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ZnO薄膜生长及声表面波性能研究
被引量：
2
1
作者
罗景庭
钟鑫
+5 位作者
朱茂东
古迪
柯鹏飞
刘梓昇
钟增培
范平
《深圳大学学报（理工版）》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2015年第1期17-24,共8页
采用传统射频磁控溅射技术,通过引入Si O2缓冲层以及调节工作气压的方法,在Si衬底上制备具有高度(1120)择优取向的Zn O薄膜.采用X射线衍射技术和原子力显微镜分析Zn O薄膜的晶体特性和择优取向.研究发现,引入Si O2缓冲层能显著减小Zn O/...
采用传统射频磁控溅射技术,通过引入Si O2缓冲层以及调节工作气压的方法,在Si衬底上制备具有高度(1120)择优取向的Zn O薄膜.采用X射线衍射技术和原子力显微镜分析Zn O薄膜的晶体特性和择优取向.研究发现,引入Si O2缓冲层能显著减小Zn O/Si O2/Si三层结构声表面波器件的温度延迟系数(temperature coefficient of delay,TCD),当Si O2缓冲层厚度为200 nm时,Zn O薄膜同时具有(0002)和(1120)择优取向,且TCD值仅为2×10-6℃-1左右,说明器件温度稳定性佳.当工作气压降低时,Zn O(1120)择优取向增强,相应的声表面波器件的机电耦合系数(K2)也增大.在大机电耦合系数和高温度稳定性的Zn O/Si O2/Si三层结构的基础上,有望制作出高性能的Love波声表面波生物传感器.
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关键词
凝聚态物理
ZNO薄膜
(
1120
)
择优取向
Love波声表面波器件
机电耦合
系数
温度延迟系数
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职称材料
非晶态TeO2／36°Y-X LiTaO3 SAW基板
2
作者
商晓莉
公勋
+1 位作者
熊军
章德
《压电与声光》
CSCD
北大核心
2009年第1期4-5,8,共3页
研究了非晶态TeO2/36°Y-X LiTaO3层状结构的延迟温度系数(TCD),并计算了该结构中声表面波(SAW)的其他重要特性,如声波模式和机电耦合系数(k2)。非晶态TeO2薄膜作为一种新型具有负温度系数的材料,当将其沉积于具有正温度系数的36...
研究了非晶态TeO2/36°Y-X LiTaO3层状结构的延迟温度系数(TCD),并计算了该结构中声表面波(SAW)的其他重要特性,如声波模式和机电耦合系数(k2)。非晶态TeO2薄膜作为一种新型具有负温度系数的材料,当将其沉积于具有正温度系数的36°Y-X LiTaO3上时,在膜厚仅为传统SiO2薄膜的1/3情况下就可实现零延迟温度系数。另外,该结构中被利用的1阶Love波模式很纯,没有和其他模式明显的耦合,而且其k2高达8.61%。故此结构是一种具有广泛应用前景的新型复合SAW应用材料。
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关键词
延迟
温度
系数
(TCD)
非晶态TeO2薄膜
36°Y-X
LITAO3
LOVE波
层状结构
声表面波(SAW)
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职称材料
题名
ZnO薄膜生长及声表面波性能研究
被引量：
2
1
作者
罗景庭
钟鑫
朱茂东
古迪
柯鹏飞
刘梓昇
钟增培
范平
机构
深圳大学物理科学与技术学院
出处
《深圳大学学报（理工版）》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2015年第1期17-24,共8页
基金
国家自然科学基金资助项目(51302173)
广东高校优秀青年创新人才培养计划资助项目(2013LYM_0078)~~
文摘
采用传统射频磁控溅射技术,通过引入Si O2缓冲层以及调节工作气压的方法,在Si衬底上制备具有高度(1120)择优取向的Zn O薄膜.采用X射线衍射技术和原子力显微镜分析Zn O薄膜的晶体特性和择优取向.研究发现,引入Si O2缓冲层能显著减小Zn O/Si O2/Si三层结构声表面波器件的温度延迟系数(temperature coefficient of delay,TCD),当Si O2缓冲层厚度为200 nm时,Zn O薄膜同时具有(0002)和(1120)择优取向,且TCD值仅为2×10-6℃-1左右,说明器件温度稳定性佳.当工作气压降低时,Zn O(1120)择优取向增强,相应的声表面波器件的机电耦合系数(K2)也增大.在大机电耦合系数和高温度稳定性的Zn O/Si O2/Si三层结构的基础上,有望制作出高性能的Love波声表面波生物传感器.
关键词
凝聚态物理
ZNO薄膜
(
1120
)
择优取向
Love波声表面波器件
机电耦合
系数
温度延迟系数
Keywords
condensed matter physics
ZnO films
（1120） preferred orientation
Love mode surface acoustic wave devices
electromechanical coupling coefficient
temperature coefficient of delay
分类号
O484.1 [理学—固体物理]
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职称材料
题名
非晶态TeO2／36°Y-X LiTaO3 SAW基板
2
作者
商晓莉
公勋
熊军
章德
机构
南京大学电子科学与工程系
出处
《压电与声光》
CSCD
北大核心
2009年第1期4-5,8,共3页
基金
国家自然科学基金资助项目(10404014)
文摘
研究了非晶态TeO2/36°Y-X LiTaO3层状结构的延迟温度系数(TCD),并计算了该结构中声表面波(SAW)的其他重要特性,如声波模式和机电耦合系数(k2)。非晶态TeO2薄膜作为一种新型具有负温度系数的材料,当将其沉积于具有正温度系数的36°Y-X LiTaO3上时,在膜厚仅为传统SiO2薄膜的1/3情况下就可实现零延迟温度系数。另外,该结构中被利用的1阶Love波模式很纯,没有和其他模式明显的耦合,而且其k2高达8.61%。故此结构是一种具有广泛应用前景的新型复合SAW应用材料。
关键词
延迟
温度
系数
(TCD)
非晶态TeO2薄膜
36°Y-X
LITAO3
LOVE波
层状结构
声表面波(SAW)
Keywords
temperature coefficient of delay（TCD）
amorphous TeO2 film
36°Y-X LiTaO3 Love wave
layered structure
SAW
分类号
O42 [理学—声学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
ZnO薄膜生长及声表面波性能研究
罗景庭
钟鑫
朱茂东
古迪
柯鹏飞
刘梓昇
钟增培
范平
《深圳大学学报（理工版）》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2015
2
在线阅读
下载PDF
职称材料
2
非晶态TeO2／36°Y-X LiTaO3 SAW基板
商晓莉
公勋
熊军
章德
《压电与声光》
CSCD
北大核心
2009
0
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职称材料
已选择
0
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参考文献
引证文献
统计分析
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