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框架结构对薄膜体声波谐振器性能提升的研究
1
作者
吴永乐
吴昊鹏
+5 位作者
赖志国
蔡洵
唐滨
杨清华
杨雨豪
王卫民
《电子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2024年第2期407-413,共7页
本文研究了框架结构(Frame)对薄膜体声波谐振器(Film Bulk Acoustic Resonator,FBAR)提升性能的作用,从两种Frame结构对体声波能量的反射匹配基础理论出发,针对其功能特点,以实验的方式确定了低频和高频多组框架微结构的组合,对多组FBA...
本文研究了框架结构(Frame)对薄膜体声波谐振器(Film Bulk Acoustic Resonator,FBAR)提升性能的作用,从两种Frame结构对体声波能量的反射匹配基础理论出发,针对其功能特点,以实验的方式确定了低频和高频多组框架微结构的组合,对多组FBAR进行了版图绘制以及光刻流片,最终通过片上测试得到了所有分组的谐振器性能.对测试得到的性能进行了分组统计筛选,从测试结果来看,经过优选之后的Frame结构分组无论是对低频还是高频FBAR谐振器都具有提升性能的作用.对低频(1.7 GHz附近)FBAR来说,并联谐振品质因数可以提升1000以上.对高频(5.5 GHz附近)FBAR来说,并联谐振品质因数可以提升300以上.对横向寄生模式较强的高频FBAR,优选的Frame结构可以提升谐振器的横向寄生模式抑制,使串联谐振频率之下的阻抗相位波动减少5°以上.
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关键词
薄膜体声波谐振器
框架结构
流片实验
阻抗相位波动
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职称材料
模拟集成电路课程群教学与实训体系的研究
被引量：
5
2
作者
胡远奇
王昭昊
《工业和信息化教育》
2021年第12期74-76,81,共4页
模拟集成电路及其相关前序课程是集成电路专业本科生的必修课程,课程链条较长,横跨4个学期,教学内容的合理设计至关重要。由于模拟电路具有较多抽象概念,因此单纯的理论讲授无法使学生直观地理解这些概念。以北京航空航天大学集成电路...
模拟集成电路及其相关前序课程是集成电路专业本科生的必修课程,课程链条较长,横跨4个学期,教学内容的合理设计至关重要。由于模拟电路具有较多抽象概念,因此单纯的理论讲授无法使学生直观地理解这些概念。以北京航空航天大学集成电路科学与工程学院模拟集成电路教研组课程改革方案为例,通过调整课程链上每门课程的内容,设计了基于产教融合思路的仿真案例,最终提出了教学与实训有机结合及按需拔尖的建设方案,初步达到了培养学生全局规划能力和工程思维方式的效果。
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关键词
集成电路
实训课程
教学设计
流片实验
全过程
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职称材料
题名
框架结构对薄膜体声波谐振器性能提升的研究
1
作者
吴永乐
吴昊鹏
赖志国
蔡洵
唐滨
杨清华
杨雨豪
王卫民
机构
北京邮电大学集成电路学院
北京邮电大学电子工程学院
苏州汉天下电子有限公司
出处
《电子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2024年第2期407-413,共7页
基金
国家自然科学基金(No.U20A20203,No.61971052)
北京邮电大学中央高校基本科研业务费行动计划项目(No.2021XD-A07-2)
广东省重点领域研发计划项目(No.2020B0101080001)。
文摘
本文研究了框架结构(Frame)对薄膜体声波谐振器(Film Bulk Acoustic Resonator,FBAR)提升性能的作用,从两种Frame结构对体声波能量的反射匹配基础理论出发,针对其功能特点,以实验的方式确定了低频和高频多组框架微结构的组合,对多组FBAR进行了版图绘制以及光刻流片,最终通过片上测试得到了所有分组的谐振器性能.对测试得到的性能进行了分组统计筛选,从测试结果来看,经过优选之后的Frame结构分组无论是对低频还是高频FBAR谐振器都具有提升性能的作用.对低频(1.7 GHz附近)FBAR来说,并联谐振品质因数可以提升1000以上.对高频(5.5 GHz附近)FBAR来说,并联谐振品质因数可以提升300以上.对横向寄生模式较强的高频FBAR,优选的Frame结构可以提升谐振器的横向寄生模式抑制,使串联谐振频率之下的阻抗相位波动减少5°以上.
关键词
薄膜体声波谐振器
框架结构
流片实验
阻抗相位波动
Keywords
film bulk acoustic resonator
frame structure
taping out experiment
impedance phase fluctuation
分类号
TN385 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
模拟集成电路课程群教学与实训体系的研究
被引量：
5
2
作者
胡远奇
王昭昊
机构
北京航空航天大学集成电路科学与工程学院
出处
《工业和信息化教育》
2021年第12期74-76,81,共4页
基金
2020年教育部产学合作协同育人项目“基于慧科集团的集成电路设计仿真云平台开发”(项目编号:暂无)。
文摘
模拟集成电路及其相关前序课程是集成电路专业本科生的必修课程,课程链条较长,横跨4个学期,教学内容的合理设计至关重要。由于模拟电路具有较多抽象概念,因此单纯的理论讲授无法使学生直观地理解这些概念。以北京航空航天大学集成电路科学与工程学院模拟集成电路教研组课程改革方案为例,通过调整课程链上每门课程的内容,设计了基于产教融合思路的仿真案例,最终提出了教学与实训有机结合及按需拔尖的建设方案,初步达到了培养学生全局规划能力和工程思维方式的效果。
关键词
集成电路
实训课程
教学设计
流片实验
全过程
分类号
G642 [文化科学—高等教育学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
框架结构对薄膜体声波谐振器性能提升的研究
吴永乐
吴昊鹏
赖志国
蔡洵
唐滨
杨清华
杨雨豪
王卫民
《电子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2024
0
在线阅读
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职称材料
2
模拟集成电路课程群教学与实训体系的研究
胡远奇
王昭昊
《工业和信息化教育》
2021
5
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职称材料
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