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PVT法AlN晶体生长模式调控研究
被引量：
1
1
作者
覃佐燕
金雷
+3 位作者
李文良
谭俊
何广泽
武红磊
《人工晶体学报》
CAS
北大核心
2024年第9期1542-1549,共8页
物理气相传输(PVT)法制备AlN晶体时,亚晶的产生会降低晶体质量,甚至多晶化。本文通过调节热/动力学生长条件,研究AlN晶体中亚晶产生及变化规律,提出抑制方法调控生长模式。实验结果表明,大的温度波动导致晶体表面气相物质过饱和度波动变...
物理气相传输(PVT)法制备AlN晶体时,亚晶的产生会降低晶体质量,甚至多晶化。本文通过调节热/动力学生长条件,研究AlN晶体中亚晶产生及变化规律,提出抑制方法调控生长模式。实验结果表明,大的温度波动导致晶体表面气相物质过饱和度波动变大,增加高指数晶面的形成概率,这些晶面因非一致性难以实现完美聚并。本文还研究了稳定温场条件下,气相物质输运对生长模式的影响。实验及模拟结果显示,传统坩埚内气相物质由晶体边缘向中心迁移,与台阶方向相反,晶体表面易演变成混合生长模式。通过设计的新型坩埚,实现气相物质顺台阶流方向迁移,满足层状可控生长的基本条件。在2 200~2 300℃下,随温度降低,晶体呈c轴优势生长,侧向扩展能力降低;随温度升高,侧向扩展能力变强,但晶体表面高指数晶面形成概率增加;温度约2 250℃时,两者达到平衡,适合亚晶的抑制和消除。结合BCF理论分析,降低过饱和度可增强螺旋位错驱动生长的二维平铺能力,并增大台阶宽度,有利于将亚晶界分散融入台阶流中。优化后的实验,促进了生长模式向螺旋位错驱动生长模式的转变,亚晶逐渐被湮灭,获得高质量AlN晶体,其(0002)面的X射线单晶摇摆曲线半峰全宽为58″,拉曼谱的E_2(High)半峰全宽为3.3 cm^(-1),位错密度为2.87×10^(3) cm^(-2)。
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关键词
AlN晶体
PVT法
亚晶
混合生长模式
螺旋位错驱动
生长
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职称材料
生长褶皱发育模式
被引量：
7
2
作者
郭卫星
漆家福
+1 位作者
李明刚
李艳友
《中国石油大学学报（自然科学版）》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2010年第1期1-6,共6页
根据褶皱形成的运动学特征,对膝折带迁移、翼部旋转和混合生长3种模式的沉积与抬升关系进行探讨,并针对3种褶皱发育模式提出利用生长地层厚度推测褶皱抬升速率与褶皱过程的方法。研究表明:以膝折带迁移为变形机制的褶皱,发育过程中翼部...
根据褶皱形成的运动学特征,对膝折带迁移、翼部旋转和混合生长3种模式的沉积与抬升关系进行探讨,并针对3种褶皱发育模式提出利用生长地层厚度推测褶皱抬升速率与褶皱过程的方法。研究表明:以膝折带迁移为变形机制的褶皱,发育过程中翼部倾角不变,褶皱顶部与翼部的抬升速率相同,形成翼部平行状生长地层;以翼部旋转为变形机制的褶皱,发育过程中翼部长度不变,沿翼部各点的抬升速率呈线性变化,形成翼部楔状的生长地层;以混合生长为变形机制的褶皱,发育过程中翼长和翼部倾角都发生变化,部分生长地层呈平行状,反映了膝折带迁移的特征,部分生长地层呈楔状,各点的抬升速率仍呈线性变化,反映了翼部旋转的特征。
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关键词
构造抬升速率
沉积速率
膝折带迁移
模式
翼部旋转
模式
混合生长模式
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职称材料
题名
PVT法AlN晶体生长模式调控研究
被引量：
1
1
作者
覃佐燕
金雷
李文良
谭俊
何广泽
武红磊
机构
深圳大学电子与信息工程学院
中国电子科技集团有限公司第四十六研究所
深圳大学物理与光电工程学院
出处
《人工晶体学报》
CAS
北大核心
2024年第9期1542-1549,共8页
基金
国家重点研发计划(2022YFB3605303)
