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计量圆光栅动态精度的检测技术
被引量：
11
1
作者
费斌
徐文雄
+1 位作者
蒋庄德
范裕健
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
1996年第5期525-529,共5页
本文探讨了计量圆光栅的精度检测问题，提出了一种新的动态检测方法。它不同于目前普遍采用的标准多面棱体静态检测法，后者只能得到圆光栅静止于圆周内若干等分位置的静态误差，而前者采用频谱分析方法、借助计算机处理，实现对圆光栅...
本文探讨了计量圆光栅的精度检测问题，提出了一种新的动态检测方法。它不同于目前普遍采用的标准多面棱体静态检测法，后者只能得到圆光栅静止于圆周内若干等分位置的静态误差，而前者采用频谱分析方法、借助计算机处理，实现对圆光栅动态地、连续测量，最终得到其误差函数Ｒ（θ）。本方法采用软件修正技术剔除安装偏心等系统误差，硬件系统使用了高精度的脉冲计数电路，使得检测系统的精度大为提高，并且排除了测量过程中，环境或人为因素对检测精度的影响。本文对这种光栅动态检测技术的原理及应用进行了研究。
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关键词
圆光栅
精度
检
测
测角度仪器
计量圆光栅
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职称材料
题名
计量圆光栅动态精度的检测技术
被引量：
11
1
作者
费斌
徐文雄
蒋庄德
范裕健
机构
西安交通大学
Eindhoven技术大学
出处
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
1996年第5期525-529,共5页
文摘
本文探讨了计量圆光栅的精度检测问题，提出了一种新的动态检测方法。它不同于目前普遍采用的标准多面棱体静态检测法，后者只能得到圆光栅静止于圆周内若干等分位置的静态误差，而前者采用频谱分析方法、借助计算机处理，实现对圆光栅动态地、连续测量，最终得到其误差函数Ｒ（θ）。本方法采用软件修正技术剔除安装偏心等系统误差，硬件系统使用了高精度的脉冲计数电路，使得检测系统的精度大为提高，并且排除了测量过程中，环境或人为因素对检测精度的影响。本文对这种光栅动态检测技术的原理及应用进行了研究。
关键词
圆光栅
精度
检
测
测角度仪器
计量圆光栅
Keywords
Grating,Precision,Measurement
分类号
TH741.2 [机械工程—光学工程]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
计量圆光栅动态精度的检测技术
费斌
徐文雄
蒋庄德
范裕健
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
1996
11
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