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专利名称:使用连续淀积技术淀积难熔金属层的方法与装置
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《表面技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第4期71-71,共1页
关键词 连续淀积技术 难熔金属层 气相 成核
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光学薄膜镀制技术的对比研究
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作者 F.弗洛里 C.昂拉 +4 位作者 M.科芒德烈 E.佩尔蒂埃 G.阿尔布朗 李东光 周鹏飞 《上海机械学院学报》 1990年第1期35-38,64,共5页
本文介绍了两种光学镀膜真空淀积技术——离子辅助淀积和反应离子镀,并详述了近年来的应用及进一步的发展。
关键词 光学薄膜 镀制 离子镀 淀积技术
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金属与陶瓷喷镀金属层的技术
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《现代化工》 CAS CSCD 北大核心 2003年第3期64-64,共1页
关键词 金属 陶瓷 喷镀金属层 美国 Inovati公司 低压金属淀积技术 动力金属化法
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镀膜技术及设备
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《中国光学》 EI CAS 1998年第1期69-69,共1页
TB43 98010469XeCl(308 nm)脉中分子激光淀积类金刚石薄膜=Pulsed laser deposition of diamond-like carbonfilm with XeCl(308 nm)laser[刊,中]/李铁军,刘晶儒,王丽戈(西北核技术研究所高功率分子激光实验室.陕西,西安(710024)... TB43 98010469XeCl(308 nm)脉中分子激光淀积类金刚石薄膜=Pulsed laser deposition of diamond-like carbonfilm with XeCl(308 nm)laser[刊,中]/李铁军,刘晶儒,王丽戈(西北核技术研究所高功率分子激光实验室.陕西,西安(710024))//光学学报.-1997,17(3).-331-337利用XeCl(308 nm)脉冲准分子激光淀积技术在功率密度5×10<sup>8</sup>W/cm<sup>2</sup>、室温、真空度10<sup>-3</sup>Pa的条件下,制备出不含氢成分的类金刚石薄膜,研究了类金刚石薄膜的特性及其随制备工艺条件的变化规律。研究了激光诱导的碳等离子体发射光谱,探讨了类金刚石薄膜的形成机理。图13表1参10(严寒) 展开更多
关键词 类金刚石薄膜 准分子激光 形成机理 发射光谱 激光诱导 工艺条件 功率密度 淀积技术 激光实验 高功率
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镀膜技术及设备
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《中国光学》 EI CAS 1997年第5期73-75,共3页
TB43 97053309电致变色氧化镍薄膜的制备与性能=Preparationand properties of electrochromic nickel oxidefilms[刊,中]/张旭苹,陈国平(东南大学薄膜研究所.江苏,南京(210018))∥东南大学学报.—1996,26(3).—110—114用直流磁控反应... TB43 97053309电致变色氧化镍薄膜的制备与性能=Preparationand properties of electrochromic nickel oxidefilms[刊,中]/张旭苹,陈国平(东南大学薄膜研究所.江苏,南京(210018))∥东南大学学报.—1996,26(3).—110—114用直流磁控反应溅射法淀积了氧化镍薄膜,研究了这种膜的淀积技术和电致变色特性,结果指出,该方法淀积的薄膜具有工艺参数易于控制,重复性好、所制薄膜致密及性能稳定优点。图6参3(严寒)TB43 展开更多
关键词 氧化镍薄膜 超导薄膜 电致变色特性 工艺参数 直流磁控反应溅射法 制备与性能 性能稳定 设备 淀积技术 激光
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红外线治疗仪中宽波段带通滤光片的研究 被引量:12
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作者 刘冬梅 刘爽 +2 位作者 付秀华 张静 何松霖 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第3期1-6,共6页
研究了一种用于红外线治疗仪的新型滤光片.该滤光片通过对红外线治疗仪光源所发出的光进行选择性滤波,能够降低部分波段光的承载能量,提高治疗仪的安全使用性能.针对红外线治疗仪对滤光片的使用要求,选择Ti3O5和SiO2作为高低折射率材料... 研究了一种用于红外线治疗仪的新型滤光片.该滤光片通过对红外线治疗仪光源所发出的光进行选择性滤波,能够降低部分波段光的承载能量,提高治疗仪的安全使用性能.针对红外线治疗仪对滤光片的使用要求,选择Ti3O5和SiO2作为高低折射率材料,采用电子束加热蒸发方式,配合离子辅助淀积技术,利用石英晶控控制法对膜层厚度进行监控,通过反复优化各项工艺参量,制备出在600~1 200nm波段平均透过率高于92%,300~550nm、1 270~2 000nm波段平均透过率低于2%的宽波段带通滤光片.研究中运用“拆分技术要求”的设计思想,对颜色片进行双面镀制,解决了单面膜层过厚难以制备的问题,降低了制备难度,易于批量生产.测试结果表明,该滤光片满足使用要求. 展开更多
关键词 带通滤光片 膜系设计 拆分技术要求 红外线治疗仪 电子束蒸发 离子辅助淀积技术 石英晶控控制法
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薄膜光学理论
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《中国光学》 EI CAS 1998年第3期66-68,共3页
O484.1 98031862嵌埋在SiO<sub>2</sub>基质中的nc—Ge的制备及其发光现象=Preparation of nc—Ge embedded in SiO<sub>2</sub> ma-trix and observation of visible photolumi-neseence[刊,中]/贺振宏,陈坤基... O484.1 98031862嵌埋在SiO<sub>2</sub>基质中的nc—Ge的制备及其发光现象=Preparation of nc—Ge embedded in SiO<sub>2</sub> ma-trix and observation of visible photolumi-neseence[刊,中]/贺振宏,陈坤基,冯端(南京大学物理系固体微结构物理国家重点实验室.江苏,南京(210093))∥物理学报,—1997,46(6).—1153—1160采用等离子体化学汽相淀积技术生长a—Ge<sub>x</sub>Si<sub>l—x</sub>:H薄膜,利用傅里叶变换红外光谱、喇曼光谱和x射线衍射谱分析样品的微结构,研究a—Ge<sub>x</sub>Si<sub>1—x</sub>:H薄膜的氧化过程中发生的化学和物理变化。 展开更多
关键词 薄膜 微结构 国家重点实验室 物理学报 傅里叶变换红外光谱 喇曼光谱 等离子体化学 南京大学 谱分析 淀积技术
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