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固定流导法真空漏孔校准装置 被引量:31
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作者 李得天 郭美如 +4 位作者 葛敏 张周焕 王占忠 刘波 杨新民 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第5期358-362,共5页
为了精确校准较小漏率真空漏孔,研制了固定流导法真空漏孔校准装置。在漏孔校准过程中,通过调节稳压室中的压力,很容易使标准气体流量与漏孔漏率非常接近或相等,从而避免四极质谱计的非线性影响。通过实验测试,校准装置的极限真空度为3.... 为了精确校准较小漏率真空漏孔,研制了固定流导法真空漏孔校准装置。在漏孔校准过程中,通过调节稳压室中的压力,很容易使标准气体流量与漏孔漏率非常接近或相等,从而避免四极质谱计的非线性影响。通过实验测试,校准装置的极限真空度为3.7×10-6Pa,漏率校准范围为10-5Pa.m3/s^10-11Pa.m3/s,合成标准不确定度为1.4%~4.2%。 展开更多
关键词 真空漏孔 校准装置 固定流导法 四极质谱计
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基于四极质谱计质量歧视效应修正的材料CxHy放气率测试方法研究 被引量:3
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作者 王星辉 成永军 +4 位作者 董猛 赵澜 陈联 冯天佑 孙雯君 《真空科学与技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2023年第11期938-946,共9页
材料的碳氢化合物分放气率直接关系到精密仪器的稳定性、可靠性及寿命,分放气率的测量通过四极质谱计(QMS)测量的真空分压力计算得到。然而,QMS存在的质量歧视效应导致了大质量数离子的测量灵敏度降低,从而影响碳氢化合物分放气率的测... 材料的碳氢化合物分放气率直接关系到精密仪器的稳定性、可靠性及寿命,分放气率的测量通过四极质谱计(QMS)测量的真空分压力计算得到。然而,QMS存在的质量歧视效应导致了大质量数离子的测量灵敏度降低,从而影响碳氢化合物分放气率的测量准确度。针对该问题,文章对小孔流导法分放气率测量装置进行了优化改进,并提出了一种利用十二烷修正QMS质量歧视效应的方法。为验证方法的有效性,对两台QMS的质量歧视效应进行了修正,并选取聚四氟乙烯(PTFE)、氟橡胶(FKM)样品,测试了不同时刻碳氢化合物的放气率,结果表明,文章所提方法可以有效地降低QMS的质量歧视效应,另外,通过质量歧视修正后的碳氢化合物放气率较未修正时有明显上升,其中PTFE样品CxHy-1、CxHy-2放气率分别上升19.78%、123.83%,FKM样品CxHy-1、CxHy-2放气率分别上升31.91%、155.22%。 展开更多
关键词 材料放气率 小孔流导法 四极质谱计 质量歧视效应
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一种下限为1.3×10^(-14)Pa·m^3/s的真空漏孔校准装置 被引量:18
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作者 卢耀文 陈旭 +4 位作者 李得天 齐京 刘波 闫睿 查良镇 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第5期504-509,共6页
为了解决漏率小于10-12Pa·m3/s漏孔的校准问题,提出累积法与固定流导法相结合的方法,研制出下限可达10-14Pa·m3/s量级的校准装置。装置主要由累积比较系统和固定流导法流量计组成,采用四极质谱计作为比较器测量示漏He气离子... 为了解决漏率小于10-12Pa·m3/s漏孔的校准问题,提出累积法与固定流导法相结合的方法,研制出下限可达10-14Pa·m3/s量级的校准装置。装置主要由累积比较系统和固定流导法流量计组成,采用四极质谱计作为比较器测量示漏He气离子流大小,通过累积的方法解决了质谱分析室中示漏气体分压力测量问题;采用激光打孔和多次镀膜的方式获得10-10m3/s量级的分子流导,用吸气剂泵将真空室本底压力维持在10-7Pa量级,使磁悬浮转子真空计对固定流导元件入口He气压力测量下限可达10-4Pa,从而获得下限为1.3×10-14Pa·m3/s的标准气体流量。研究结果表明,装置采用He气作为示漏气体的校准范围为10-12~1.3×10-14Pa·m3/s,合成标准不确定度为5.2%~5.8%。 展开更多
关键词 累积 固定流导法 真空漏孔 漏率
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质谱测量与分析系统的性能测试 被引量:2
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作者 曹曾 黄向玫 +4 位作者 蔡潇 许正华 田培红 崔成和 高霄雁 《核聚变与等离子体物理》 CAS CSCD 北大核心 2014年第2期135-140,共6页
对所研制的质谱测量与分析系统进行了性能测试。烘烤后系统的极限真空达到了7.3×10-7Pa,总漏气率为3.84×10-9Pa.m3.s-1。上下球室之间的气体压力,以及漏孔的漏气率与高分辨四极质谱计的氦分压力均呈现了良好的线性关系。结果... 对所研制的质谱测量与分析系统进行了性能测试。烘烤后系统的极限真空达到了7.3×10-7Pa,总漏气率为3.84×10-9Pa.m3.s-1。上下球室之间的气体压力,以及漏孔的漏气率与高分辨四极质谱计的氦分压力均呈现了良好的线性关系。结果满足动态流导法真空校准的技术要求,为氘、氦混合气体的测量与分析提供了条件。 展开更多
关键词 极限真空 漏气率 线性关系 动态流导法
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永磁体钕铁硼的热出气率 被引量:9
