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一种窄带温补型声表面波滤波器 被引量:3
1
作者 冷俊林 董加和 +7 位作者 陆川 陈运祥 李桦林 陈尚权 彭霄 寇俊 唐永红 米佳 《压电与声光》 CAS 北大核心 2020年第1期67-70,共4页
该文介绍了一种频率温度系数接近0的窄带温补型声表面波滤波器。该滤波器采用黑化的42°Y-X钽酸锂为衬底,温度补偿层材料采用二氧化硅薄膜,利用化学机械抛光二氧化硅薄膜法获得了平坦表面形貌。制作了温补型声表面波滤波器样品并进... 该文介绍了一种频率温度系数接近0的窄带温补型声表面波滤波器。该滤波器采用黑化的42°Y-X钽酸锂为衬底,温度补偿层材料采用二氧化硅薄膜,利用化学机械抛光二氧化硅薄膜法获得了平坦表面形貌。制作了温补型声表面波滤波器样品并进行了测试。测试结果表明,该温补型声表面波滤波器的中心频率约1360 MHz,在-55~85℃内频率漂移仅约390 kHz,频率温度系数约-2×10^-6/℃,插入损耗约1.3 dB。 展开更多
关键词 表面波滤波器 温补型表面波 频率温度系数
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石英基极窄带声表面波滤波器的横向模式抑制研究
2
作者 冷俊林 肖强 +6 位作者 陆川 董加和 陈文远 谢晓 金巧 杜雪松 汪红兵 《压电与声光》 北大核心 2025年第2期230-233,共4页
针对通信和电子对抗系统中对极窄带SAW滤波器的需求,选用AT-石英作为压电材料设计SAW滤波器,为满足相对带宽小于1‰的要求,采用纵向耦合型双模(DMS)滤波器拓扑结构进行了优化设计。而后,研究了对AT-石英基极窄带SAW滤波器通带和高端过... 针对通信和电子对抗系统中对极窄带SAW滤波器的需求,选用AT-石英作为压电材料设计SAW滤波器,为满足相对带宽小于1‰的要求,采用纵向耦合型双模(DMS)滤波器拓扑结构进行了优化设计。而后,研究了对AT-石英基极窄带SAW滤波器通带和高端过渡带产生的横向模式杂波的抑制,采用指条电极末端加厚的Piston结构,通过有限元仿真建模优化实现了横向模式的抑制。最后通过实验对比了横向模式优化前后的测试曲线,结果表明,采用Piston结构抑制后SAW滤波器的最小插损、相对带宽和带内波纹均有明显改善。 展开更多
关键词 石英 表面波滤波器 极窄带 纵向耦合 横向模式
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低频率漂移极窄带声表面波滤波器
3
作者 李桦林 詹雪奎 +3 位作者 伍平 陈彦光 董加和 马晋毅 《压电与声光》 北大核心 2025年第1期20-23,共4页
保密通信系统对极窄带宽声表面波滤波器需求迫切,由于声表面波滤波器属于温度敏感型器件,在极端恶劣环境温度下器件滤波频率会发生较大漂移,无法保证有用信号提取和近端噪声抑制。为满足射频系统全温应用要求,对基于石英衬底的极窄带声... 保密通信系统对极窄带宽声表面波滤波器需求迫切,由于声表面波滤波器属于温度敏感型器件,在极端恶劣环境温度下器件滤波频率会发生较大漂移,无法保证有用信号提取和近端噪声抑制。为满足射频系统全温应用要求,对基于石英衬底的极窄带声表面波滤波器的频率温度特性进行仿真分析,研究了电极金属膜厚和电极金属化率对器件二阶温度特性拐点的影响,并通过声表面波滤波器结构参数优化,研制出低频率漂移的极窄带声表面波滤波器。 展开更多
关键词 表面波滤波器 极窄带宽 频率漂移
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声表面波滤波器平行封焊飞溅多余物控制的研究
4
