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BST/Si-NPA复合薄膜的湿敏电容特性研究
被引量：
1
1
作者
肖顺华
李隆玉
+1 位作者
姜卫粉
李新建
《无机化学学报》
SCIE
CAS
CSCD
北大核心
2007年第8期1369-1374,共6页
本文采用溶胶-凝胶法和旋涂工艺,以Si-NPA为衬底,制备了钛酸锶钡(BST)/Si-NPA复合薄膜,并对其形貌、结构及湿敏电容特性进行了研究。结果表明,环境的相对湿度(RH)、测试信号频率和退火温度均对湿敏电容特性具有较大影响。在100Hz的测试...
本文采用溶胶-凝胶法和旋涂工艺,以Si-NPA为衬底,制备了钛酸锶钡(BST)/Si-NPA复合薄膜,并对其形貌、结构及湿敏电容特性进行了研究。结果表明,环境的相对湿度(RH)、测试信号频率和退火温度均对湿敏电容特性具有较大影响。在100Hz的测试信号频率下,当环境的相对湿度从11%上升到95%时,BST/Si-NPA湿敏元件的电容增量可达起始值的4400%,显示出较高的湿度敏感性。同时,元件的响应时间和恢复时间均约为42s,表现出较快的时间响应和均衡的吸附/脱附。最后,通过复阻抗法讨论了元件的感湿机理。
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关键词
钛酸锶钡
硅纳米孔柱阵列
复合薄膜
湿敏电容特性
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职称材料
题名
BST/Si-NPA复合薄膜的湿敏电容特性研究
被引量：
1
1
作者
肖顺华
李隆玉
姜卫粉
李新建
机构
郑州大学物理系
桂林工学院材料与化学工程系
出处
《无机化学学报》
SCIE
CAS
CSCD
北大核心
2007年第8期1369-1374,共6页
基金
国家自然科学基金资助项目(No.10574112)。
文摘
本文采用溶胶-凝胶法和旋涂工艺,以Si-NPA为衬底,制备了钛酸锶钡(BST)/Si-NPA复合薄膜,并对其形貌、结构及湿敏电容特性进行了研究。结果表明,环境的相对湿度(RH)、测试信号频率和退火温度均对湿敏电容特性具有较大影响。在100Hz的测试信号频率下,当环境的相对湿度从11%上升到95%时,BST/Si-NPA湿敏元件的电容增量可达起始值的4400%,显示出较高的湿度敏感性。同时,元件的响应时间和恢复时间均约为42s,表现出较快的时间响应和均衡的吸附/脱附。最后,通过复阻抗法讨论了元件的感湿机理。
关键词
钛酸锶钡
硅纳米孔柱阵列
复合薄膜
湿敏电容特性
Keywords
barium strontium titanate （BST）
silicon nanoporous pillar array （Si-NPA）
composite thin films
capacitive humidity sensing properties
分类号
TM283 [一般工业技术—材料科学与工程]
O614.24 [理学—无机化学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
BST/Si-NPA复合薄膜的湿敏电容特性研究
肖顺华
李隆玉
姜卫粉
李新建
《无机化学学报》
SCIE
CAS
CSCD
北大核心
2007
1
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