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氘钛等离子体高压查尔特鞘层特性理论研究
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作者 沈伯昊 董烨 +2 位作者 周前红 杨温渊 董志伟 《强激光与粒子束》 CAS CSCD 北大核心 2022年第7期90-98,共9页
建立了混合多组分等离子体高压查尔特鞘层动力学模型,数值研究了氘钛等离子体高压查尔特鞘层特性。理论与数值研究结果表明,提升D^(+)离子比例、降低D^(+)离子及Ti^(2+)离子入鞘速度、降低等离子体密度等方式,均会有效增加鞘层厚度,并... 建立了混合多组分等离子体高压查尔特鞘层动力学模型,数值研究了氘钛等离子体高压查尔特鞘层特性。理论与数值研究结果表明,提升D^(+)离子比例、降低D^(+)离子及Ti^(2+)离子入鞘速度、降低等离子体密度等方式,均会有效增加鞘层厚度,并降低靶面场强幅值,这些方式有利于离子汇聚传输和降低靶面击穿风险。随加速电压的增加,离子引出稳定工作区域范围呈现先增加后减小的趋势。增加D^(+)离子比例、减小D^(+)离子及Ti^(2+)离子入鞘速度,均会显著增加离子引出稳定工作区域范围。 展开更多
关键词 混合多组分等离子体 高压查尔特鞘层 动力学模型
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