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泽尔尼克多项式拟合波面中采样点数目的研究
被引量：
2
1
作者
谢苏隆
钟鹰
《激光技术》
CAS
CSCD
北大核心
2011年第2期272-274,277,共4页
为了研究采样点数目对由泽尔尼克多项式所拟合的波面的拟合精度的影响,采用不完全归纳法进行了理论分析,取得了数十个不同的测试函数的采样点与拟合精度之间的数据关系。结果表明,不同的测试函数遵循相同的规律,即采样点数目达到一定数...
为了研究采样点数目对由泽尔尼克多项式所拟合的波面的拟合精度的影响,采用不完全归纳法进行了理论分析,取得了数十个不同的测试函数的采样点与拟合精度之间的数据关系。结果表明,不同的测试函数遵循相同的规律,即采样点数目达到一定数目后,拟合精度随采样点的变化很小;并通过计算得到了在较高拟合精度时,采样点数目与泽尔尼克多项式的项数之间的变化规律,由此得到相关的采样点数目确定的经验公式。这对于泽尔尼克多项式拟合波面具有很好的指导意义。
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关键词
测量与计量
波面拟合
不完全归纳法
泽尔尼克多项式
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职称材料
利用相位差异法检测镜面面形
被引量：
4
2
作者
马鑫雪
王建立
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2015年第4期975-981,共7页
为了验证相位差异波前检测器演示系统利用自带光源独立完成波前检测任务的能力,搭建了基于相位差异法检测镜面面形的实验平台。测试时在焦面和离焦面上同时采集短曝光图像,在已知离焦量的前提下解算出波前相位分布并恢复出目标,从而实...
为了验证相位差异波前检测器演示系统利用自带光源独立完成波前检测任务的能力,搭建了基于相位差异法检测镜面面形的实验平台。测试时在焦面和离焦面上同时采集短曝光图像,在已知离焦量的前提下解算出波前相位分布并恢复出目标,从而实现对大镜面像差的估计。为了进一步验证相位差异测量方法的准确性,对相位差异法与高精度的ZYGO干涉仪得到的测量结果进行了比较分析。实验结果表明:两种方法获得的面形误差分布及误差的峰谷值(PV)和均方根值(RMS)一致性很好,而波前RMS的测量精度达到了2.83/1 000λ。得到的结果表明提出的相位差异法能有效地检测出镜面的像差,且准确性很好。
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关键词
镜面面形
面形检测
相位差异法
泽尔尼克多项式
像差
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职称材料
题名
泽尔尼克多项式拟合波面中采样点数目的研究
被引量：
2
1
作者
谢苏隆
钟鹰
机构
中国空间技术研究院西安分院重点实验室
出处
《激光技术》
CAS
CSCD
北大核心
2011年第2期272-274,277,共4页
文摘
为了研究采样点数目对由泽尔尼克多项式所拟合的波面的拟合精度的影响,采用不完全归纳法进行了理论分析,取得了数十个不同的测试函数的采样点与拟合精度之间的数据关系。结果表明,不同的测试函数遵循相同的规律,即采样点数目达到一定数目后,拟合精度随采样点的变化很小;并通过计算得到了在较高拟合精度时,采样点数目与泽尔尼克多项式的项数之间的变化规律,由此得到相关的采样点数目确定的经验公式。这对于泽尔尼克多项式拟合波面具有很好的指导意义。
关键词
测量与计量
波面拟合
不完全归纳法
泽尔尼克多项式
Keywords
measurement and metrology
wave front fitting
inadequate induction
Zernike polynomials
分类号
TH703 [机械工程—精密仪器及机械]
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职称材料
题名
利用相位差异法检测镜面面形
被引量：
4
2
作者
马鑫雪
王建立
机构
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
出处
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2015年第4期975-981,共7页
基金
国家863高技术研究发展计划资助项目(No.2011AA8082035)
文摘
为了验证相位差异波前检测器演示系统利用自带光源独立完成波前检测任务的能力,搭建了基于相位差异法检测镜面面形的实验平台。测试时在焦面和离焦面上同时采集短曝光图像,在已知离焦量的前提下解算出波前相位分布并恢复出目标,从而实现对大镜面像差的估计。为了进一步验证相位差异测量方法的准确性,对相位差异法与高精度的ZYGO干涉仪得到的测量结果进行了比较分析。实验结果表明:两种方法获得的面形误差分布及误差的峰谷值(PV)和均方根值(RMS)一致性很好,而波前RMS的测量精度达到了2.83/1 000λ。得到的结果表明提出的相位差异法能有效地检测出镜面的像差,且准确性很好。
关键词
镜面面形
面形检测
相位差异法
泽尔尼克多项式
像差
Keywords
mirror surfaee
surface test
phase diversity method
Zernike polynomial
aberration
分类号
TQ171.65 [化学工程—玻璃工业]
TH743 [机械工程—光学工程]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
泽尔尼克多项式拟合波面中采样点数目的研究
谢苏隆
钟鹰
《激光技术》
CAS
CSCD
北大核心
2011
2
在线阅读
下载PDF
职称材料
2
利用相位差异法检测镜面面形
马鑫雪
王建立
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2015
4
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职称材料
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