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铝锆共掺杂氧化锌透明导电薄膜的低温制备及特性研究
被引量：
7
1
作者
张化福
刘汉法
+1 位作者
袁长坤
类成新
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2010年第3期306-310,共5页
利用直流磁控溅射法在室温玻璃衬底上制备出了可见光透过率高、电阻率低的铝锆共掺杂氧化锌(ZAZO)透明导电薄膜。讨论了溅射功率对ZAZO薄膜结构、形貌和光电性能的影响。实验结果表明,溅射功率对ZAZO薄膜的结构、形貌和电学性能有很大影...
利用直流磁控溅射法在室温玻璃衬底上制备出了可见光透过率高、电阻率低的铝锆共掺杂氧化锌(ZAZO)透明导电薄膜。讨论了溅射功率对ZAZO薄膜结构、形貌和光电性能的影响。实验结果表明,溅射功率对ZAZO薄膜的结构、形貌和电学性能有很大影响,而对其光学性能影响不大。扫描电子显微镜和X射线衍射仪研究结果表明,ZAZO薄膜为六方纤锌矿结构的多晶薄膜,具有垂直于衬底方向的c轴择优取向。当溅射功率为120 W时,薄膜的电阻率达到最小值5.28×10-4Ω.cm,其可见光区平均透过率超过94%。
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关键词
铝锆共掺杂氧化锌
透明导电薄膜
磁控
溅射
溅射功率光电性能
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职称材料
题名
铝锆共掺杂氧化锌透明导电薄膜的低温制备及特性研究
被引量：
7
1
作者
张化福
刘汉法
袁长坤
类成新
机构
山东理工大学理学院
出处
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2010年第3期306-310,共5页
文摘
利用直流磁控溅射法在室温玻璃衬底上制备出了可见光透过率高、电阻率低的铝锆共掺杂氧化锌(ZAZO)透明导电薄膜。讨论了溅射功率对ZAZO薄膜结构、形貌和光电性能的影响。实验结果表明,溅射功率对ZAZO薄膜的结构、形貌和电学性能有很大影响,而对其光学性能影响不大。扫描电子显微镜和X射线衍射仪研究结果表明,ZAZO薄膜为六方纤锌矿结构的多晶薄膜,具有垂直于衬底方向的c轴择优取向。当溅射功率为120 W时,薄膜的电阻率达到最小值5.28×10-4Ω.cm,其可见光区平均透过率超过94%。
关键词
铝锆共掺杂氧化锌
透明导电薄膜
磁控
溅射
溅射功率光电性能
Keywords
Al-Zr co-doped zinc oxide, Transparent conducting films, Magnetron sputtering, Sputtering power, Op- tic-electronic properties
分类号
O484.1 [理学—固体物理]
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作者
出处
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被引量
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1
铝锆共掺杂氧化锌透明导电薄膜的低温制备及特性研究
张化福
刘汉法
袁长坤
类成新
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2010
7
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