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薄膜体声波谐振器温度-频率漂移特性分析
被引量：
3
1
作者
周斌
高杨
+2 位作者
何移
李君儒
何婉婧
《压电与声光》
CSCD
北大核心
2014年第2期171-175,共5页
薄膜体声波谐振器(FBAR)的谐振频率会受外界环境温度的影响而产生漂移,对于FBAR滤波器而言,这种温度-频率漂移特性会导致其中心频率、插入损耗、带内纹波等性能发生变化,降低其在电学应用中的可靠性。应用ANSYS有限元分析软件,对一个典...
薄膜体声波谐振器(FBAR)的谐振频率会受外界环境温度的影响而产生漂移,对于FBAR滤波器而言,这种温度-频率漂移特性会导致其中心频率、插入损耗、带内纹波等性能发生变化,降低其在电学应用中的可靠性。应用ANSYS有限元分析软件,对一个典型Mo-AlN-Mo结构的FBAR进行温度-频率漂移特性的仿真,在-50^+150℃温度范围内得到其温度频率系数为-33.6×10-6/℃。通过在FBAR结构中添加一层正温度系数的补偿层,分析了补偿层厚度对FBAR温度-频率漂移特性、谐振频率和机电耦合特性的影响。设计的温度补偿FBAR其温度频率系数为0.872×10-6/℃,比未添加补偿层时有很大改善。
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关键词
薄膜体声波谐振器
温度-频率漂移
温度
频率
系数
谐振
频率
机电耦合
有限元分析
在线阅读
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职称材料
题名
薄膜体声波谐振器温度-频率漂移特性分析
被引量：
3
1
作者
周斌
高杨
何移
李君儒
何婉婧
机构
西南科技大学信息工程学院
中国工程物理研究院电子工程研究所
重庆大学光电技术及系统教育部重点实验室
出处
《压电与声光》
CSCD
北大核心
2014年第2期171-175,共5页
基金
中国工程物理研究院超精密加工技术重点实验室基金资助项目(2012CJMZZ00009)
西南科技大学制造过程测试技术省部共建教育部重点实验室开放课题基金资助项目(11ZXZK03)
+2 种基金
西南科技大学研究生创新基金资助项目(13ycjj31
13ycjj36)
重庆大学光电技术及系统教育部重点实验室访问学者基金资助项目(2013MS04)
文摘
薄膜体声波谐振器(FBAR)的谐振频率会受外界环境温度的影响而产生漂移,对于FBAR滤波器而言,这种温度-频率漂移特性会导致其中心频率、插入损耗、带内纹波等性能发生变化,降低其在电学应用中的可靠性。应用ANSYS有限元分析软件,对一个典型Mo-AlN-Mo结构的FBAR进行温度-频率漂移特性的仿真,在-50^+150℃温度范围内得到其温度频率系数为-33.6×10-6/℃。通过在FBAR结构中添加一层正温度系数的补偿层,分析了补偿层厚度对FBAR温度-频率漂移特性、谐振频率和机电耦合特性的影响。设计的温度补偿FBAR其温度频率系数为0.872×10-6/℃,比未添加补偿层时有很大改善。
关键词
薄膜体声波谐振器
温度-频率漂移
温度
频率
系数
谐振
频率
机电耦合
有限元分析
Keywords
film bulk acoustic resonator （FBAR）
temperature
-
frequency drift
temperature coefficient of fre
-
quency （TCF）
resonant frequency
electromechanical coupling
finite element analysis （FEA）
分类号
TN713 [电子电信—电路与系统]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
薄膜体声波谐振器温度-频率漂移特性分析
周斌
高杨
何移
李君儒
何婉婧
《压电与声光》
CSCD
北大核心
2014
3
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