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化学法制备光学薄膜及其应用
被引量：
22
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作者
沈军
王珏
+3 位作者
吴广明
倪星元
周斌
陈玲燕
《原子能科学技术》
EI
CAS
CSCD
2002年第4期305-308,共4页
概要综述了用化学法制备光学薄膜的浸渍镀膜法、旋转镀膜法、喷溅镀膜法、流延法、弯月面镀膜法和涂布镀膜法等方法 ,及其薄膜特性 ,诸如折射率、激光损伤阈值、机械强度等的控制技术 。
关键词
制备
光学薄膜
应用
化学
法
性能
浸渍镀膜法
旋转
镀膜
法
喷溅
镀膜
法
流延
法
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职称材料
题名
化学法制备光学薄膜及其应用
被引量：
22
1
作者
沈军
王珏
吴广明
倪星元
周斌
陈玲燕
机构
同济大学波耳固体物理研究所
出处
《原子能科学技术》
EI
CAS
CSCD
2002年第4期305-308,共4页
基金
国家自然科学基金重点项目 (2 0 1 330 4 0 )
国家自然科学基金面上项目 (5980 2 0 0 7
+4 种基金
699780 1 7)
上海市科技启明星计划资助项目(99QE1 4 0 4 1 )
教育部高等学校骨干教师基金资助项目
国家"863"激光技术青年科学基金资助项目 (2 0 0 0 1 2 )
红外物理
文摘
概要综述了用化学法制备光学薄膜的浸渍镀膜法、旋转镀膜法、喷溅镀膜法、流延法、弯月面镀膜法和涂布镀膜法等方法 ,及其薄膜特性 ,诸如折射率、激光损伤阈值、机械强度等的控制技术 。
关键词
制备
光学薄膜
应用
化学
法
性能
浸渍镀膜法
旋转
镀膜
法
喷溅
镀膜
法
流延
法
Keywords
chemical method
thin film
application
分类号
TB383 [一般工业技术—材料科学与工程]
O484 [理学—固体物理]
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职称材料
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作者
出处
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1
化学法制备光学薄膜及其应用
沈军
王珏
吴广明
倪星元
周斌
陈玲燕
《原子能科学技术》
EI
CAS
CSCD
2002
22
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