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作者 王勇 李格 《真空科学与技术》 CSCD 北大核心 2000年第4期296-299,共4页
简要叙述了小孔流导法测量材料出气率实验原理和装置 ,给出了永磁体钕铁硼在不同情况下的热出气率 ,并对影响钕铁硼材料出气率的各种因素进行了分析 。
关键词 热出气率 稀土永磁体 钕铁硼 小孔流导法
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SUNIST装置中磁探针出气率测量 被引量:1
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作者 张璐 曾龙 +3 位作者 谭熠 谢丽风 高喆 王文浩 《核聚变与等离子体物理》 CAS CSCD 北大核心 2010年第3期277-280,共4页
通过出气率测量装置评价了SUNIST装置的内部磁探针出气特性,实验结果表明其出气量和出气气体成分不足以影响SUNIST真空特性。其后的放电实验验证了这一结论。
关键词 出气率 磁探针 小孔流导法 球形托卡马克
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微型溅射离子泵性能测试 被引量:7
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作者 梅国强 齐京 +1 位作者 陈旭 朱秀珍 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第6期449-453,共5页
本文介绍了小抽速微型溅射离子泵的性能测试系统和参考机械行业标准确定的测试方法,探讨了测量结果误差来源。实验测试了微型溅射离子泵的各项性能指标,为进一步研制提供了依据。
关键词 微型溅射离子泵 性能测试 动态流导法
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一种(10^(-5)-10^(-16))Pa·m^(3)/s标准气体流量计的设计 被引量:6
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作者 卢耀文 董云宁 +8 位作者 杨传森 徐宇杰 闫睿 王汐月 陈俊儒 魏萌萌 郝慧萍 齐京 查良镇 《真空科学与技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2021年第5期422-426,共5页
本文设计出下限为5×10^(-16)Pa·m^(3)/s的标准气体流量计,解决了超灵敏度检漏仪的量值溯源难题。采用基于固定流导法基本原理的标准气体流量计,通过激光打孔和镀膜制备的分子流导元件,成功获得下限为10^(-10)m^(3)/s的分子流... 本文设计出下限为5×10^(-16)Pa·m^(3)/s的标准气体流量计,解决了超灵敏度检漏仪的量值溯源难题。采用基于固定流导法基本原理的标准气体流量计,通过激光打孔和镀膜制备的分子流导元件,成功获得下限为10^(-10)m^(3)/s的分子流导;采用电容薄膜真空计作为参考标准测量压力,将直接供气、膨胀衰减压力及标准混合气体三种方法集成在一起,为流导元件入口获得(10^(3)-10^(-6)) Pa的示漏He气分压力;采用10^(-8)m^(3)/s和10^(-10)m^(3)/s量级的两套分子流导元件,结合流导元件入口压力获得了(10^(-5)-10^(-16)) Pa·m^(3)/s的标准气体流量,设计的标准气体流量计估计合成标准不确定度为1.2%-2.8%。 展开更多
关键词 超灵敏度检漏仪 固定流导法 分子流导 标准气体流量计
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空心玻璃微珠内部残余气体分析 被引量:2
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作者 常仁超 毕海林 +2 位作者 吴俊 王旭迪 彭小波 《真空科学与技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2022年第1期31-36,共6页
空心玻璃微珠在航空航天、军工等领域有广泛应用,其内部残余气体压强及成分对传热等性能有重要影响,目前国内外还没有残余气体分析相关报道。针对空心玻璃微珠内部压强未知、尺寸小、数量多等特点,设计了一种基于波纹管真空动密封的样... 空心玻璃微珠在航空航天、军工等领域有广泛应用,其内部残余气体压强及成分对传热等性能有重要影响,目前国内外还没有残余气体分析相关报道。针对空心玻璃微珠内部压强未知、尺寸小、数量多等特点,设计了一种基于波纹管真空动密封的样品破坏取样机构。基于静态升压法和动态流导法,结合破碎率,推导空心玻璃微珠内部压强计算公式。采用小孔对大气量残余气体降压取样,并使用四级质谱仪对其进行成分分析。对比初读法和积分法两种质谱分析方法,其中积分法分析结果具有更好的一致性。结果表明,取样机构可以获得40%以上的质量微珠破碎率,基于玻璃粉末法制备的空心玻璃微珠内部压强在27000 Pa左右,残余气体成分主要包括SO_(2)、N_(2)、CO、CO_(2)和O_(2)。 展开更多
关键词 空心玻璃微珠 静态升压 动态流导法 残余气体分析
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金属材料气泡的质谱分析 被引量:1
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作者 王斌 《质谱学报》 EI CAS CSCD 1989年第2期53-58,共6页
本文叙述运用气体渗透原理,采用不影响气体组份的小孔流导和四极质谱计,对有气泡和无气泡的金属材料进行对比分析。
关键词 金属材料 四极质谱计 质谱分析 流导法 超高真空阀 碎片峰 谱峰 组份 孔流 带材
