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全局与局部多尺度特征融合晶圆缺陷分类网络 被引量:1
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作者 陈晓雷 李正成 +2 位作者 杨富龙 温润玉 沈星阳 《电子测量与仪器学报》 CSCD 北大核心 2024年第10期159-169,共11页
在半导体制造领域,晶圆缺陷分类是确保产品质量的重要步骤。然而,由于晶圆缺陷的多样性和复杂性,现有的混合型晶圆缺陷分类网络在准确性上仍然存在不足。针对这一问题,提出了一种基于全局和局部多尺度特征融合的混合型晶圆缺陷分类网络... 在半导体制造领域,晶圆缺陷分类是确保产品质量的重要步骤。然而,由于晶圆缺陷的多样性和复杂性,现有的混合型晶圆缺陷分类网络在准确性上仍然存在不足。针对这一问题,提出了一种基于全局和局部多尺度特征融合的混合型晶圆缺陷分类网络—MLG-Net。MLG-Net由3个主要模块组成:特征提取模块、全局分支和局部分支。该网络旨在更好地提取和利用晶圆缺陷图像的全局语义信息与局部细节特征,这两种特征通过多尺度特征融合技术相结合,最终形成一个更加全面的特征表示,有助于分类器在面对复杂混合缺陷时,做出更为准确的判断,从而提升分类精度。为了验证MLG-Net的有效性,在包含38种混合类型缺陷的数据集—MixedWM38上进行了大量实验,其分类准确度达到98.84%。结果表明,MLG-Net在综合性能上优于当前主流的六种晶圆缺陷分类方法。这一结果证明了全局与局部特征融合在处理混合型晶圆缺陷分类任务中的重要性和有效性。 展开更多
关键词 半导体制造 晶圆缺陷分类 混合型缺陷 全局与局部特征 特征融合
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Crystalline and amorphous metal sulfide composite electrode materials with long cycle life:Preparation and performance of hybrid capacitors
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作者 DING Ning WANG Siyu +4 位作者 YU Shihua XU Pengcheng HAN Dandan SHI Dexin ZHANG Chao 《无机化学学报》 SCIE CAS CSCD 北大核心 2024年第9期1784-1794,共11页
Crystalline@amorphous NiCo_(2)S_(4)@MoS_(2)(v-NCS@MS)nanostructures were designed and constructed via an ethylene glycol-induced strategy with hydrothermal synthesis and solvothermal method,which simultaneously realiz... Crystalline@amorphous NiCo_(2)S_(4)@MoS_(2)(v-NCS@MS)nanostructures were designed and constructed via an ethylene glycol-induced strategy with hydrothermal synthesis and solvothermal method,which simultaneously realized the defect regulation of crystal NiCo_(2)S_(4) in the core.Taking advantage of the flexible protection of an amor-phous shell and the high capacity of a conductive core with defects,the v-NCS@MS electrode exhibited high specif-ic capacity(1034 mAh·g^(-1) at 1 A·g^(-1))and outstanding rate capability.Moreover,a hybrid supercapacitor was assembled with v-NCS@MS as cathode and activated carbon(AC)as anode,which can achieve remarkably high specific energy of 111 Wh·kg^(-1) at a specific power of 219 W·kg^(-1) and outstanding capacity retention of 80.5%after 15000 cycling at different current densities. 展开更多
关键词 crystalline@amorphous heterostructure NiCo2S4@MoS2 hybrid supercapacitor defect design long cycle life
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