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用校正法提高补偿器检测法的精度
被引量：
14
1
作者
郭培基
余景池
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2006年第2期202-206,共5页
研究了一种测量、分离补偿法检测补偿器非圆对称误差的技术,这种技术基于波面误差可用泽尼克圆多项式来表述。通过使补偿器或被测非球面绕系统光轴旋转到多个不同的角度,得到多个测量结果,根据这些测量结果,计算得到由补偿器误差带来的...
研究了一种测量、分离补偿法检测补偿器非圆对称误差的技术,这种技术基于波面误差可用泽尼克圆多项式来表述。通过使补偿器或被测非球面绕系统光轴旋转到多个不同的角度,得到多个测量结果,根据这些测量结果,计算得到由补偿器误差带来的波面误差的非圆对称项泽尼克圆多项式系数,接着根据这些非圆对称项泽尼克圆多项式系数制作一个校正文件对非球面的测量结果进行校正,利用该技术可有效减轻对补偿器材料、加工及装校的苛刻要求,提高测量精度。实验结果表明:对某一被测非球面不用该技术时测量结果为0.105λ(RMS),应用此技术后的测量结果为0.026λ(RMS),且被测面在几个任意不同角度时的测量结果相差只有0.001λ(RMS),效果很好。该技术已被应用到实际的双曲面凸面反射镜的测量中。
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关键词
测量精度
补偿器
非
圆
对称误差
泽尼克圆多项式
校正法
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职称材料
题名
用校正法提高补偿器检测法的精度
被引量：
14
1
作者
郭培基
余景池
机构
苏州大学现代光学技术省重点实验室
出处
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2006年第2期202-206,共5页
基金
国家自然科学基金资助(No.60278011)
文摘
研究了一种测量、分离补偿法检测补偿器非圆对称误差的技术,这种技术基于波面误差可用泽尼克圆多项式来表述。通过使补偿器或被测非球面绕系统光轴旋转到多个不同的角度,得到多个测量结果,根据这些测量结果,计算得到由补偿器误差带来的波面误差的非圆对称项泽尼克圆多项式系数,接着根据这些非圆对称项泽尼克圆多项式系数制作一个校正文件对非球面的测量结果进行校正,利用该技术可有效减轻对补偿器材料、加工及装校的苛刻要求,提高测量精度。实验结果表明:对某一被测非球面不用该技术时测量结果为0.105λ(RMS),应用此技术后的测量结果为0.026λ(RMS),且被测面在几个任意不同角度时的测量结果相差只有0.001λ(RMS),效果很好。该技术已被应用到实际的双曲面凸面反射镜的测量中。
关键词
测量精度
补偿器
非
圆
对称误差
泽尼克圆多项式
校正法
Keywords
test accuracy
null lens
unsymmetrical error
Zernike＇s circle polynomial
correction technique
分类号
TH703 [机械工程—精密仪器及机械]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
用校正法提高补偿器检测法的精度
郭培基
余景池
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2006
14
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职称材料
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