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SPDT加工对KDP晶体表面温度及应力的影响
被引量：
1
1
作者
杨萍
张晨贵
+6 位作者
梁莹林
刘有海
阳红
张连新
栾春红
姜晶
王超
《人工晶体学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2016年第4期896-900,共5页
KDP晶体作为优质的非线性光学材料,具有脆性高、对温度敏感等特性,在单点金刚石切削(SPDT)超精密加工中,微小的温度和应力变化有可能对晶体造成损伤,但是一直未有相关实验报道。本文采用红外热成像仪对SPDT加工过程进行监测,结合Raman...
KDP晶体作为优质的非线性光学材料,具有脆性高、对温度敏感等特性,在单点金刚石切削(SPDT)超精密加工中,微小的温度和应力变化有可能对晶体造成损伤,但是一直未有相关实验报道。本文采用红外热成像仪对SPDT加工过程进行监测,结合Raman光谱技术,研究KDP晶体在SPDT加工前后表面温度和应力的分布变化。大尺寸KDP晶体经过快速微区切削后,在给定的切削工艺条件下,测量出切削部分最高瞬态温度比附近未切削部分高出将近8℃。通过Raman测量,显示切削后晶体表面存在残余拉应力。结合热力耦合模拟仿真,进一步分析了SPDT加工过程动态切削温度对晶体质量的影响,为优化加工参数提供依据。
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关键词
KDP晶体
温度原位测量
RAMAN光谱
模拟仿真
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职称材料
题名
SPDT加工对KDP晶体表面温度及应力的影响
被引量：
1
1
作者
杨萍
张晨贵
梁莹林
刘有海
阳红
张连新
栾春红
姜晶
王超
机构
电子科技大学微电子与固体电子学院
中国工程物理研究院机械制造工艺研究所
出处
《人工晶体学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2016年第4期896-900,共5页
基金
中国工程物理研究院超精密加工技术重点实验室开放基金课题(KF14008)
电子科技大学中央高校基本科研业务费(A03010023801115)
四川省科技计划支撑项目(M110238012014GZ0151)
文摘
KDP晶体作为优质的非线性光学材料,具有脆性高、对温度敏感等特性,在单点金刚石切削(SPDT)超精密加工中,微小的温度和应力变化有可能对晶体造成损伤,但是一直未有相关实验报道。本文采用红外热成像仪对SPDT加工过程进行监测,结合Raman光谱技术,研究KDP晶体在SPDT加工前后表面温度和应力的分布变化。大尺寸KDP晶体经过快速微区切削后,在给定的切削工艺条件下,测量出切削部分最高瞬态温度比附近未切削部分高出将近8℃。通过Raman测量,显示切削后晶体表面存在残余拉应力。结合热力耦合模拟仿真,进一步分析了SPDT加工过程动态切削温度对晶体质量的影响,为优化加工参数提供依据。
关键词
KDP晶体
温度原位测量
RAMAN光谱
模拟仿真
Keywords
KDP crystal
in situ temperature measurement
Raman spectrum
simulation
分类号
O786 [理学—晶体学]
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题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
SPDT加工对KDP晶体表面温度及应力的影响
杨萍
张晨贵
梁莹林
刘有海
阳红
张连新
栾春红
姜晶
王超
《人工晶体学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2016
1
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