深圳市计划项目(JCYJ20210324093007020)
+1 种基金
国家自然科学基金(62474113)
广东省重点领域研发计划项目(2020B010169003)。
文摘
物理气相传输(PVT)法制备AlN晶体时,亚晶的产生会降低晶体质量,甚至多晶化。本文通过调节热/动力学生长条件,研究AlN晶体中亚晶产生及变化规律,提出抑制方法调控生长模式。实验结果表明,大的温度波动导致晶体表面气相物质过饱和度波动变大,增加高指数晶面的形成概率,这些晶面因非一致性难以实现完美聚并。本文还研究了稳定温场条件下,气相物质输运对生长模式的影响。实验及模拟结果显示,传统坩埚内气相物质由晶体边缘向中心迁移,与台阶方向相反,晶体表面易演变成混合生长模式。通过设计的新型坩埚,实现气相物质顺台阶流方向迁移,满足层状可控生长的基本条件。在2 200~2 300℃下,随温度降低,晶体呈c轴优势生长,侧向扩展能力降低;随温度升高,侧向扩展能力变强,但晶体表面高指数晶面形成概率增加;温度约2 250℃时,两者达到平衡,适合亚晶的抑制和消除。结合BCF理论分析,降低过饱和度可增强螺旋位错驱动生长的二维平铺能力,并增大台阶宽度,有利于将亚晶界分散融入台阶流中。优化后的实验,促进了生长模式向螺旋位错驱动生长模式的转变,亚晶逐渐被湮灭,获得高质量AlN晶体,其(0002)面的X射线单晶摇摆曲线半峰全宽为58″,拉曼谱的E_2(High)半峰全宽为3.3 cm^(-1),位错密度为2.87×10^(3) cm^(-2)。
关键词
AlN晶体
PVT法
亚晶
混合生长模式
螺旋位错驱动
生长
Keywords
AlN crystal
PVT method
sub-grain
Stranski-Krastanov growth mode
screw dislocation-driven growth
分类号
O782 [理学—晶体学]
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职称材料
题名
生长褶皱发育模式
被引量：
7
2
作者
郭卫星
漆家福
李明刚
李艳友
机构
中国石油大学资源与信息学院
中国石油大学油气资源与探测国家重点实验室
出处
《中国石油大学学报（自然科学版）》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2010年第1期1-6,共6页
基金
国家'973'项目(2006CB202301)
文摘
根据褶皱形成的运动学特征,对膝折带迁移、翼部旋转和混合生长3种模式的沉积与抬升关系进行探讨,并针对3种褶皱发育模式提出利用生长地层厚度推测褶皱抬升速率与褶皱过程的方法。研究表明:以膝折带迁移为变形机制的褶皱,发育过程中翼部倾角不变,褶皱顶部与翼部的抬升速率相同,形成翼部平行状生长地层;以翼部旋转为变形机制的褶皱,发育过程中翼部长度不变,沿翼部各点的抬升速率呈线性变化,形成翼部楔状的生长地层;以混合生长为变形机制的褶皱,发育过程中翼长和翼部倾角都发生变化,部分生长地层呈平行状,反映了膝折带迁移的特征,部分生长地层呈楔状,各点的抬升速率仍呈线性变化,反映了翼部旋转的特征。
关键词
构造抬升速率
沉积速率
膝折带迁移
模式
翼部旋转
模式
混合生长模式
Keywords
tectonic uplift rate
sedimentation rate
hinge migration model
limb rotation model
hinge migration with limb rotation model
分类号
P542.2 [天文地球—构造地质学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
PVT法AlN晶体生长模式调控研究
覃佐燕
金雷
李文良
谭俊
何广泽
武红磊
《人工晶体学报》
CAS
北大核心
2024
1
在线阅读
下载PDF
职称材料
2
生长褶皱发育模式
郭卫星
漆家福
李明刚
李艳友
《中国石油大学学报（自然科学版）》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2010
7
在线阅读
下载PDF
职称材料
已选择
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