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LSMCD法制备梯度BST铁电薄膜的工艺研究被引量：1: 1; 作者白天张之圣 +1 位作者王秀宇毕振兴《压电与声光》 CSCD 北大核心 2007年第6期743-745,共3页; 研究了利用液态源雾化化学沉积(LSMCD)法制备梯度钛酸锶钡(BST)薄膜的工艺。该方法既可以较精确的控制薄膜的化学计量比及掺杂浓度,又可采用控制超声雾化沉积的时间和次数来有效的控制膜厚及晶粒的大小。X-射线衍射(XRD)和扫描电镜(SEM... 展开更多; 关键词液态源雾化沉积钛酸锶钡梯度薄膜钙钛矿相; 在线阅读下载PDF 职称材料

LSMCD法制备纳米(Pb,La)TiO_3薄膜被引量：3: 2; 作者李海燕张之圣胡明《硅酸盐通报》 CAS CSCD 2003年第6期88-91,共4页; 研究了利用液态源雾化化学沉积 (LSMCD)法制备纳米 (Pb ,La)TiO3 薄膜的工艺。XRD和SEM分析表明 :沉积 4次 ,采用RCA热处理 ,在Pt/Ti/SiO2 /Si基板上成功制备出具有钙钛矿结构的、晶粒粒径约 6 0nm、厚度约 180nm的纳米颗粒PLT薄膜。该... 展开更多; 关键词液态源雾化化学沉积纳米镧钛酸铅薄膜 X射线衍射扫描电镜化学计量比掺杂浓度; 在线阅读下载PDF 职称材料

铁电薄膜的制备方法被引量：1: 3; 作者张之圣李海燕胡明《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第z1期315-317,共3页; 介绍了制备铁电薄膜的几种不同种类的方法。 L SMCD技术是一种新型的制备铁电薄膜的技术。采用超声雾化产生微米级或亚微米级尺寸的气雾 ,再用载气将气雾引入沉积室内 ,沉积在基片上。重复此过程直至膜厚达到所需厚度。; 关键词铁电薄膜金属有机化合物液态源雾化化学沉积; 在线阅读下载PDF 职称材料