作者 郭俊寒 季鸿雨 +4 位作者 孟腾飞 何志新 陈瑞 史向龙 于海洋 《压电与声光》 北大核心 2025年第2期225-229,共5页
通过分析因飞溅多余物而失效的声表面波滤波器,证明了飞溅多余物是由平行封焊工序产生的。研究了平行封焊工序中相关焊接参数对平行封焊的影响,通过调节焊接功率、时间和速度等参数,将焊缝宽度和焊点重叠区域面积调整至理想范围内,在保... 通过分析因飞溅多余物而失效的声表面波滤波器,证明了飞溅多余物是由平行封焊工序产生的。研究了平行封焊工序中相关焊接参数对平行封焊的影响,通过调节焊接功率、时间和速度等参数,将焊缝宽度和焊点重叠区域面积调整至理想范围内,在保证焊接质量的同时,将飞溅多余物产生的概率降至万分之二。另外,选取熔点更高的电镀镍盖板来代替化学镀镍盖板,进一步减少了平行封焊过程中飞溅多余物的产生。 展开更多
关键词 表面波滤波器 平行封焊 飞溅多余物 焊接参数
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一种横向耦合改进型结构极窄带声表面波滤波器研究 被引量:1
5
作者 张显洪 杨卫东 +3 位作者 肖强 蒋道军 张晟 施建峰 《压电与声光》 CAS 北大核心 2024年第3期306-309,共4页
该文采用波导法分析了横向耦合极窄带声表面波滤波器速度变化模式,并用多物理场COMSOL软件对横向耦合声表面波滤波器的中心耦合条结构和耦合距离的变化建模进行计算,并分析频响特性。采用石英晶体作为底衬,设计了频率为898.144 MHz,插... 该文采用波导法分析了横向耦合极窄带声表面波滤波器速度变化模式,并用多物理场COMSOL软件对横向耦合声表面波滤波器的中心耦合条结构和耦合距离的变化建模进行计算,并分析频响特性。采用石英晶体作为底衬,设计了频率为898.144 MHz,插入损耗约为6 dB的极窄带声表面波滤波器并进行验证。结果表明,中心耦合条开腔结构的声表面波滤波器的相对带宽达到7.2‰,与不开腔结构5.2‰相对带宽相比,提升了2‰。这说明横向耦合声表面波滤波器的中心耦合条结构变化,能改变极窄带声表面波滤波器的相对带宽。 展开更多
关键词 横向耦合 极窄带 表面波滤波器 物理场COMSOL软件 相对带宽
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宽带温度补偿型声表面波滤波器的设计与优化 被引量:1
6
作者 谭发曾 李桦林 +4 位作者 马晋毅 陈文远 胡明浪 杜雪松 詹雪奎 《压电与声光》 CAS 北大核心 2024年第5期651-654,669,共5页
提出了一种宽带温度补偿型声表面波滤波器的设计方法。通过研究铌酸锂衬底不同欧拉角、不同电极材料和厚度对声表面波谐振器频率响应和杂散抑制的影响,确定了宽带温度补偿型声表面波滤波器的最佳切向和电极结构。所制备的宽带声表面波... 提出了一种宽带温度补偿型声表面波滤波器的设计方法。通过研究铌酸锂衬底不同欧拉角、不同电极材料和厚度对声表面波谐振器频率响应和杂散抑制的影响,确定了宽带温度补偿型声表面波滤波器的最佳切向和电极结构。所制备的宽带声表面波滤波器的温度系数优于-18.9×10^(-6)/℃,-3 dB相对带宽为7.84%,插入损耗为0.93 dB,展现出良好的带外抑制。 展开更多
关键词 表面波 滤波器 宽带 温度补偿
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具有片上电感的改进型梯形声表面波滤波器
7
作者 杨茂坤 帅垚 +3 位作者 魏子杰 吴传贵 罗文博 张万里 《压电与声光》 CAS 北大核心 2024年第4期439-442,共4页