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极小气体流量测量技术研究 被引量:17
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作者 李得天 冯焱 +2 位作者 成永军 张涤新 郭美如 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第4期435-439,共5页
介绍了固定流导法极小气体流量测量技术,利用流导值为10-9m3/s量级的精密小孔,通过在10-110 Pa范围内调节进气压力,实现了10-810-10Pa·m3/s的流量测量,合成标准不确定度为0.94%。利用流导比值为187.9的两个激光小孔,将固定流导法... 介绍了固定流导法极小气体流量测量技术,利用流导值为10-9m3/s量级的精密小孔,通过在10-110 Pa范围内调节进气压力,实现了10-810-10Pa·m3/s的流量测量,合成标准不确定度为0.94%。利用流导比值为187.9的两个激光小孔,将固定流导法产生了流量分流为总流量的0.53%,实现了10-1010-12Pa·m3/s范围内流量的测量,合成标准不确定度为1.2%。利用极小气体流量测量技术校准了小于10-8Pa·m3/s量级的真空漏孔,而且避免了四极质谱计的非线性引入的测量不确定度。与现有气体流量测量技术相比,提出的极小气体流量测量技术将测量下限延伸了4个数量级。 展开更多
关键词 极小气体流量 固定流导法 分流 漏率校准
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Thermal performance analysis of building construction with insulated walls in summer days and nights 被引量:2
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作者 CHEN Ya-bin PEI Xing-wang HAN Bing-zheng 《Journal of Central South University》 SCIE EI CAS CSCD 2021年第11期3613-3625,共13页
In the present study,the insulation mechanism of building walls during the summer days and nights is investigated with a realistic approach to enhance their performance.A fiber layer,as a porous medium with air gaps,i... In the present study,the insulation mechanism of building walls during the summer days and nights is investigated with a realistic approach to enhance their performance.A fiber layer,as a porous medium with air gaps,is used along the wall layers to decrease the energy loss.Meanwhile,the radiation heat flux variation during five days in a row has been considered for each side of the building,and it is tried to reach the optimum values for geometrical factors and find suitable insulation for each side of the building.A lattice Boltzmann method(LBM) based code is developed to simulate the actual chain of the heat transfer which consists of radiation,conduction,forced and natural convection combination within wall layers including fiber porous insulation.The results indicate that for the current insulation model,the effect of natural convection on the heat transfer is not negligible and the existence of the porous layer has caused a positive impact on the heat loss reduction by decreasing the circulation speed.Also,by using the optimum location and thickness for the insulation layer,it is showed that each side of the building has different rates of energy loss during a day,and for the appropriate insulation,they need to be evaluated separately. 展开更多
关键词 performance enhancement building insulation radiation/convection/conduction combination lattice Boltzmann method(LBM)
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