期刊导航
期刊开放获取
上海教育软件发展有限公..
期刊文献
+
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
检索
高级检索
期刊导航
共找到
2
篇文章
<
1
>
每页显示
20
50
100
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
显示方式：
文摘
详细
列表
相关度排序
被引量排序
时效性排序
温敏铁氧体材料及磁性温敏传感器及其应用
被引量：
8
1
作者
杨云志
郑昌琼
冉均国
《硅酸盐通报》
CAS
CSCD
1998年第4期39-43,共5页
综述了温敏铁氧体材料的特点，各种磁性温敏传感器的结构和工作原理及其在不同领域中的应用。
关键词
铁氧体
传感器
磁性
自动化主件
温敏传感器
在线阅读
下载PDF
职称材料
多孔硅微机械加工温敏传感器的研究
2
作者
邹平松
赖宗声
《仪表技术与传感器》
CSCD
北大核心
1998年第3期4-6,13,共4页
本文在对阳极氧化反应形成多孔硅及对多孔硅选择性生长机理、刻蚀研究的基础上，在硅片上做出到衬底距离大于５０μｍ的微桥结构。然后在微桥上溅射镍—铬电阻薄膜，形成温敏传感器微结构，并对其温度电阻特性，热响应时间进行了测量。...
本文在对阳极氧化反应形成多孔硅及对多孔硅选择性生长机理、刻蚀研究的基础上，在硅片上做出到衬底距离大于５０μｍ的微桥结构。然后在微桥上溅射镍—铬电阻薄膜，形成温敏传感器微结构，并对其温度电阻特性，热响应时间进行了测量。利用该结构本文还设计出一种新型的温敏、气敏多功能传感结构。
展开更多
关键词
多孔硅
微机械加工
温敏传感器
在线阅读
下载PDF
职称材料
题名
温敏铁氧体材料及磁性温敏传感器及其应用
被引量：
8
1
作者
杨云志
郑昌琼
冉均国
机构
四川联合大学无机材料系
出处
《硅酸盐通报》
CAS
CSCD
1998年第4期39-43,共5页
文摘
综述了温敏铁氧体材料的特点，各种磁性温敏传感器的结构和工作原理及其在不同领域中的应用。
关键词
铁氧体
传感器
磁性
自动化主件
温敏传感器
Keywords
thermosensitive ferrite, sensor, application
分类号
TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
TM2377.014 [一般工业技术—材料科学与工程]
在线阅读
下载PDF
职称材料
题名
多孔硅微机械加工温敏传感器的研究
2
作者
邹平松
赖宗声
机构
华东师范大学电子系
中国科学院传感技术国家重点实验室
出处
《仪表技术与传感器》
CSCD
北大核心
1998年第3期4-6,13,共4页
基金
国家自然科学基金
上海市自然科学基金(上海市科委)资助项目
文摘
本文在对阳极氧化反应形成多孔硅及对多孔硅选择性生长机理、刻蚀研究的基础上，在硅片上做出到衬底距离大于５０μｍ的微桥结构。然后在微桥上溅射镍—铬电阻薄膜，形成温敏传感器微结构，并对其温度电阻特性，热响应时间进行了测量。利用该结构本文还设计出一种新型的温敏、气敏多功能传感结构。
关键词
多孔硅
微机械加工
温敏传感器
Keywords
Porous-Silicon, Micromachining, Temperature-Sensitive Sensor.
分类号
TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
TH－39 [机械工程]
在线阅读
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
温敏铁氧体材料及磁性温敏传感器及其应用
杨云志
郑昌琼
冉均国
《硅酸盐通报》
CAS
CSCD
1998
8
在线阅读
下载PDF
职称材料
2
多孔硅微机械加工温敏传感器的研究
邹平松
赖宗声
《仪表技术与传感器》
CSCD
北大核心
1998
0
在线阅读
下载PDF
职称材料
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
上一页
1
下一页
到第
页
确定
用户登录
登录
IP登录
使用帮助
返回顶部
