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基于建模与优化的MOCVD温度均匀控制 被引量:1
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作者 许力 鲁二峰 周峰 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第6期1175-1180,共6页
为了提高MOCVD反应室衬底温度均匀性,提出一种基于建模和优化的控制策略。采用神经网络建立反应室温度特性模型,得到输入功率与反应室衬底温度场之间的关系,在此基础上,以温度均匀性为性能指标,采用仿生优化算法对输入功率配比进行优化... 为了提高MOCVD反应室衬底温度均匀性,提出一种基于建模和优化的控制策略。采用神经网络建立反应室温度特性模型,得到输入功率与反应室衬底温度场之间的关系,在此基础上,以温度均匀性为性能指标,采用仿生优化算法对输入功率配比进行优化,实现MOCVD反应室衬底温度的均匀控制。仿真结果验证了所提出方法的有效性。 展开更多
关键词 MOCVD 温度均匀性控制 建模 仿生优化
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基于两相流体的超大面源黑体控温技术 被引量:3
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作者 杨昌鹏 徐侃 +5 位作者 薛亮 黄金印 于新刚 刘银年 宋云飞 何明键 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2022年第12期90-98,共9页
面源黑体作为红外源标在红外测温、红外成像、红外相机标定等领域广泛应用,红外源标红外辐射性能主要取决于面源黑体温度场的控制。为了适应星载和机载红外探测器大孔径、大视场角的发展需求,文中对超大尺寸面源黑体温度控制技术进行了... 面源黑体作为红外源标在红外测温、红外成像、红外相机标定等领域广泛应用,红外源标红外辐射性能主要取决于面源黑体温度场的控制。为了适应星载和机载红外探测器大孔径、大视场角的发展需求,文中对超大尺寸面源黑体温度控制技术进行了研究。外场条件下,面源黑体会随着尺寸的增大而增加温度控制的难度,控温系统采用两相流体回路技术实现了外场3m×3m面源黑体不同目标温度下高温度均匀性、稳定性温度控制,试验结果表明,黑体表面温度均匀性控制优于±0.60℃,稳定性控制优于0.14℃/15min。 展开更多
关键词 面源黑体 超大尺寸 两相流体回路 温度均匀性控制
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Temperature control for thermal treatment of aluminum alloy in a large-scale vertical quench furnace 被引量:3
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作者 沈玲 贺建军 +1 位作者 喻寿益 桂卫华 《Journal of Central South University》 SCIE EI CAS CSCD 2016年第7期1719-1728,共10页
The temperature control of the large-scale vertical quench furnace is very difficult due to its huge volume and complex thermal exchanges. To meet the technical requirement of the quenching process, a temperature cont... The temperature control of the large-scale vertical quench furnace is very difficult due to its huge volume and complex thermal exchanges. To meet the technical requirement of the quenching process, a temperature control system which integrates temperature calibration and temperature uniformity control is developed for the thermal treatment of aluminum alloy workpieces in the large-scale vertical quench furnace. To obtain the aluminum alloy workpiece temperature, an air heat transfer model is newly established to describe the temperature gradient distribution so that the immeasurable workpiece temperature can be calibrated from the available thermocouple temperature. To satisfy the uniformity control of the furnace temperature, a second order partial differential equation(PDE) is derived to describe the thermal dynamics inside the vertical quench furnace. Based on the PDE, a decoupling matrix is constructed to solve the coupling issue and decouple the heating process into multiple independent heating subsystems. Then, using the expert control rule to find a compromise of temperature rising time and overshoot during the quenching process. The developed temperature control system has been successfully applied to a 31 m large-scale vertical quench furnace, and the industrial running results show the significant improvement of the temperature uniformity, lower overshoot and shortened processing time. 展开更多
关键词 large-scale vertical quench furnace temperature calibration thermal dynamic model decoupling control
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