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一种用于辉光放电光谱深度分析的激光实时测量新方法
被引量：
4
1
作者
万真真
李小佳
+2 位作者
王永清
施宁
孙荣霞
《光谱学与光谱分析》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2011年第9期2536-2541,共6页
辉光放电原子发射光谱仪可用于物质表面化学成分随深度分布的分析,在镀层分析、金属材料检验等领域有着广泛的应用。文章介绍了辉光深度分析的传统方法和局限性以及实时深度测量技术的近期研究,提出了一种用于辉光放电光谱深度分析的激...
辉光放电原子发射光谱仪可用于物质表面化学成分随深度分布的分析,在镀层分析、金属材料检验等领域有着广泛的应用。文章介绍了辉光深度分析的传统方法和局限性以及实时深度测量技术的近期研究,提出了一种用于辉光放电光谱深度分析的激光实时测量新方法。文章采用激光位移传感器和根据激光测量方法设计的辉光放电光源构成实时深度测量系统,详细阐述了系统的设计方案和技术原理。系统的设计结构能够实现在辉光光谱分析的同时进行激光实时溅射深度的测量。通过实验验证和分析了激光实时测量样品溅射深度过程中产生的光源位移现象。采用双激光器实时深度测量系统对锌合金标准样品进行了溅射深度的实时测量,给出了实时深度测量曲线。通过将溅射面测量曲线与参考面曲线进行叠加,得到了样品溅射坑深度的实际值,与Dektak8型表面形貌仪测量结果一致。
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关键词
辉光放电原子发射光谱仪
深度轮廓分析
激光测量
实时
深度
测量
辉光放电
镀层
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职称材料
题名
一种用于辉光放电光谱深度分析的激光实时测量新方法
被引量：
4
1
作者
万真真
李小佳
王永清
施宁
孙荣霞
机构
钢铁研究总院
河北大学电子信息工程学院
北京航空航天大学软件学院
出处
《光谱学与光谱分析》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2011年第9期2536-2541,共6页
基金
国家科技部科学仪器设备升级改造专项课题(JG-2002-9)资助
文摘
辉光放电原子发射光谱仪可用于物质表面化学成分随深度分布的分析,在镀层分析、金属材料检验等领域有着广泛的应用。文章介绍了辉光深度分析的传统方法和局限性以及实时深度测量技术的近期研究,提出了一种用于辉光放电光谱深度分析的激光实时测量新方法。文章采用激光位移传感器和根据激光测量方法设计的辉光放电光源构成实时深度测量系统,详细阐述了系统的设计方案和技术原理。系统的设计结构能够实现在辉光光谱分析的同时进行激光实时溅射深度的测量。通过实验验证和分析了激光实时测量样品溅射深度过程中产生的光源位移现象。采用双激光器实时深度测量系统对锌合金标准样品进行了溅射深度的实时测量,给出了实时深度测量曲线。通过将溅射面测量曲线与参考面曲线进行叠加,得到了样品溅射坑深度的实际值,与Dektak8型表面形貌仪测量结果一致。
关键词
辉光放电原子发射光谱仪
深度轮廓分析
激光测量
实时
深度
测量
辉光放电
镀层
Keywords
GD-OES
Depth profile analysis
Laser measurement
Real-time depth determination
Glow discharge
Coating
分类号
O657.3 [理学—分析化学]
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题名
作者
出处
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被引量
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1
一种用于辉光放电光谱深度分析的激光实时测量新方法
万真真
李小佳
王永清
施宁
孙荣霞
《光谱学与光谱分析》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2011
4
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