针对小体积声表面波(SAW)滤波器性能受封装影响较大的问题,提出了一种新型SAW梯形滤波器电路拓扑结构。通过分析滤波器高频受封装影响造成的远端抑制上翘的现象,从电路结构出发,改变版图设计,实现了片上电感。采用传统梯形滤波器结构和... 针对小体积声表面波(SAW)滤波器性能受封装影响较大的问题,提出了一种新型SAW梯形滤波器电路拓扑结构。通过分析滤波器高频受封装影响造成的远端抑制上翘的现象,从电路结构出发,改变版图设计,实现了片上电感。采用传统梯形滤波器结构和利用纵向耦合双模谐振器型滤波器(DMS)特殊接地结构相结合的电路拓扑结构,有助于提高带外抑制和设计灵活性。在标准的42°Y-X钽酸锂(LiTaO_(3))基板上制作滤波器,通过仿真分析得到中心频率2580 MHz、带宽50 MHz、插入损耗小于2.5 dB的高阶梯形射频SAW滤波器的最优拓扑结构。测试结果表明,通过改变电路拓扑结构关键参数和引入新的传输零点,可改善在高频段内的带外抑制特性。 展开更多
关键词 封装 表面波(SAW)滤波器 片上电感 DMS结构 传输零点 带外抑制
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声表面波滤波器温度敏感性仿真研究
8
作者 王吉芳 郑露 +7 位作者 陈平静 潘虹芝 杜雪松 董加和 陆川 陈正林 吴浩东 马晋毅 《压电与声光》 CAS 北大核心 2024年第3期310-314,共5页
针对不同温度场情况下任意复杂膜系结构和电路拓扑结构的声表面波(SAW)滤波器的温度敏感性精确计算问题,首先将温度场以热应力、热应变的方式耦合声/电本征方程并考虑封装模型的电磁因素,再结合分层级联算法和全波仿真技术,计算任意复... 针对不同温度场情况下任意复杂膜系结构和电路拓扑结构的声表面波(SAW)滤波器的温度敏感性精确计算问题,首先将温度场以热应力、热应变的方式耦合声/电本征方程并考虑封装模型的电磁因素,再结合分层级联算法和全波仿真技术,计算任意复杂膜系结构和电路拓扑结构的SAW滤波器的温度敏感性,实现不同温度作用下SAW滤波器频率响应曲线、频率温度系数(TCF)值、损耗、带宽及带外抑制等性能的综合分析。通过41°Y-X LiNbO_(3)/SiO_(2)/Si_poly/Si(111)复合衬底SAW滤波器的优化设计与研制,其设计优化结果与实验结果吻合较好,验证了该方法的有效性和可行性。 展开更多
关键词 温度敏感性 表面波(SAW)滤波器 分层级联 全波仿真
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压电晶圆厚度对声表面波器件性能的影响及改进方法研究
9
作者 何成勇 褚梦群 +6 位作者 谭发曾 胡明浪 谭瑞 陈文远 张幸 罗鸿飞 肖强 《压电与声光》 北大核心 2025年第2期234-237,共4页
钽酸锂(LiTaO_(3),LT)为目前声表面波(SAW)滤波器普遍采用的压电晶圆之一。为控制SAW滤波器的制造成本和体积,制造时通常会采用更薄、价格更低的0.25 mm厚的LT替代原来0.35 mm厚的晶圆。然而,在滤波器设计结构相同的情况下,相较于0.35 m... 钽酸锂(LiTaO_(3),LT)为目前声表面波(SAW)滤波器普遍采用的压电晶圆之一。为控制SAW滤波器的制造成本和体积,制造时通常会采用更薄、价格更低的0.25 mm厚的LT替代原来0.35 mm厚的晶圆。然而,在滤波器设计结构相同的情况下,相较于0.35 mm厚的LT,采用0.25 mm厚LT的SAW滤波器性能有所降低。针对该问题,首先建立了含封装粘片胶的电磁仿真模型,分别仿真了两种厚度(0.35 mm、0.25 mm)的压电基底在不同粘片胶厚度条件下的电磁特性;然后结合电磁、声学联合仿真优化了粘片胶的厚度,进而提升了SAW滤波器的仿真性能。实验结果表明,通过优化粘片胶厚度,可使0.25 mm厚LT滤波器的性能优于0.35 mm厚LT滤波器,满足器件指标要求,该方案可推广至其他压电晶圆的SAW器件。 展开更多
