近年来，偶极子声波测井得到了越来越广泛的应用。前人关于偶极声波测井的研究工作有很多，对目前利用偶极子声波测井起到了的指导作用。但他们对于偶极声源在井孔中激发产生的复极点及其组成的泄漏模式对声场的贡献等问题研究的很少。... 近年来，偶极子声波测井得到了越来越广泛的应用。前人关于偶极声波测井的研究工作有很多，对目前利用偶极子声波测井起到了的指导作用。但他们对于偶极声源在井孔中激发产生的复极点及其组成的泄漏模式对声场的贡献等问题研究的很少。这对于进一步深入分析偶极声源在井中发生的各种波动现象和解决一些尚未清楚的问题等是不可或缺的。 展开更多
关键词 极点分布 偶极子 声场 井孔 子源 声波测井 偶极声源 泄漏模式
在线阅读 下载PDF
新型磁致无极紫外灯光源光氧化性研究
18
作者 夏东升 施银桃 曾庆福 《武汉科技学院学报》 2008年第2期1-4,共4页
本实验对新型磁致无极紫外光源的发射光谱、不同波长光线在溶液中的传播、.OH的生成量、活性艳红X-3B溶液的降解情况进行了测定,并与普通汞灯进行了比较。结果表明无极紫外灯在相同功率条件下光强约为普通汞灯的2倍;在溶液中紫外光比可... 本实验对新型磁致无极紫外光源的发射光谱、不同波长光线在溶液中的传播、.OH的生成量、活性艳红X-3B溶液的降解情况进行了测定,并与普通汞灯进行了比较。结果表明无极紫外灯在相同功率条件下光强约为普通汞灯的2倍;在溶液中紫外光比可见光更易被吸收;.OH生成与溶液对短波长光子的吸收存在对应关系,本实验中无极紫外灯的最大氧化距离约为6cm;降解活性艳红X-3B溶液的过程符合负一级动力学关系。 展开更多
关键词 磁致无极紫外光源 光降解 羟基自由基
在线阅读 下载PDF
放电等离子体极紫外光源中的主脉冲电源 被引量：3
19
作者 吕鹏 刘春芳 +3 位作者 张潮海 赵永蓬 王骐 贾兴 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第2期388-392,共5页
描述了Z箍缩放电等离子体极紫外光源系统中的主脉冲电源,给出了主电路拓扑结构,重点介绍了三级磁脉冲压缩网络,给出了关键参数的设计计算,并且介绍了新颖的末级磁脉冲压缩放电结构。实验结果显示:各级磁脉冲压缩效果达到设计指标,电源... 描述了Z箍缩放电等离子体极紫外光源系统中的主脉冲电源,给出了主电路拓扑结构,重点介绍了三级磁脉冲压缩网络,给出了关键参数的设计计算,并且介绍了新颖的末级磁脉冲压缩放电结构。实验结果显示:各级磁脉冲压缩效果达到设计指标,电源输出电压峰达30 kV,输出电流峰值大于40 kA,电流脉冲宽度200 ns,满足Z箍缩放电等离子极紫外光源对主脉冲的要求。 展开更多
关键词 Z箍缩 放电等离子体 极紫外光源 主脉冲 磁脉冲压缩
在线阅读 下载PDF
CO2激光等离子体极紫外光源收集镜研究 被引量：2
20
作者 朱新旺 王新兵 +2 位作者 傅焰峰 卢彦兆 石玉华 《激光技术》 CAS CSCD 北大核心 2010年第6期725-728,共4页
为了研究极紫外光源系统中收集镜的形状和液体微滴的漂移,计算了收集镜的参量,并采用ZEMAX模拟了液体微滴上下和左右漂移50μm,100μm,150μm时中间焦点的成像变化情况。结果表明,液体微滴在上下方向上的漂移对中间焦点成像的影响很大,... 为了研究极紫外光源系统中收集镜的形状和液体微滴的漂移,计算了收集镜的参量,并采用ZEMAX模拟了液体微滴上下和左右漂移50μm,100μm,150μm时中间焦点的成像变化情况。结果表明,液体微滴在上下方向上的漂移对中间焦点成像的影响很大,应该尽量将上下漂移控制在20μm以下;而液滴在光轴方向上的漂移对中间焦点成像的影响稍小。 展开更多
关键词 激光技术 X射线光学 极紫外光源 激光等离子体 收集镜 ZEMAX
在线阅读 下载PDF
已选择0条
导出题录 引用分析
参考文献
引证文献
 统计分析
检索结果
已选文献
上一页 1 2 … 5 下一页 到第 页
关于我们 | 版权声明 | 联系我们 | 帮助中心| 意见反馈
主办单位：上海市教育委员会
技术支持：重庆维普资讯有限公司
渝公网安备 50019002500403号
使用帮助 返回顶部