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洁净预真空的获得
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作者 胡焕林 《合肥工业大学学报(自然科学版)》 CAS CSCD 1990年第4期64-70,共7页
真空系统中残余气体必须洁净。要求碳氢化合物蒸气组分极低,本文分析了产生油蒸气污染的原因并介绍了干式真空泵的应用与开发。
关键词 洁净预真空 真空系统 碳氢化合物 油蒸气污染 干式真空
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