关键词 封装粘片胶 表面波滤波器 电磁仿真 钽酸锂
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声表面波波导耦合双模谐振窄带滤波器 被引量:5
10
作者 邓盛刚 刘家本 +2 位作者 李利平 刘晋 彭建学 《压电与声光》 CAS CSCD 北大核心 1994年第5期5-11,共7页
本文利用集总参数等效电路模型计算了声表面波波导耦合双模谐振窄带滤波器的频率响应。讨论了谐振器各设计参量对滤波器性能的影响。在X-112°YLiTaO_3基片上实验制作了中心频率114MHz左右,Δf_(-3dB)... 本文利用集总参数等效电路模型计算了声表面波波导耦合双模谐振窄带滤波器的频率响应。讨论了谐振器各设计参量对滤波器性能的影响。在X-112°YLiTaO_3基片上实验制作了中心频率114MHz左右,Δf_(-3dB)分别为70kHz和40kHz的二极和四极窄带滤波器。对二极滤波器,阻带抑制小于一30dB;对四极滤波器,阻带抑制小于一50dB;匹配后插损3dB。理论计算与实验结果一致。 展开更多
关键词 波导耦合 谐振滤波器 表面波 谐振器
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高阻带抑制宽带低损耗声表面波滤波器研究 被引量:7
11
作者 毛世平 曾庆高 +2 位作者 陈彦光 蒋世义 彭昱皓 《压电与声光》 CAS CSCD 北大核心 2018年第3期337-339,共3页
基于分布间隙纵向耦合五换能器结构,加入谐振器单元,采用41°Y-X LiNbO_3基片材料,通过优化设计,研制出中心频率232 MHz,3dB带宽23.2 MHz的声表面波滤波器。该产品的插入损耗为-1.9dB,相对带宽达到10%,矩形系数2.2,阻带抑制大于50dB... 基于分布间隙纵向耦合五换能器结构,加入谐振器单元,采用41°Y-X LiNbO_3基片材料,通过优化设计,研制出中心频率232 MHz,3dB带宽23.2 MHz的声表面波滤波器。该产品的插入损耗为-1.9dB,相对带宽达到10%,矩形系数2.2,阻带抑制大于50dB,产品综合性能指标优异,有很好的实用性。 展开更多
关键词 大带宽 表面波滤波器 五换能器 谐振器
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宽带低损耗声表面波滤波器 被引量:3
12
作者 曹亮 黄广伦 +3 位作者 秦廷辉 杨勋 朱勇 肖燕 《压电与声光》 CSCD 北大核心 2000年第4期209-213,共5页
介绍了利用在36°Y-XLiTaO3、64°Y-X LiNbO3、41°Y-X LiNbO3基片漏声表面波设计制作的宽带低损耗滤波器,给出了用耦合模理论模拟的曲线和实验结果,其相对带宽为2 .8%~6. 5... 介绍了利用在36°Y-XLiTaO3、64°Y-X LiNbO3、41°Y-X LiNbO3基片漏声表面波设计制作的宽带低损耗滤波器,给出了用耦合模理论模拟的曲线和实验结果,其相对带宽为2 .8%~6. 5%,插损为1.7~2.4 dB,带外抑制大于45 dB。 展开更多
关键词 表面波滤波器 宽带 低损耗 耦合谐振滤波器
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20信道声表面波滤波器组初探 被引量:5
13
作者 黄广伦 欧黎 李志云 《压电与声光》 CSCD 北大核心 1993年第1期1-6,共6页
