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基于傅里叶变换红外反射谱的DRAM深沟槽结构测量系统研究
被引量：
2
1
作者
刘世元
张传维
+1 位作者
沈宏伟
顾华勇
《光谱学与光谱分析》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2009年第4期935-939,共5页
提出了一种基于傅里叶变换红外(FTIR)反射谱的动态随机存储器(DRAM)深沟槽结构测量方法与系统。给出了测量原理与方法,设计了测量系统光路。通过可变光阑调节探测光斑大小并选择合适的入射角,消除了背面杂散光反射干扰的影响,大大提高...
提出了一种基于傅里叶变换红外(FTIR)反射谱的动态随机存储器(DRAM)深沟槽结构测量方法与系统。给出了测量原理与方法,设计了测量系统光路。通过可变光阑调节探测光斑大小并选择合适的入射角,消除了背面杂散光反射干扰的影响,大大提高了信噪比。对DRAM深沟槽样品进行反射光谱图测试与实验研究,表明所述方法与系统能够提取出纳米级精度的深沟槽参数。该技术提供了一种无接触、非破坏、快速、低成本和高精度的深沟槽结构测量新途径,在集成电路制造过程中的在线监测与工艺控制方面具有广阔的应用前景。
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关键词
傅里叶变换红外光谱仪
红外反射谱
动态随机存储器
深沟槽结构
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职称材料
题名
基于傅里叶变换红外反射谱的DRAM深沟槽结构测量系统研究
被引量：
2
1
作者
刘世元
张传维
沈宏伟
顾华勇
机构
华中科技大学数字制造装备与技术国家重点实验室
武汉光电国家实验室光电材料与微纳制造研究部
出处
《光谱学与光谱分析》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2009年第4期935-939,共5页
基金
国家"863"计划项目(2006AA04Z325)
国家自然科学基金项目(50775090)
新世纪优秀人才支持计划项目(NCET-06-0639)资助
文摘
提出了一种基于傅里叶变换红外(FTIR)反射谱的动态随机存储器(DRAM)深沟槽结构测量方法与系统。给出了测量原理与方法,设计了测量系统光路。通过可变光阑调节探测光斑大小并选择合适的入射角,消除了背面杂散光反射干扰的影响,大大提高了信噪比。对DRAM深沟槽样品进行反射光谱图测试与实验研究,表明所述方法与系统能够提取出纳米级精度的深沟槽参数。该技术提供了一种无接触、非破坏、快速、低成本和高精度的深沟槽结构测量新途径,在集成电路制造过程中的在线监测与工艺控制方面具有广阔的应用前景。
关键词
傅里叶变换红外光谱仪
红外反射谱
动态随机存储器
深沟槽结构
Keywords
FTIR spectrometer
Infrared reflectance spectrum
DRAM
Deep trench structure
分类号
O657.3 [理学—分析化学]
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作者
出处
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被引量
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1
基于傅里叶变换红外反射谱的DRAM深沟槽结构测量系统研究
刘世元
张传维
沈宏伟
顾华勇
《光谱学与光谱分析》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2009
2
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