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题名智能压力传感器校准和烧录系统设计与测试
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作者
康健力
王浩
吴骅刚
潘守彬
顾坚俭
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机构
无锡华润上华科技有限公司设计服务工程中心
无锡华润上华科技有限公司设计工程二部
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出处
《中国集成电路》
2022年第9期57-64,70,共9页
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文摘
本文介绍了微机电系统(MEMS)压力传感器及其专用集成电路(ASIC)信号调理电路的校准和烧录系统设计,提出一种新型的自适应通讯设备,在接口复用前提下,能够自动检测多种数字通讯协议。在此基础上,整合了对传感器的校准和烧录,并基于工业通信协议,连接外围设备后可组成一套完整的自动通信系统,最后展示了此系统可达到的测试精度和结果。实现了低成本,高可靠性,容错率高的自动压力传感器校准,烧录系统。具有广泛的实用价值,为实验室、科研院所评估样品,或者企业批量校准、烧录等量产,提供高效、便利的应用解决方案。
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关键词
微机电系统
专用集成电路
压力传感器
温漂和非线性的校准
熔丝和单次可编程存储器的烧写
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Keywords
MEMS
ASIC
Pressure Sensor
Temperature Drift and Non-Linearity Calibration
Fuse and OTP Trimming
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分类号
TH82
[机械工程—精密仪器及机械]
TP212
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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