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多晶金薄膜电子-声子耦合
1
作者
马维刚
王海东
+1 位作者
张兴
王玮
《化工学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2011年第S1期48-53,共6页
随着电子器件和高频雷达等的尺寸减小、工作频率提高及飞秒激光超快加工的广泛应用,金属中的电子-声子耦合都成为重要的影响因素。对于尺寸效应会不会增强多晶金属薄膜的电子-声子耦合仍然存在争议。本文采用飞秒激光背面泵浦-表面探测...
随着电子器件和高频雷达等的尺寸减小、工作频率提高及飞秒激光超快加工的广泛应用,金属中的电子-声子耦合都成为重要的影响因素。对于尺寸效应会不会增强多晶金属薄膜的电子-声子耦合仍然存在争议。本文采用飞秒激光背面泵浦-表面探测热反射方法,对不同厚度金薄膜中的电子-声子耦合过程进行了实验研究。研究结果表明薄膜中的电子-声子耦合和体材料基本相同,并且不随薄膜厚度及晶粒尺寸发生变化。通过对表面和晶界对电子-声子耦合的机理分析发现,在多晶薄膜中电子弛豫通过电子-声子、电子-晶界及电子-表面耦合实现,但是电子与晶界及表面的耦合作用远比和声子的耦合弱,因此多晶薄膜的电子-声子耦合过程和体材料相近,且不随薄膜厚度发生变化。
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关键词
电子
-
声子耦合
金薄膜
泵浦-探测热反射
飞秒激光
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职称材料
题名
多晶金薄膜电子-声子耦合
1
作者
马维刚
王海东
张兴
王玮
机构
清华大学工程力学系热科学与动力工程教育部重点实验室
北京大学微电子学研究院
出处
《化工学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2011年第S1期48-53,共6页
基金
国家自然科学基金项目(50730006
50976053)~~
文摘
随着电子器件和高频雷达等的尺寸减小、工作频率提高及飞秒激光超快加工的广泛应用,金属中的电子-声子耦合都成为重要的影响因素。对于尺寸效应会不会增强多晶金属薄膜的电子-声子耦合仍然存在争议。本文采用飞秒激光背面泵浦-表面探测热反射方法,对不同厚度金薄膜中的电子-声子耦合过程进行了实验研究。研究结果表明薄膜中的电子-声子耦合和体材料基本相同,并且不随薄膜厚度及晶粒尺寸发生变化。通过对表面和晶界对电子-声子耦合的机理分析发现,在多晶薄膜中电子弛豫通过电子-声子、电子-晶界及电子-表面耦合实现,但是电子与晶界及表面的耦合作用远比和声子的耦合弱,因此多晶薄膜的电子-声子耦合过程和体材料相近,且不随薄膜厚度发生变化。
关键词
电子
-
声子耦合
金薄膜
泵浦-探测热反射
飞秒激光
Keywords
electron
-
phonon coupling
thin gold film
pump
-
probe thermoreflectance
femotosecond laser
分类号
TQ-55 [化学工程]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
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1
多晶金薄膜电子-声子耦合
马维刚
王海东
张兴
王玮
《化工学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2011
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