宽带温度补偿型声表面波滤波器的设计与优化 被引量：2

1

作者 谭发曾 李桦林 +4 位作者 马晋毅 陈文远 胡明浪 杜雪松 詹雪奎 《压电与声光》 CAS 北大核心 2024年第5期651-654,669,共5页

提出了一种宽带温度补偿型声表面波滤波器的设计方法。通过研究铌酸锂衬底不同欧拉角、不同电极材料和厚度对声表面波谐振器频率响应和杂散抑制的影响,确定了宽带温度补偿型声表面波滤波器的最佳切向和电极结构。所制备的宽带声表面波... 提出了一种宽带温度补偿型声表面波滤波器的设计方法。通过研究铌酸锂衬底不同欧拉角、不同电极材料和厚度对声表面波谐振器频率响应和杂散抑制的影响,确定了宽带温度补偿型声表面波滤波器的最佳切向和电极结构。所制备的宽带声表面波滤波器的温度系数优于-18.9×10^(-6)/℃,-3 dB相对带宽为7.84%,插入损耗为0.93 dB,展现出良好的带外抑制。 展开更多

关键词 声表面波 滤波器 宽带 温度补偿

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反射率补偿型声表面波标签的温度测量 被引量：7

2

作者 蒋玲 陈智军 +2 位作者 高智翔 徐海林 童锐 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第10期2372-2377,共6页

声表面波器件卓越的性能,极其适于集识别与传感一体的应用。研究了反射率补偿型声表面波标签的温度测量可行性：分析并消除了反射栅结构差异对相位延迟的影响;提出相位比例尺递推的思想,在保证测温精度同时,极大拓展了测温范围;反射栅... 声表面波器件卓越的性能,极其适于集识别与传感一体的应用。研究了反射率补偿型声表面波标签的温度测量可行性：分析并消除了反射栅结构差异对相位延迟的影响;提出相位比例尺递推的思想,在保证测温精度同时,极大拓展了测温范围;反射栅间相位延迟的线性拟合,减少了噪声相位对测温的影响;提出斜率温度系数的概念,理论推导表明此参数与反射栅位置、结构无关,简化了测温标签的标定工作量。实验验证了反射率补偿型声表面波标签测温的有效性,并在30~130℃内获得了±0.3℃的测温精度。 展开更多

关键词 反射率补偿 声表面波标签 温度测量 斜率温度系数 相位比例尺递推

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声表面波压力传感器温度误差及补偿方法研究 被引量：12

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作者 何鹏举 陈明 +1 位作者 马戎 许海岗 《传感技术学报》 CAS CSCD 2003年第4期471-474,456,共5页

要提高声表面波压力传感器的测量精确度 ,温度补偿是主要难题。尽管目前有许多补偿方法 ,但其效果不佳。采用软件方法进行温度补偿的研究在国内外已成热点 ,但选用神经网络对SAW压力传感器进行温度补偿尚罕见报道。本文以CSF - 10型SAW... 要提高声表面波压力传感器的测量精确度 ,温度补偿是主要难题。尽管目前有许多补偿方法 ,但其效果不佳。采用软件方法进行温度补偿的研究在国内外已成热点 ,但选用神经网络对SAW压力传感器进行温度补偿尚罕见报道。本文以CSF - 10型SAW压力传感器为研究对象 ,通过理论分析和实验 ,得到了SAW压力传感器的温度特性曲线 ,又经现场实际操作 ,BP神经网络对SAW压力传感器温度补偿的效果良好 。 展开更多

关键词 SAW压力传感器 温度误差 补偿方法 BP神经网络 声表面波

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声表面波应变传感器的温度补偿方法研究 被引量：4

4

作者 郭霄鹏 袁策 +2 位作者 朱波 柯亚兵 李红浪 《压电与声光》 CAS CSCD 北大核心 2016年第5期744-746,共3页

针对声表面波（SAW）应变传感器在测量应变过程中易受温度干扰的问题,提出了一种温度补偿法。在原有SAW应变片的基础上增加补偿片,用于补偿温度变化引起的附加应变值。实验结果表明,在-20-100℃范围内,未经补偿的应变传感器由温度引起... 针对声表面波（SAW）应变传感器在测量应变过程中易受温度干扰的问题,提出了一种温度补偿法。在原有SAW应变片的基础上增加补偿片,用于补偿温度变化引起的附加应变值。实验结果表明,在-20-100℃范围内,未经补偿的应变传感器由温度引起的附加应变量最高为600με,补偿后附加应变量最高为43με,温度干扰得到抑制,验证了该温度补偿法的可行性。 展开更多

