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优化清除等离子淀积设备电极上淀积物的方法
1
作者
顾致民
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
1992年第1期46-49,共4页
在等离子淀积设备上常采用等离子腐蚀的方法来清除淀积在电极平板上的反应生成物。本文主要介绍如何优化这一等离子腐蚀过程。
关键词
等离子
刻蚀
设备
电极平板
淀积物
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职称材料
塔里木盆地轮南地区奥陶系岩溶缝洞充填物地球化学特征及环境意义
被引量：
13
2
作者
淡永
梁彬
+1 位作者
曹建文
张庆玉
《石油实验地质》
CAS
CSCD
北大核心
2012年第6期623-628,共6页
通过对塔里木盆地轮南地区奥陶系风化壳缝洞充填物的观察与分析,识别出3类不同的充填物:流水机械充填物、化学淀积物及重力垮塌堆积物。对其与基岩化学组分、微量元素对比研究,表明不同充填物形成时流体性质和古水文环境不同,其元素的...
通过对塔里木盆地轮南地区奥陶系风化壳缝洞充填物的观察与分析,识别出3类不同的充填物:流水机械充填物、化学淀积物及重力垮塌堆积物。对其与基岩化学组分、微量元素对比研究,表明不同充填物形成时流体性质和古水文环境不同,其元素的迁移、富集和分馏效应也不同。因此可以利用充填物化学组分和微量元素的迁移、富集特征,来判别轮南地区古风化壳缝洞充填过程中流体性质和古水文环境。经分析,发现3类充填环境:渗流—活跃潜流带的氧化性活跃淡水环境、静滞潜流淡水环境及浅埋藏压释水热水环境,为古岩溶储层预测和评价提供依据。
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关键词
古岩溶
化学
淀积物
微量元素
聚类分析
潜流带
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职称材料
题名
优化清除等离子淀积设备电极上淀积物的方法
1
作者
顾致民
机构
上海飞利浦半导体公司技术质量部
出处
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
1992年第1期46-49,共4页
文摘
在等离子淀积设备上常采用等离子腐蚀的方法来清除淀积在电极平板上的反应生成物。本文主要介绍如何优化这一等离子腐蚀过程。
关键词
等离子
刻蚀
设备
电极平板
淀积物
分类号
TN305 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
塔里木盆地轮南地区奥陶系岩溶缝洞充填物地球化学特征及环境意义
被引量：
13
2
作者
淡永
梁彬
曹建文
张庆玉
机构
中国地质科学院岩溶地质研究所
国土资源部广西岩溶动力学重点实验室
出处
《石油实验地质》
CAS
CSCD
北大核心
2012年第6期623-628,共6页
基金
国土资源部重大专项(201211082)资助
文摘
通过对塔里木盆地轮南地区奥陶系风化壳缝洞充填物的观察与分析,识别出3类不同的充填物:流水机械充填物、化学淀积物及重力垮塌堆积物。对其与基岩化学组分、微量元素对比研究,表明不同充填物形成时流体性质和古水文环境不同,其元素的迁移、富集和分馏效应也不同。因此可以利用充填物化学组分和微量元素的迁移、富集特征,来判别轮南地区古风化壳缝洞充填过程中流体性质和古水文环境。经分析,发现3类充填环境:渗流—活跃潜流带的氧化性活跃淡水环境、静滞潜流淡水环境及浅埋藏压释水热水环境,为古岩溶储层预测和评价提供依据。
关键词
古岩溶
化学
淀积物
微量元素
聚类分析
潜流带
Keywords
paleokarst
chemical deposit
trace element
cluster analysis
undercurrent zone
分类号
TE121.3 [石油与天然气工程—油气勘探]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
优化清除等离子淀积设备电极上淀积物的方法
顾致民
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
1992
0
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职称材料
2
塔里木盆地轮南地区奥陶系岩溶缝洞充填物地球化学特征及环境意义
淡永
梁彬
曹建文
张庆玉
《石油实验地质》
CAS
CSCD
北大核心
2012
13
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职称材料
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