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石英音叉温度频率特性的温度传感器（英文）
被引量：
1
1
作者
徐军
刘春花
+1 位作者
马静
李欣
《强激光与粒子束》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2016年第6期102-107,共6页
提出了一种基于石英晶体温度频率特性的石英音叉微谐振式温度传感器。通过理论分析的方法对传感器进行设计,并采用有限元仿真对传感器的结构参数进行优化。采用光刻和蚀刻微加工技术制造石英音叉谐振器,对石英音叉温度传感器样机的频率...
提出了一种基于石英晶体温度频率特性的石英音叉微谐振式温度传感器。通过理论分析的方法对传感器进行设计,并采用有限元仿真对传感器的结构参数进行优化。采用光刻和蚀刻微加工技术制造石英音叉谐振器,对石英音叉温度传感器样机的频率温度特性进行实验研究。实验结果表明:石英音叉温度传感器的标准谐振频率为36.545kHz,灵敏度为-1.9Hz/℃,在-20到100℃的温度范围内,其非线性误差小于0.18%,迟滞为0.02%,与理论研究相吻合。该传感器具有高精度、高灵敏度、低功耗和低成本的特点,为高性能温度测量提供较好的解决方案。
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关键词
石英音叉
温度频率特性
微机械技术
有限元仿真
温度
传感器
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职称材料
声表面波传感器温度频率特性的数值分析
被引量：
1
2
作者
李莺歌
马连湘
+2 位作者
张娜
袁世魁
杜东兴
《化工学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2016年第S1期159-165,共7页
利用ANSYS软件对声表面波传感器进行温度频率特性的数值模拟研究。分析了在一定压力情况下,基于氮化铝压电薄膜铝叉指换能器的延迟型传感器结构内部的温度有限元分布情况。结果表明外界自然对流对传感器内部的温度场及应力场分布影响很...
利用ANSYS软件对声表面波传感器进行温度频率特性的数值模拟研究。分析了在一定压力情况下,基于氮化铝压电薄膜铝叉指换能器的延迟型传感器结构内部的温度有限元分布情况。结果表明外界自然对流对传感器内部的温度场及应力场分布影响很小。并模拟计算出温度与输出串联谐振频率变化的关系,通过数据拟合得出,SAW传感器的输出谐振频率与环境温度变化呈良好的线性关系,因此可应用于温度的精确测试。
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关键词
声表面波传感器
数值模拟
热传导
膜
微电子学
温度频率特性
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职称材料
聚酰亚胺覆盖层对LGS声表面波谐振器的影响
3
作者
谢小伟
彭斌
+2 位作者
喻恒
李凌
张万里
《压电与声光》
CAS
CSCD
北大核心
2018年第6期880-883,共4页
该文在硅酸镓镧(LGS)声表面波(SAW)谐振器上沉积了不同厚度的聚酰亚胺薄膜,研究了聚酰亚胺覆盖层对LGS声表面波谐振器的影响。结果表明,SAW谐振器表面沉积了聚酰亚胺薄膜后,器件的谐振频率向低频移动,且随着聚酰亚胺层厚度的增加,谐振...