关键词 声表面波(SAW) 应变传感器 压电晶体 微扰理论 温度补偿

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声表面波CO气体传感器温度误差补偿方法研究 被引量：5

5

作者 张朋 陈明 何鹏举 《压电与声光》 CSCD 北大核心 2010年第1期3-6,22,共5页

要提高声表面波(SAW)气体传感器的测量精确度,温度补偿是主要难题。目前有许多补偿方法,但其效果不佳。采用软件方法进行温度补偿的研究在国内外已成热点,但选用神经网络对声表面波气体传感器进行温度补偿罕见报道。该文以西北工业大学... 要提高声表面波(SAW)气体传感器的测量精确度,温度补偿是主要难题。目前有许多补偿方法,但其效果不佳。采用软件方法进行温度补偿的研究在国内外已成热点,但选用神经网络对声表面波气体传感器进行温度补偿罕见报道。该文以西北工业大学研发的声表面波CO气体传感器为研究对象,通过理论分析和实验,得到了声表面波CO气体传感器的温度特性曲线。提出了一种利用BP人工神经网络对声表面波CO气体传感器温度误差进行修正的新方法。计算机仿真和试验结果表明,该法能有效改善传感器的输出特性,且速度快,精度高,鲁棒性强,便于用硬件实现,具有较高的推广应用价值。 展开更多

关键词 声表面波 CO气体传感器 温度误差 补偿方法 BP神经网络

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宽温度范围声表面波标签温度补偿的研究

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作者 王晓伟 韩韬 《压电与声光》 CSCD 北大核心 2014年第5期709-712,共4页

大容量延迟线型声表面波(SAW)标签除需利用回波时延,还需利用回波的载波相位进行编码,而回波载波相位会受温度的影响而发生变化。在实际应用中必须对回波相位进行温度补偿。因此,该文提出了一种基于3根标准温度反射栅的设计及实际温度... 大容量延迟线型声表面波(SAW)标签除需利用回波时延,还需利用回波的载波相位进行编码,而回波载波相位会受温度的影响而发生变化。在实际应用中必须对回波相位进行温度补偿。因此,该文提出了一种基于3根标准温度反射栅的设计及实际温度补偿过程中温度补偿系数的确定方法,并讨论了相位测量误差对温度补偿适用范围及温度补偿精度的影响。 展开更多

关键词 声表面波(SAW) 射频识别 延迟线 测量误差 温度补偿

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Y型声表面波质量传感器 被引量：2

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作者 章安良 朱大中 《传感技术学报》 CAS CSCD 2003年第4期457-460,414,共5页

报道了在 12 8°Y切割X传播方向的LiNbO3基片上设计并研制的中心频率为 12 2MHz的Y型双声路质量传感器 ,它具有一个参考声路臂和一个测量声路臂 ,每声路中有一个采用光刻工艺精确定位的质量沉积区。本文阐述了质量沉积效应的原理、... 报道了在 12 8°Y切割X传播方向的LiNbO3基片上设计并研制的中心频率为 12 2MHz的Y型双声路质量传感器 ,它具有一个参考声路臂和一个测量声路臂 ,每声路中有一个采用光刻工艺精确定位的质量沉积区。本文阐述了质量沉积效应的原理、器件的设计方法。采用振荡的方式对器件的性能进行测试。测试结果表明 :该器件的两声路频谱对称性良好 ,并且有良好的相对温度系数 ,仅为 12Hz/℃左右。器件的质量沉积效应灵敏度约为 3 6GHz·cm2 /g 。 展开更多

关键词 声表面波传感器 Y型双声路质量传感器 质量沉积效应 温度系数

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具有高灵敏度声表面波应变传感器的仿真与设计 被引量：4

8

作者 闫夏雯 谭秋林 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2022年第2期21-24,共4页

针对高温高旋环境下部件健康监测的需求,设计了一种背部带有凹槽的基于硅酸镓镧(LGS)的声表面波应变传感器。通过COMSOL软件建立应变传感器模型,对应变传感器表面应变分布情况及传感器灵敏度进行仿真,确定了制备传感器的最佳模型参数,... 针对高温高旋环境下部件健康监测的需求,设计了一种背部带有凹槽的基于硅酸镓镧(LGS)的声表面波应变传感器。通过COMSOL软件建立应变传感器模型,对应变传感器表面应变分布情况及传感器灵敏度进行仿真,确定了制备传感器的最佳模型参数,同时通过对传感器施加不同的温度场,得到了传感器的应变灵敏度随温度的变化规律。仿真结果表明,随着温度的升高,传感器的应变灵敏度成非线性减小,温度对应变灵敏度的影响从0.0028 Hz/(ppm·℃)增大到0.0203 Hz/(ppm·℃)。上述结果为声表面波应变传感器的制备与测试提供了参考。 展开更多

