英特尔公司技术战略部门,材料研究组经理Michael Garner,在2007年国际纳电子表征与测量前沿会议(2007 International Conference on Frontiers of Characterization and Metrology for Nanoelectronics)上列举了在纳米科技时代测量...英特尔公司技术战略部门,材料研究组经理Michael Garner,在2007年国际纳电子表征与测量前沿会议(2007 International Conference on Frontiers of Characterization and Metrology for Nanoelectronics)上列举了在纳米科技时代测量技术需要克服的几个障碍。展开更多
文摘英特尔公司技术战略部门,材料研究组经理Michael Garner,在2007年国际纳电子表征与测量前沿会议(2007 International Conference on Frontiers of Characterization and Metrology for Nanoelectronics)上列举了在纳米科技时代测量技术需要克服的几个障碍。