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单片晶圆气液混合流清洗技术研究
1
作者
刘佰红
杨炜平
+7 位作者
梁翔
杨丽丽
杜浩楠
保加兵
石春明
马跃霞
殷艳娥
段瑜
《红外技术》
CSCD
北大核心
2022年第12期1332-1337,共6页
研究了气液混合流清洗方法对单片晶圆表面颗粒的去除效果,引入无量纲参数移径比(H/D)讨论其对单片晶圆表面颗粒去除效率的影响。此外,还讨论了冲洗时间、冲洗压力对颗粒去除效率的影响。结果表明:晶圆表面颗粒去除效率随着冲洗时间、冲...
研究了气液混合流清洗方法对单片晶圆表面颗粒的去除效果,引入无量纲参数移径比(H/D)讨论其对单片晶圆表面颗粒去除效率的影响。此外,还讨论了冲洗时间、冲洗压力对颗粒去除效率的影响。结果表明:晶圆表面颗粒去除效率随着冲洗时间、冲洗压力的增大而提高。移径比为1时晶圆表面颗粒去除效率最高;当移径比小于1时,晶圆表面颗粒去除效率随移径比增大而提高;当移径比大于1时,晶圆表面开始出现未被冲洗的区域,颗粒去除效率随移径比增大而迅速降低。采用气液混合流清洗技术,可以实现颗粒直径为0.2~0.3μm范围的颗粒去除效率达99%以上,颗粒直径为0.1~0.5μm范围的颗粒去除效率达96%以上。
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关键词
气
液混合流
清洗
冲洗时间
移径比
冲洗压力
颗粒去除效率
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职称材料
整叶类蔬菜清洗机设计与试验
被引量:
8
2
作者
马雪飞
杜志龙
+3 位作者
马季威
李佳伟
赵丹
曹光矗
《农业机械学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2018年第S1期419-425,共7页
针对整叶类蔬菜清洗过程中整叶、低损伤、有序的要求,设计了以气浴和水流为清洗动力的整叶类蔬菜清洗机。确定了清洗工艺流程,进行了清洗机整体结构设计,针对菜叶遇水粘附、上浮等清洗难点,模拟人工清洗过程,设计料筐周期性上下振动方...
针对整叶类蔬菜清洗过程中整叶、低损伤、有序的要求,设计了以气浴和水流为清洗动力的整叶类蔬菜清洗机。确定了清洗工艺流程,进行了清洗机整体结构设计,针对菜叶遇水粘附、上浮等清洗难点,模拟人工清洗过程,设计料筐周期性上下振动方式清洗。对清洗机清洗槽和过滤装置、气泡发生装置、水流喷射装置等关键部件进行设计,实现设备自动化运转。针对喷气管路进行流体动力学模拟仿真,对不同气流流速下的气相分布情况进行研究,确定气流流速范围为2~8 m/s,用以指导风泵的选型。选定气流流速6 m/s作为参数,对不同喷气孔径、喷气孔间距的管路进行模拟仿真,以气相分布均匀程度作为评价指标,得出最优管路参数为喷气孔径8 mm、喷气孔间距50 mm。以整棵菠菜为清洗物料,选定清洗量、清洗时间、气浴强度作为因素,各选定三水平,同时设定空白列,进行四因素三水平正交试验。清洗试验以破损率和洗净率作为评价指标,按照破损率和洗净率各占0. 5的权重进行正交试验分析和方差分析。清洗试验结果表明,清洗量、清洗时间、气浴强度对菠菜洗净率、破损率影响显著,最佳菠菜清洗参数清洗量为4 kg、清洗时间为120 s、气浴强度为5 m/s。
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关键词
整叶蔬菜
清洗
机
低损伤
气
浴
清洗
水流
清洗
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职称材料
消音器残油引起的故障
3
作者
高瑞祥
《山东农机化》
1997年第1期20-20,共1页
一台修后的195型柴油机,起动非常困难,多次点火也未能起动。检查发现气缸压缩力不足,从消音器中可听到明显的漏气声。拧开点火螺栓,摇转曲轴,在停止供油的情况下,仍有柴油从点火螺栓孔中喷出。为什么刚研磨好的气门仍然漏气?气缸中的柴...
一台修后的195型柴油机,起动非常困难,多次点火也未能起动。检查发现气缸压缩力不足,从消音器中可听到明显的漏气声。拧开点火螺栓,摇转曲轴,在停止供油的情况下,仍有柴油从点火螺栓孔中喷出。为什么刚研磨好的气门仍然漏气?气缸中的柴油从哪里来?
