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基于热传导的高鲁棒性温压一体柔性传感器敏感机理的研究
1
作者
张永豪
朴林华
孙嘉浩
《压电与声光》
北大核心
2025年第1期98-103,107,共7页
该文提出了一种基于热传导的高鲁棒性温压一体柔性传感器结构,并研究了其敏感机理。通过COMSOL建立三维模型结构,计算了敏感结构内的温度场。计算结果表明,基于热传导的高鲁棒性温压一体柔性传感器的输入压强与输出电压成反比例关系,当...
该文提出了一种基于热传导的高鲁棒性温压一体柔性传感器结构,并研究了其敏感机理。通过COMSOL建立三维模型结构,计算了敏感结构内的温度场。计算结果表明,基于热传导的高鲁棒性温压一体柔性传感器的输入压强与输出电压成反比例关系,当压强为0~500 kPa时,传感器灵敏度为-0.205 mV/kPa,非线性度为6.161%;当压强为525~740 kPa时,传感器灵敏度为-4.937 mV/kPa,非线性度为9.628%。
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关键词
温
压
一体
柔性
传感器
微机械
有限元分析
高鲁棒性
敏感机理
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职称材料
基于数据处理的高精度温压复合传感器的研究与设计
被引量：
5
2
作者
谢锋
程文进
曹勇全
《传感技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2017年第12期1845-1849,共5页
为了满足航天测量领域重量轻精度高的测量要求,传感器仅用单个扩散硅压力敏感探头,实现温度和压力的复合测量。通过测量敏感探头恒流激励模式多温度点多压力点下的桥电压作为原始标定数据。数据处理过程抓住主要影响因子来拟合输入输出...
为了满足航天测量领域重量轻精度高的测量要求,传感器仅用单个扩散硅压力敏感探头,实现温度和压力的复合测量。通过测量敏感探头恒流激励模式多温度点多压力点下的桥电压作为原始标定数据。数据处理过程抓住主要影响因子来拟合输入输出变量函数。然后采用直线或曲线族的插值的误差修正方式来降低拟合误差。传感器压力综合精度从1.13%FS提高到0.05%FS的综合精度,温度综合精度从2.06%FS提高到0.05%FS的综合精度,最终满足用户0.05%FS综合精度的技术指标要求。
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关键词
温压一体传感器
数据处理
误差修正
曲线簇插值
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职称材料
题名
基于热传导的高鲁棒性温压一体柔性传感器敏感机理的研究
1
作者
张永豪
朴林华
孙嘉浩
机构
北京信息科技大学北京市传感器重点实验室
出处
《压电与声光》
北大核心
2025年第1期98-103,107,共7页
基金
国家自然科学基金资助项目(61771060)
北京市教育委员会科研计划项目资助(KZ20231123221)
+2 种基金
北京市新世纪百千万人才工程培养资助项目(2019A20)
现代测控技术教育部重点实验室资助(2024202101)
北京信息科技大学北京市传感器重点实验室资助(2024202108)。
文摘
该文提出了一种基于热传导的高鲁棒性温压一体柔性传感器结构,并研究了其敏感机理。通过COMSOL建立三维模型结构,计算了敏感结构内的温度场。计算结果表明,基于热传导的高鲁棒性温压一体柔性传感器的输入压强与输出电压成反比例关系,当压强为0~500 kPa时,传感器灵敏度为-0.205 mV/kPa,非线性度为6.161%;当压强为525~740 kPa时,传感器灵敏度为-4.937 mV/kPa,非线性度为9.628%。
关键词
温
压
一体
柔性
传感器
微机械
有限元分析
高鲁棒性
敏感机理
Keywords
flexible sensor integrating temperature and pressure
micromachining
finite element
high robustness
sensitive mechanism
分类号
TN37 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
基于数据处理的高精度温压复合传感器的研究与设计
被引量：
5
2
作者
谢锋
程文进
曹勇全
机构
中国电子科技集团公司第四十八研究所
出处
《传感技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2017年第12期1845-1849,共5页
文摘
为了满足航天测量领域重量轻精度高的测量要求,传感器仅用单个扩散硅压力敏感探头,实现温度和压力的复合测量。通过测量敏感探头恒流激励模式多温度点多压力点下的桥电压作为原始标定数据。数据处理过程抓住主要影响因子来拟合输入输出变量函数。然后采用直线或曲线族的插值的误差修正方式来降低拟合误差。传感器压力综合精度从1.13%FS提高到0.05%FS的综合精度,温度综合精度从2.06%FS提高到0.05%FS的综合精度,最终满足用户0.05%FS综合精度的技术指标要求。
关键词
温压一体传感器
数据处理
误差修正
曲线簇插值
Keywords
temperature and pressure integrated sensor
data processing
error correction
curve cluster interpolation
分类号
TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
基于热传导的高鲁棒性温压一体柔性传感器敏感机理的研究
张永豪
朴林华
孙嘉浩
《压电与声光》
北大核心
2025
0
在线阅读
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职称材料
2
基于数据处理的高精度温压复合传感器的研究与设计
谢锋
程文进
曹勇全
《传感技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2017
5
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职称材料
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