-
题名游离磨料线锯切片流体动压效应的数值分析
被引量：5
- 1
-
-
作者
葛培琪
桑波
-
机构
山东大学机械工程学院
-
出处
《润滑与密封》
CAS
CSCD
北大核心
2007年第2期16-18,共3页
-
基金
国家自然科学基金资助项目(50475132)
-
文摘
游离磨料线锯切割技术是目前单晶硅切片的主要加工方法。建立了游离磨料线锯切片过程中流体动压效应的数学模型,并采用有限差分法进行了数值分析,得到了游离磨料线锯切片的流体动压力分布和膜厚。结果表明,当磨粒尺寸较小时,锯丝与晶体间的膜厚大于磨粒尺寸,磨粒悬浮在研磨液中,因此研磨液中磨粒与晶体的碰撞将是材料去除的主要因素。
-
关键词
游离磨料线锯
单晶硅切片
流体动压效应
-
Keywords
free abrasive wire saw
monocrystalline silicon slicing
hydrodynamic action
-
分类号
TH117
[机械工程—机械设计及理论]
-
-
题名线锯切割中锯丝的高梯度磁场数值和理论分析
被引量：2
- 2
-
-
作者
姚春燕
唐晨
裘腾威
张威
彭伟
-
机构
浙江工业大学特种装备制造与先进加工技术教育部重点实验室
-
出处
《现代制造工程》
CSCD
北大核心
2016年第2期16-21,共6页
-
基金
国家自然科学基金资助项目(51475427)
-
文摘
线锯切割常用锯丝——镀铜钢丝,作为一种聚磁材料,在匀强磁场中会被磁化产生高梯度磁场,对其附近的磁性磨粒产生磁力作用,使磨粒吸附在锯丝上,故在游离磨料线锯切割中添加辅助磁场,增加了切割区域内磨粒的数量,更有利于切割。为进一步研究锯丝产生的高梯度磁场,通过对辅助磁场与锯丝组成的磁系统进行数学建模,采用有限元的方法对整个系统进行数值模拟,发现辅助磁场的改变与产生的高梯度磁场的磁感应强度存在关系,即高梯度磁场的磁感应强度会随着永磁体之间距离的减小、永磁体宽度和高度的增大而变大。并通过理论计算与仿真结果的对比验证了仿真的正确性。
-
关键词
游离磨料线锯切割
辅助磁场
高梯度磁场
有限元仿真
磁感应强度
-
Keywords
free abrasive wire sawing
auxihary magnetic field
high gradient magnetic field
FEM
magnetie flux density
-
分类号
O441.2
[理学—电磁学]
TN305
[电子电信—物理电子学]
-
-
题名硅片精密切割多线锯研究进展
被引量：24
- 3
-
-
作者
张凤林
袁慧
周玉梅
王成勇
-
机构
广东工业大学机电工程学院
-
出处
《金刚石与磨料磨具工程》
CAS
北大核心
2006年第6期14-18,共5页
-
基金
国家自然科学基金(50605009)
广东省科技计划(2005B10201027)
广东工业大学博士启动基金(043035)资助项目
-
文摘
随着半导体行业的发展,尤其是太阳能电池对大直径硅片的需求不断增加,对硅片的切割精度要求越来越高。传统的外圆和内圆切割已经不能满足现有硅片大尺寸、小切缝、高质量和生产效率的要求。本文对大直径硅片精密切割中最常使用的多线锯切割进行介绍,对游离磨料多线锯的切割机理、浆料特性、切割工艺和固着磨料多线锯锯丝制造方法、切割工艺等方面的研究现状进行了综述。
-
关键词
硅片
精密切割
游离磨料多线锯
固着磨料多线锯
-
Keywords
silicon wafer,precision slicing,free abrasive multi-wire saw,fixed abrasive multi-wire saw
-
分类号
TF125.3
[冶金工程—粉末冶金]
-
