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飞秒激光微加工Au膜
被引量：
6
1
作者
袁冬青
周明
+1 位作者
蔡兰
沈坚
《光谱学与光谱分析》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2009年第5期1209-1212,共4页
飞秒激光微加工薄膜对于MEMS设备的制造是一个急需的技术。文章使用波长为775nm的Ti:sapphire飞秒激光器(脉宽约为130fs,频率为1000Hz)研究厚度为4μm的Au薄膜,在不同加工参数下的结构特性,发现单脉冲消融时消融直径随着脉冲能量的增大...
飞秒激光微加工薄膜对于MEMS设备的制造是一个急需的技术。文章使用波长为775nm的Ti:sapphire飞秒激光器(脉宽约为130fs,频率为1000Hz)研究厚度为4μm的Au薄膜,在不同加工参数下的结构特性,发现单脉冲消融时消融直径随着脉冲能量的增大而增大。当单脉冲能量一定时,消融直径随着脉冲的个数变化不大。计算得到Au膜的单脉冲消融阈值为Fth=0.7J.cm-2,使用脉冲能量略大于阈值时,在薄膜上所划出的线为凸起状;当超过阈值时所得直线为凹起状。同时发现在脉冲能量一定时所得线宽随着加工速度的增加而减小;当加工速度一定时线宽随着能量的增加而增大。
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关键词
飞秒
微加工
消融阈值
薄膜
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职称材料
调Q纳秒脉冲Cr,Er:YSGG激光作用于牙釉质能量密度的研究
被引量：
3
2
作者
屠姗姗
王礼
《安徽医科大学学报》
CAS
北大核心
2020年第3期401-405,共5页
目的通过摸索激光消融牙釉质的阈值和处理牙釉质最佳的能量密度,以及记录分析纳秒脉冲激光作用过程中牙釉质温度变化,研究波长2.79μm的调Q纳秒脉冲Cr,Er:YSGG激光在纳秒时间尺度上对牙釉质辐照的最佳能量密度。方法采用调Q纳秒脉冲Cr,E...
目的通过摸索激光消融牙釉质的阈值和处理牙釉质最佳的能量密度,以及记录分析纳秒脉冲激光作用过程中牙釉质温度变化,研究波长2.79μm的调Q纳秒脉冲Cr,Er:YSGG激光在纳秒时间尺度上对牙釉质辐照的最佳能量密度。方法采用调Q纳秒脉冲Cr,Er:YSGG激光,使用5组不同激光能量密度分别处理牙釉质样本,利用场发射扫描电镜观察表面形貌,找到消融阈值和最佳能量密度;能量弥散X射线谱检测化学成分;利用高性能红外热像仪对Cr,Er:YSGG激光作用过程中的温度变化进行实时监测并记录。结果分析出牙釉质激光消融阈值以及激光处理牙釉质最佳的能量密度区间,同时观察到低能量下不同能量密度对应的牙釉质表面温度变化。结论采用调Q纳秒脉冲Cr,Er:YSGG激光处理牙釉质,快速有效,干净无污染,且避免了对牙釉质及周围组织包括牙髓产生热损伤,提高了治疗安全性,为纳秒激光在口腔领域的临床应用提供研究基础。
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关键词
Cr
Er:YSGG激光
纳秒脉冲
牙釉质
消融阈值
能量密度
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职称材料
题名
飞秒激光微加工Au膜
被引量：
6
1
作者
袁冬青
周明
蔡兰
沈坚
机构
江苏大学光子制造科学技术中心
出处
《光谱学与光谱分析》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2009年第5期1209-1212,共4页
基金
国家高技术研究发展计划("863"计划)项目(2006AA04Z307)
全国百篇优秀博士论文基金项目(2006039)
+1 种基金
国家自然科学基金项目(50775104)
江苏省高校自然科学基础研究重大项目(07KJA46003)资助
文摘
飞秒激光微加工薄膜对于MEMS设备的制造是一个急需的技术。文章使用波长为775nm的Ti:sapphire飞秒激光器(脉宽约为130fs,频率为1000Hz)研究厚度为4μm的Au薄膜,在不同加工参数下的结构特性,发现单脉冲消融时消融直径随着脉冲能量的增大而增大。当单脉冲能量一定时,消融直径随着脉冲的个数变化不大。计算得到Au膜的单脉冲消融阈值为Fth=0.7J.cm-2,使用脉冲能量略大于阈值时,在薄膜上所划出的线为凸起状;当超过阈值时所得直线为凹起状。同时发现在脉冲能量一定时所得线宽随着加工速度的增加而减小;当加工速度一定时线宽随着能量的增加而增大。
关键词
飞秒
微加工
消融阈值
薄膜
Keywords
Femtosecond
Mic-maching
Ablation threshold
Film
分类号
O433.5 [机械工程—光学工程]
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职称材料
题名
调Q纳秒脉冲Cr,Er:YSGG激光作用于牙釉质能量密度的研究
被引量：
3
2
作者
屠姗姗
王礼
机构
安徽医科大学第二附属医院口腔科
中科院合肥物质科学研究院医学物理与技术中心
出处
《安徽医科大学学报》
CAS
北大核心
2020年第3期401-405,共5页
基金
国家自然科学基金(编号:61505224)
安徽医科大学校科学研究基金资助项目(编号:2017xkj045)。
文摘
目的通过摸索激光消融牙釉质的阈值和处理牙釉质最佳的能量密度,以及记录分析纳秒脉冲激光作用过程中牙釉质温度变化,研究波长2.79μm的调Q纳秒脉冲Cr,Er:YSGG激光在纳秒时间尺度上对牙釉质辐照的最佳能量密度。方法采用调Q纳秒脉冲Cr,Er:YSGG激光,使用5组不同激光能量密度分别处理牙釉质样本,利用场发射扫描电镜观察表面形貌,找到消融阈值和最佳能量密度;能量弥散X射线谱检测化学成分;利用高性能红外热像仪对Cr,Er:YSGG激光作用过程中的温度变化进行实时监测并记录。结果分析出牙釉质激光消融阈值以及激光处理牙釉质最佳的能量密度区间,同时观察到低能量下不同能量密度对应的牙釉质表面温度变化。结论采用调Q纳秒脉冲Cr,Er:YSGG激光处理牙釉质,快速有效,干净无污染,且避免了对牙釉质及周围组织包括牙髓产生热损伤,提高了治疗安全性,为纳秒激光在口腔领域的临床应用提供研究基础。
关键词
Cr
Er:YSGG激光
纳秒脉冲
牙釉质
消融阈值
能量密度
Keywords
Cr,Er:YSGG laser
nanosecond pulse
enamel
ablation threshold
energy density
分类号
R318.51 [医药卫生—生物医学工程]
R78 [医药卫生—口腔医学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
飞秒激光微加工Au膜
袁冬青
周明
蔡兰
沈坚
《光谱学与光谱分析》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2009
6
在线阅读
下载PDF
职称材料
2
调Q纳秒脉冲Cr,Er:YSGG激光作用于牙釉质能量密度的研究
屠姗姗
王礼
《安徽医科大学学报》
CAS
北大核心
2020
3
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职称材料
已选择
0
条
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参考文献
引证文献
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