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关键词
消音器
气
缸盖
废柴油
排
气
门
多次点火
清洗气
停止供油
研磨
气
门
开点
起动困难
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职称材料
题名
单片晶圆气液混合流清洗技术研究
1
作者
刘佰红
杨炜平
梁翔
杨丽丽
杜浩楠
保加兵
石春明
马跃霞
殷艳娥
段瑜
机构
云南北方奥雷德光电科技股份有限公司
昆明物理研究所
出处
《红外技术》
CSCD
北大核心
2022年第12期1332-1337,共6页
文摘
研究了气液混合流清洗方法对单片晶圆表面颗粒的去除效果,引入无量纲参数移径比(H/D)讨论其对单片晶圆表面颗粒去除效率的影响。此外,还讨论了冲洗时间、冲洗压力对颗粒去除效率的影响。结果表明:晶圆表面颗粒去除效率随着冲洗时间、冲洗压力的增大而提高。移径比为1时晶圆表面颗粒去除效率最高;当移径比小于1时,晶圆表面颗粒去除效率随移径比增大而提高;当移径比大于1时,晶圆表面开始出现未被冲洗的区域,颗粒去除效率随移径比增大而迅速降低。采用气液混合流清洗技术,可以实现颗粒直径为0.2~0.3μm范围的颗粒去除效率达99%以上,颗粒直径为0.1~0.5μm范围的颗粒去除效率达96%以上。
关键词
气
液混合流
清洗
冲洗时间
移径比
冲洗压力
颗粒去除效率
Keywords
dual-fluid spray cleaning
spray time
displacement-diameter ratio
injection pressure
particle removal efficiency
分类号
TN307.5 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
整叶类蔬菜清洗机设计与试验
被引量:
8
2
作者
马雪飞
杜志龙
马季威
李佳伟
赵丹
曹光矗
机构
中国农业机械化科学研究院
出处
《农业机械学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2018年第S1期419-425,共7页
基金
国家重点研发计划项目(2016YFD0400404)
文摘
针对整叶类蔬菜清洗过程中整叶、低损伤、有序的要求,设计了以气浴和水流为清洗动力的整叶类蔬菜清洗机。确定了清洗工艺流程,进行了清洗机整体结构设计,针对菜叶遇水粘附、上浮等清洗难点,模拟人工清洗过程,设计料筐周期性上下振动方式清洗。对清洗机清洗槽和过滤装置、气泡发生装置、水流喷射装置等关键部件进行设计,实现设备自动化运转。针对喷气管路进行流体动力学模拟仿真,对不同气流流速下的气相分布情况进行研究,确定气流流速范围为2~8 m/s,用以指导风泵的选型。选定气流流速6 m/s作为参数,对不同喷气孔径、喷气孔间距的管路进行模拟仿真,以气相分布均匀程度作为评价指标,得出最优管路参数为喷气孔径8 mm、喷气孔间距50 mm。以整棵菠菜为清洗物料,选定清洗量、清洗时间、气浴强度作为因素,各选定三水平,同时设定空白列,进行四因素三水平正交试验。清洗试验以破损率和洗净率作为评价指标,按照破损率和洗净率各占0. 5的权重进行正交试验分析和方差分析。清洗试验结果表明,清洗量、清洗时间、气浴强度对菠菜洗净率、破损率影响显著,最佳菠菜清洗参数清洗量为4 kg、清洗时间为120 s、气浴强度为5 m/s。
关键词
整叶蔬菜
清洗
机
低损伤
气
浴
清洗
水流
清洗
Keywords
whole-leaf vegetables
washer
low-damage
air-bubble cleaning
water-jets cleaning
分类号
TS255.35 [轻工技术与工程—农产品加工及贮藏工程]
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职称材料
题名
消音器残油引起的故障
3
作者
高瑞祥
出处
《山东农机化》
1997年第1期20-20,共1页
文摘
一台修后的195型柴油机,起动非常困难,多次点火也未能起动。检查发现气缸压缩力不足,从消音器中可听到明显的漏气声。拧开点火螺栓,摇转曲轴,在停止供油的情况下,仍有柴油从点火螺栓孔中喷出。为什么刚研磨好的气门仍然漏气?气缸中的柴油从哪里来?
关键词
消音器
气
缸盖
废柴油
排
气
门
多次点火
清洗气
停止供油
研磨
气
门
开点
起动困难
分类号
TK428 [动力工程及工程热物理—动力机械及工程]
在线阅读
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
单片晶圆气液混合流清洗技术研究
刘佰红
杨炜平
梁翔
杨丽丽
杜浩楠
保加兵
石春明
马跃霞
殷艳娥
段瑜
《红外技术》
CSCD
北大核心
2022
0
在线阅读
下载PDF
职称材料
2
整叶类蔬菜清洗机设计与试验
马雪飞
杜志龙
马季威
李佳伟
赵丹
曹光矗
《农业机械学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2018
8
在线阅读
下载PDF
职称材料
3
消音器残油引起的故障
高瑞祥
《山东农机化》
1997
0
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职称材料
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