关键词 声表面波 应变传感器 矩形腔 灵敏度 温度补偿

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某型飞机大气数据系统设计 被引量：4

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作者 张朋 陈明 秦波 《火力与指挥控制》 CSCD 北大核心 2009年第8期162-166,共5页

大气数据系统是重要的机载电子设备,其性能、精度直接关系到飞机的飞行安全。在介绍某型号飞机大气数据系统的软硬件体系结构的基础上,从三个方面深入研究了提高大气数据系统精度的途径:大气数据计算模型;基于BP神经网络的压力测量温度... 大气数据系统是重要的机载电子设备,其性能、精度直接关系到飞机的飞行安全。在介绍某型号飞机大气数据系统的软硬件体系结构的基础上,从三个方面深入研究了提高大气数据系统精度的途径:大气数据计算模型;基于BP神经网络的压力测量温度误差补偿方法;一种计算型静压源误差补偿方法。其大气数据系统系统性能稳定,结构紧凑,速度快,精度高,软硬件升级简单。试验证明其大气数据系统能很好满足某型号飞机的使用要求。 展开更多

关键词 大气数据系统 BP神经网络 温度补偿 静压源误差 声表面波压力传感器

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EPS用SAW扭矩传感器结构优化及算法 被引量：5

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作者 李志鹏 马龙祥 +1 位作者 孟旭 史松卓 《传感器与微系统》 CSCD 2019年第1期130-133,共4页

针对市场上已有的车载电动助力转向系统(EPS)扭矩传感器存在易受噪声干扰、供电困难等缺点,结合声表面波(SAW)器件灵敏度高、抗干扰能力强等特点,提出了根据SAW原理对转向扭矩测量的方案。基于车载EPS使用环境复杂、温度变化大的特点,... 针对市场上已有的车载电动助力转向系统(EPS)扭矩传感器存在易受噪声干扰、供电困难等缺点,结合声表面波(SAW)器件灵敏度高、抗干扰能力强等特点,提出了根据SAW原理对转向扭矩测量的方案。基于车载EPS使用环境复杂、温度变化大的特点,提出了一种可以消除温度影响的EPS用SAW扭矩传感器结构设计方案。在信号处理方面,针对M-Rife算法在对频率估计时,估计结果总体会发生频率偏移和误差过大的问题,提出了一种基于Welch和迭代插值算法对M-Rife算法改进的新算法。仿真和试验结果表明:改进的算法在估计EPS用SAW扭矩传感器频率信号方面拥有较好的精度,优于单独使用M-Rife算法。 展开更多

关键词 电动助力转向系统 声表面波 频率估计 温度补偿 M—Rife算法 Welch算法 迭代插值算法

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基于晶圆减薄工艺的LT减薄片制备 被引量：1

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作者 刘贻兵 钱一聪 +3 位作者 帅垚 吴传贵 罗文博 张万里 《压电与声光》 CAS 北大核心 2023年第4期570-573,578,共5页

声表面波(SAW)滤波器因其小型化、低插损及高品质因数(Q)值等性能,已广泛应用于移动通信系统中。钽酸锂(LT)/SiO2/Si结构克服了传统温度补偿型声表面波(TC-SAW)器件制备工艺难的问题,但需减薄该结构上的LT厚度,而减薄过程会导致晶圆表... 声表面波(SAW)滤波器因其小型化、低插损及高品质因数(Q)值等性能,已广泛应用于移动通信系统中。钽酸锂(LT)/SiO2/Si结构克服了传统温度补偿型声表面波(TC-SAW)器件制备工艺难的问题,但需减薄该结构上的LT厚度,而减薄过程会导致晶圆表面有损伤残留,影响器件性能。针对这个问题,该文开展了基于减薄与抛光制备LT减薄片的工艺研究,分析了砂轮目数、砂轮与工作台转速、砂轮进给率等减薄参数对LT晶圆表面损伤的影响,以及抛光压力对损伤的去除效果。研究结果表明,在优化的工艺参数下,减薄抛光后晶圆表面粗糙度为0.187 nm,损伤深度小于1 nm,减薄片制备的TC-SAW谐振器的阻抗图和Smith圆图表明晶圆性能和一致性良好。 展开更多

关键词 减薄 抛光 钽酸锂 表面粗糙度 温度补偿型声表面波(tc-saw)

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