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磁控溅射MoS_2/WS_2复合薄膜的工艺与摩擦学性能研究
被引量：
8
1
作者
孙建
李长生
+3 位作者
金岚
唐华
张叶
李学超
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2009年第4期398-402,共5页
采用MoS2/WS2复合靶材在不锈钢和硅基片上溅射MoS2/WS2纳米薄膜,通过多次实验,得到溅射MoS2/WS2薄膜的最佳工艺如下:溅射气压4.0Pa,靶基距为70mm,溅射功率为150W,溅射时间为3h。使用X-射线衍射仪,能谱仪,扫描电子显微镜对薄膜的成分和...
采用MoS2/WS2复合靶材在不锈钢和硅基片上溅射MoS2/WS2纳米薄膜,通过多次实验,得到溅射MoS2/WS2薄膜的最佳工艺如下:溅射气压4.0Pa,靶基距为70mm,溅射功率为150W,溅射时间为3h。使用X-射线衍射仪,能谱仪,扫描电子显微镜对薄膜的成分和结构进行分析。采用HH-3000薄膜结合强度划痕试验仪,纳米压痕测试系统,UNT-3摩擦磨损试验机对薄膜进行机械性能和摩擦磨损性能分析,结果表明:在大气环境中,WS2/MoS2复合薄膜摩擦性能要优于纯MoS2薄膜。
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关键词
mos
2/WS2复合
薄膜
磁控
溅射
摩擦学性能
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职称材料
水浴对MoS2薄膜结构及摩擦学性能影响的研究
被引量：
2
2
作者
董春萌
高晓明
+5 位作者
余兵
姜栋
胡明
王德生
翁立军
孙嘉奕
《摩擦学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2020年第2期166-174,共9页
为考察水介质对二硫化钼(MoS2)薄膜结构和摩擦学性能的影响,采用沸腾蒸馏水对溅射MoS2薄膜进行水浴处理,并对水浴处理前后薄膜的微观结构、摩擦学性能进行了研究.研究发现,薄膜中同时存在晶体结构和非晶结构.随着水浴处理时间的延长,XR...
为考察水介质对二硫化钼(MoS2)薄膜结构和摩擦学性能的影响,采用沸腾蒸馏水对溅射MoS2薄膜进行水浴处理,并对水浴处理前后薄膜的微观结构、摩擦学性能进行了研究.研究发现,薄膜中同时存在晶体结构和非晶结构.随着水浴处理时间的延长,XRD分析结果中观察到薄膜中非晶相减少,微晶相增加,同时晶粒尺寸先减小后增大.另外,薄膜的枝状晶上产生了更多的细小枝状晶.薄膜中的残余应力也随水浴时间延长而发生明显变化.薄膜的摩擦学性能受到水浴的明显影响,当水浴处理时间为20 min时,MoS2薄膜的耐磨寿命达到未水浴处理薄膜的约2倍.分析认为,水浴处理导致溅射MoS2薄膜内应力、组织结构和晶体结构的变化,引起了其摩擦学性能的变化.
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关键词
溅射mos2薄膜
水浴
结构
耐磨寿命
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职称材料
题名
磁控溅射MoS_2/WS_2复合薄膜的工艺与摩擦学性能研究
被引量：
8
1
作者
孙建
李长生
金岚
唐华
张叶
李学超
机构
江苏大学材料科学与工程学院
出处
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2009年第4期398-402,共5页
文摘
采用MoS2/WS2复合靶材在不锈钢和硅基片上溅射MoS2/WS2纳米薄膜,通过多次实验,得到溅射MoS2/WS2薄膜的最佳工艺如下:溅射气压4.0Pa,靶基距为70mm,溅射功率为150W,溅射时间为3h。使用X-射线衍射仪,能谱仪,扫描电子显微镜对薄膜的成分和结构进行分析。采用HH-3000薄膜结合强度划痕试验仪,纳米压痕测试系统,UNT-3摩擦磨损试验机对薄膜进行机械性能和摩擦磨损性能分析,结果表明:在大气环境中,WS2/MoS2复合薄膜摩擦性能要优于纯MoS2薄膜。
关键词
mos
2/WS2复合
薄膜
磁控
溅射
摩擦学性能
Keywords
mos
2
/WS
2
composite film, Magnetron sputtering, Friction properties
分类号
TB43 [一般工业技术]
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职称材料
题名
水浴对MoS2薄膜结构及摩擦学性能影响的研究
被引量：
2
2
作者
董春萌
高晓明
余兵
姜栋
胡明
王德生
翁立军
孙嘉奕
机构
中国科学院兰州化学物理研究所固体润滑国家重点实验室
中国科学院大学
航天科技集团有限公司空间结构与机构技术实验室上海宇航系统工程研究所
出处
《摩擦学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2020年第2期166-174,共9页
基金
国家自然科学基金项目(51875551)资助.
文摘
为考察水介质对二硫化钼(MoS2)薄膜结构和摩擦学性能的影响,采用沸腾蒸馏水对溅射MoS2薄膜进行水浴处理,并对水浴处理前后薄膜的微观结构、摩擦学性能进行了研究.研究发现,薄膜中同时存在晶体结构和非晶结构.随着水浴处理时间的延长,XRD分析结果中观察到薄膜中非晶相减少,微晶相增加,同时晶粒尺寸先减小后增大.另外,薄膜的枝状晶上产生了更多的细小枝状晶.薄膜中的残余应力也随水浴时间延长而发生明显变化.薄膜的摩擦学性能受到水浴的明显影响,当水浴处理时间为20 min时,MoS2薄膜的耐磨寿命达到未水浴处理薄膜的约2倍.分析认为,水浴处理导致溅射MoS2薄膜内应力、组织结构和晶体结构的变化,引起了其摩擦学性能的变化.
关键词
溅射mos2薄膜
水浴
结构
耐磨寿命
Keywords
sputtering
mos
2
film
water bath
structure
wear life
分类号
TH117.3 [机械工程—机械设计及理论]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
磁控溅射MoS_2/WS_2复合薄膜的工艺与摩擦学性能研究
孙建
李长生
金岚
唐华
张叶
李学超
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2009
8
在线阅读
下载PDF
职称材料
2
水浴对MoS2薄膜结构及摩擦学性能影响的研究
董春萌
高晓明
余兵
姜栋
胡明
王德生
翁立军
孙嘉奕
《摩擦学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2020
2
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参考文献
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