本文报道我们研制的一种20信道声表面波滤波器组,它有一个输入端,中心在200MHz中频,瞬时带宽100MHz,20个信道输出,每个信道带宽5MHz.各信道的插损为19~20dB,矩形度<2,信道阻带抑制>40dB.器件体积65mm×50mm×13mm,重量&l... 本文报道我们研制的一种20信道声表面波滤波器组,它有一个输入端,中心在200MHz中频,瞬时带宽100MHz,20个信道输出,每个信道带宽5MHz.各信道的插损为19~20dB,矩形度<2,信道阻带抑制>40dB.器件体积65mm×50mm×13mm,重量<140g. 展开更多
关键词 滤波器 信道 接收机 表面波器件
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一种宽带低损耗声表面波滤波器 被引量:5
14
作者 秦廷辉 朱自湘 周平 《压电与声光》 CSCD 北大核心 1998年第2期77-79,共3页
阐述了一种利用纵向耦合双模制作宽带低损耗声表面波滤波器的方法,给出了理论计算方法和计算机模拟结果,最后给出了制作中心频率为453MHz的声表面波滤波器实验结果,插入损耗为1.9dB,1dB带宽为6.66MHz,远端带... 阐述了一种利用纵向耦合双模制作宽带低损耗声表面波滤波器的方法,给出了理论计算方法和计算机模拟结果,最后给出了制作中心频率为453MHz的声表面波滤波器实验结果,插入损耗为1.9dB,1dB带宽为6.66MHz,远端带外抑制大于45dB。 展开更多
关键词 表面波滤波器 反射器 叉指换能器 滤波器
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一种声表面波滤波器的优化计算方法 被引量:4
15
作者 秦廷辉 黄广伦 朱自湘 《压电与声光》 CSCD 北大核心 1996年第5期300-302,306,共4页
介绍了一种新的优化计算方法,从理论上详细论述了这种计算方法,编制了计算机程序。
关键词 优化计算 表面波 加权函数 滤波器
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极窄带声表面波二重模滤波器 被引量:4
16
作者 傅金桥 肖燕 曹亮 《压电与声光》 CSCD 北大核心 1994年第5期1-4,11,共5页
声表面波二重模滤波器具有极窄带宽和高阻带抑制的频率特性,应用于现代化移动通信系统中。本文介绍了二重模滤波器的设计方法及试验结果,报道了制作四极二重模滤波器在162.8MHz频率下获得了0.9‰的相对带宽和约60dB阻... 声表面波二重模滤波器具有极窄带宽和高阻带抑制的频率特性,应用于现代化移动通信系统中。本文介绍了二重模滤波器的设计方法及试验结果,报道了制作四极二重模滤波器在162.8MHz频率下获得了0.9‰的相对带宽和约60dB阻带抑制。 展开更多
关键词 极窄带 二重模 表面波 滤波器
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高频高阻带抑制极窄带声表面波滤波器 被引量:4
17
作者 吕翼 廖书丹 +2 位作者 陆川 陈彦光 李桦林 《压电与声光》 CAS 北大核心 2021年第6期743-745,752,共4页
该文介绍了一种双声通道纵向耦合结构的高频高阻带抑制极窄带声表面波滤波器。利用有限元仿真研究了AT石英材料上高声速的声表面横波与浅体声波的激励情况,并进行了浅体声波抑制研究。通过调节叉指换能器金属化比,大幅降低了浅体声波对... 该文介绍了一种双声通道纵向耦合结构的高频高阻带抑制极窄带声表面波滤波器。利用有限元仿真研究了AT石英材料上高声速的声表面横波与浅体声波的激励情况,并进行了浅体声波抑制研究。通过调节叉指换能器金属化比,大幅降低了浅体声波对滤波器阻带抑制的影响,并制作出中心频率为1220 MHz,插入损耗为5 dB、1 dB带宽700 kHz、阻带抑制50 dB的低损耗高阻带抑制极窄带声表面波滤波器。 展开更多
