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题名基于OTP修调功能的芯片量产方法研究
被引量：3
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作者
朱少华
梁鉴如
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机构
上海工程技术大学电子电气工程学院
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出处
《量子电子学报》
CAS
CSCD
北大核心
2020年第6期752-758,共7页
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基金
上海工程技术大学检测技术与自动化装置学科学位点建设项目,19XXK003
上海市“科技创新行动计划”高新技术领域项目,18511101600
上海自然科学基金,19ZR1421700。
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文摘
在实际生产中,受制造工艺的影响,芯片内部的基准电压模块会有一定的偏差。在芯片量产测试时,需通过一种内嵌存储单元修调电路,写入trim code来控制芯片内部电路,从而对芯片的参数进行微调。在测试过程中存在一些因素导致测试失效,需要进行复测提高良率。如果使用传统的方式进行一次性可编程(OTP)烧写,由于量产测试时重复烧写,会造成修调位错误烧写,导致芯片失效。基于自动化测试设备(ATE)设计了一种改进的OTP修调算法,测量初始电压、频率,并经过测试修正得出最合适的trim code,在复测时避免了对芯片重复烧写OTP。所提出方法提高了芯片测试良率,降低了生产成本。通过对两片晶圆上8000颗die的测试结果进行分析,验证了所提算法的可行性。
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关键词
光电子学
半导体测试
测试良率提升
OTP
修调算法
ATE
自动化测试平台
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Keywords
optoelectronics
semiconductor testing
improved test yields
OTP tuning algorithm
ATE automated test platform
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分类号
TN407
[电子电信—微电子学与固体电子学]
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