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基于MEMS的量热式传感器气体流量测量的模型研究
被引量：
1
1
作者
孙宏军
徐浩文
+1 位作者
丁红兵
刘雨航
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2024年第1期111-119,共9页
气体流量测量广泛应用于呼吸监测、管道运输等领域。本研究细致分析了MEMS量热式传感器温度一维分布模型中的热边界层参数,进行了相应的经验修正。并且在温度一维分布模型的基础上,针对具有两对上下游测温电阻芯片结构的MEMS量热式传感...
气体流量测量广泛应用于呼吸监测、管道运输等领域。本研究细致分析了MEMS量热式传感器温度一维分布模型中的热边界层参数,进行了相应的经验修正。并且在温度一维分布模型的基础上,针对具有两对上下游测温电阻芯片结构的MEMS量热式传感器,提出了一种新的传感器输出电压关于气体流量的半修正理论模型。该理论模型能够适用于不同类型的单介质气体。同时,开展了N_(2)、CO_(2)流量测量实验,与理论模型进行对比,证明所提出的理论模型可以正确预测不同气体介质的流量,其中针对CO_(2)测量介质的均方根误差为0.15%。此外,结合理论分析,提出了一种高精度,拟合形式简单、针对确定气体适用性更好的测量模型,其中针对CO_(2)测量介质的均方根误差为0.05%。
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关键词
MEMS
量热式流量传感器
温度1d分布模型
热边界层
气体流量测量
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职称材料
题名
基于MEMS的量热式传感器气体流量测量的模型研究
被引量：
1
1
作者
孙宏军
徐浩文
丁红兵
刘雨航
机构
天津大学电气自动化与信息工程学院
出处
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2024年第1期111-119,共9页
基金
国家自然科学基金(62373270,52276159)项目资助。
文摘
气体流量测量广泛应用于呼吸监测、管道运输等领域。本研究细致分析了MEMS量热式传感器温度一维分布模型中的热边界层参数,进行了相应的经验修正。并且在温度一维分布模型的基础上,针对具有两对上下游测温电阻芯片结构的MEMS量热式传感器,提出了一种新的传感器输出电压关于气体流量的半修正理论模型。该理论模型能够适用于不同类型的单介质气体。同时,开展了N_(2)、CO_(2)流量测量实验,与理论模型进行对比,证明所提出的理论模型可以正确预测不同气体介质的流量,其中针对CO_(2)测量介质的均方根误差为0.15%。此外,结合理论分析,提出了一种高精度,拟合形式简单、针对确定气体适用性更好的测量模型,其中针对CO_(2)测量介质的均方根误差为0.05%。
关键词
MEMS
量热式流量传感器
温度1d分布模型
热边界层
气体流量测量
Keywords
MEMS
calorimetric flow sensor
temperature
1
d
d
istribution mo
d
el
thermal boun
d
ary layer
gas flow measurement
分类号
TH814 [机械工程—精密仪器及机械]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
基于MEMS的量热式传感器气体流量测量的模型研究
孙宏军
徐浩文
丁红兵
刘雨航
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2024
1
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