关键词 表面波滤波器 极窄带 表面横波
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ZnO/蓝宝石结构声表面波滤波器试验研究 被引量:2
18
作者 董加和 陈运祥 +4 位作者 冷俊林 张显洪 张永川 王岚 王洁 《压电与声光》 CAS CSCD 北大核心 2015年第6期954-956,共3页
该文从理论上计算得到了ZnO(a面)/蓝宝石(r面)结构的声表面波相速度和机电耦合系数色散曲线。依据该色散曲线设计了ZnO(a面)/蓝宝石(r面)结构声表面波滤波器。采用在蓝宝石衬底上先制备ZnO薄膜然后再制作芯片结构的方案研制出了声表面... 该文从理论上计算得到了ZnO(a面)/蓝宝石(r面)结构的声表面波相速度和机电耦合系数色散曲线。依据该色散曲线设计了ZnO(a面)/蓝宝石(r面)结构声表面波滤波器。采用在蓝宝石衬底上先制备ZnO薄膜然后再制作芯片结构的方案研制出了声表面波器件样品。研制过程中生长出了a面结构的ZnO薄膜,其中厚膜样品测试得到了3种声波模式,即模式0、1及2,模式0、1和2的频率分别为1 073.79 MHz,1 290.63 MHz和1 572.3 MHz,因此,间接测得了模式0、1和2的相速度分别为3 865.67m/s,4 646.25m/s和5 660.27m/s。 展开更多
关键词 表面波滤波器 蓝宝石 相速度 机电耦合系数 ZnO膜
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用谐波制作的高频声表面波滤波器 被引量:3
19
作者 傅金桥 肖燕 曹亮 《压电与声光》 CSCD 北大核心 1994年第2期4-10,共7页
高频声表面波滤波器工作在基波时,叉指换能器指条和间隙仅为亚微米的几何尺寸,为了减小光刻工艺难度,滤波器可以用高次谐波制作。本文简述了几种有效激励谐波的叉指换能器结构和影响激励效率的主要因素,介绍了用谐波制作在X—11... 高频声表面波滤波器工作在基波时,叉指换能器指条和间隙仅为亚微米的几何尺寸,为了减小光刻工艺难度,滤波器可以用高次谐波制作。本文简述了几种有效激励谐波的叉指换能器结构和影响激励效率的主要因素,介绍了用谐波制作在X—112°Y钽酸锂基片上的500MHz声表面波滤波器的试验结果。 展开更多
关键词 谐波 高频 滤波器 表面波器件
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GSM用低损耗声表面波滤波器的设计 被引量:2
20
作者 秦廷辉 黄广伦 +1 位作者 曹亮 朱勇 《压电与声光》 CSCD 北大核心 1999年第4期249-252,280,共5页
 报道了双模声表面波滤波器( S A W F)的研究结果和设计出的 G S M 用9025 M Hz的 S A W F。对双膜 S A W F 的基本原理和分析方法进行了描述,并给出理论模拟结果,对几个关键参数进行了比较计算。研...  报道了双模声表面波滤波器( S A W F)的研究结果和设计出的 G S M 用9025 M Hz的 S A W F。对双膜 S A W F 的基本原理和分析方法进行了描述,并给出理论模拟结果,对几个关键参数进行了比较计算。研究表明,双模 S A W F 具有低损耗、宽带的特性, 较好地满足了 G S M 用9025 M Hz的 S A W F电性能要求。 展开更多
关键词 GSM 表面波滤波器 双模SAWF 设计
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