该文在硅酸镓镧(LGS)声表面波(SAW)谐振器上沉积了不同厚度的聚酰亚胺薄膜,研究了聚酰亚胺覆盖层对LGS声表面波谐振器的影响。结果表明,SAW谐振器表面沉积了聚酰亚胺薄膜后,器件的谐振频率向低频移动,且随着聚酰亚胺层厚度的增加,谐振器的谐振频率下降越大。SAW谐振器的一阶频率温度系数绝对值随着聚酰亚胺层厚度的增加而增大,且温度转变点向低温偏移。研究结果表明,覆盖聚酰亚胺层薄膜可以提高SAW谐振器的温度灵敏度,从而可应用于温度传感器中。
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关键词
聚酰亚胺
声表面波
机电耦合系数
温度频率特性
硅酸镓镧(LGS)
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职称材料
题名
石英音叉温度频率特性的温度传感器（英文）
被引量：
1
1
作者
徐军
刘春花
马静
李欣
机构
哈尔滨理工大学自动化学院
哈尔滨理工大学计算机科学与技术学院
出处
《强激光与粒子束》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2016年第6期102-107,共6页
基金
supported by National Natural Science Foundation of Heilongjiang Province(F201308and F201136)
文摘
提出了一种基于石英晶体温度频率特性的石英音叉微谐振式温度传感器。通过理论分析的方法对传感器进行设计,并采用有限元仿真对传感器的结构参数进行优化。采用光刻和蚀刻微加工技术制造石英音叉谐振器,对石英音叉温度传感器样机的频率温度特性进行实验研究。实验结果表明:石英音叉温度传感器的标准谐振频率为36.545kHz,灵敏度为-1.9Hz/℃,在-20到100℃的温度范围内,其非线性误差小于0.18%,迟滞为0.02%,与理论研究相吻合。该传感器具有高精度、高灵敏度、低功耗和低成本的特点,为高性能温度测量提供较好的解决方案。
关键词
石英音叉
温度频率特性
微机械技术
有限元仿真
温度
传感器
Keywords
quartz tuning fork
temperature frequency characteristic
micromachining technology
finite element simulation
temperature sensor
分类号
TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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职称材料
题名
声表面波传感器温度频率特性的数值分析
被引量：
1
2
作者
李莺歌
马连湘
张娜
袁世魁
杜东兴
机构
青岛科技大学自动化与电子工程学院
青岛科技大学机电工程学院
出处
《化工学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2016年第S1期159-165,共7页
基金
国家自然科学基金项目(51476081)~~
文摘
利用ANSYS软件对声表面波传感器进行温度频率特性的数值模拟研究。分析了在一定压力情况下,基于氮化铝压电薄膜铝叉指换能器的延迟型传感器结构内部的温度有限元分布情况。结果表明外界自然对流对传感器内部的温度场及应力场分布影响很小。并模拟计算出温度与输出串联谐振频率变化的关系,通过数据拟合得出,SAW传感器的输出谐振频率与环境温度变化呈良好的线性关系,因此可应用于温度的精确测试。
关键词
声表面波传感器
数值模拟
热传导
膜
微电子学
温度频率特性
Keywords
surface acoustic wave sensor
numerical simulation
heat conduction
membranes
microelectronics
temperature frequency characteristics
分类号
TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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职称材料
题名
聚酰亚胺覆盖层对LGS声表面波谐振器的影响
3
作者
谢小伟
彭斌
喻恒
李凌
张万里
机构
电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室
出处
《压电与声光》
CAS
CSCD
北大核心
2018年第6期880-883,共4页
基金
国家自然科学基金资助项目(61223002)
文摘
该文在硅酸镓镧(LGS)声表面波(SAW)谐振器上沉积了不同厚度的聚酰亚胺薄膜,研究了聚酰亚胺覆盖层对LGS声表面波谐振器的影响。结果表明,SAW谐振器表面沉积了聚酰亚胺薄膜后,器件的谐振频率向低频移动,且随着聚酰亚胺层厚度的增加,谐振器的谐振频率下降越大。SAW谐振器的一阶频率温度系数绝对值随着聚酰亚胺层厚度的增加而增大,且温度转变点向低温偏移。研究结果表明,覆盖聚酰亚胺层薄膜可以提高SAW谐振器的温度灵敏度,从而可应用于温度传感器中。
关键词
聚酰亚胺
声表面波
机电耦合系数
温度频率特性
硅酸镓镧(LGS)
Keywords
polyimide
SAW
electromechanical coupling coefficient
frequency-temperature characteristics
LGS
分类号
TN384 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
石英音叉温度频率特性的温度传感器（英文）
徐军
刘春花
马静
李欣
《强激光与粒子束》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2016
1
在线阅读
下载PDF
职称材料
2
声表面波传感器温度频率特性的数值分析
李莺歌
马连湘
张娜
袁世魁
杜东兴
《化工学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2016
1
在线阅读
下载PDF
职称材料
3
聚酰亚胺覆盖层对LGS声表面波谐振器的影响
谢小伟
彭斌
喻恒
李凌
张万里
《压电与声光》
CAS
CSCD
北大核心
2018
0
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职称材料
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