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利用消光式椭偏仪精确测量波片相位延迟量
被引量：
4
1
作者
赵振堂
林天夏
+1 位作者
黄佐华
何振江
《激光杂志》
CAS
CSCD
北大核心
2012年第3期8-9,共2页
采用消光式椭偏仪精确测量波片的相位延迟量。从理论上分析了椭偏仪测量波片相位延迟量的可行性,重点讨论了标准1/4波片及待测波片的相位延迟量误差对测量精度的影响,并给出相应的实验验证。实验表明:该方法测量过程简单,方便,易受光强...
采用消光式椭偏仪精确测量波片的相位延迟量。从理论上分析了椭偏仪测量波片相位延迟量的可行性,重点讨论了标准1/4波片及待测波片的相位延迟量误差对测量精度的影响,并给出相应的实验验证。实验表明:该方法测量过程简单,方便,易受光强波动的影响,测量相位延迟量重复性精度达0.02°,相对误差为0.02%,是一种实用及有效的波片相位延迟量测量的方法。
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关键词
波片
相位延迟量
消光式椭偏仪
测量精度
影响
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职称材料
题名
利用消光式椭偏仪精确测量波片相位延迟量
被引量：
4
1
作者
赵振堂
林天夏
黄佐华
何振江
机构
华南师范大学物理与电信工程学院
出处
《激光杂志》
CAS
CSCD
北大核心
2012年第3期8-9,共2页
文摘
采用消光式椭偏仪精确测量波片的相位延迟量。从理论上分析了椭偏仪测量波片相位延迟量的可行性,重点讨论了标准1/4波片及待测波片的相位延迟量误差对测量精度的影响,并给出相应的实验验证。实验表明:该方法测量过程简单,方便,易受光强波动的影响,测量相位延迟量重复性精度达0.02°,相对误差为0.02%,是一种实用及有效的波片相位延迟量测量的方法。
关键词
波片
相位延迟量
消光式椭偏仪
测量精度
影响
Keywords
wave plate
phase retardation
null enipsometer
measurement precision
influence
分类号
TN248.1 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
利用消光式椭偏仪精确测量波片相位延迟量
赵振堂
林天夏
黄佐华
何振江
《激光杂志》
CAS
CSCD
北大核心
2012
4
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