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离子注入机金属铝离子源的气源的优选
被引量：
1
1
作者
孙勇
王迪平
+1 位作者
陈洪
彭立波
《电子工艺技术》
2021年第3期147-149,169,共4页
注铝离子注入机,是宽禁带半导体SiC产业的关键设备,金属铝离子源直接影响了整机的性能指标,特别是PM周期和离子源寿命。为保证离子源的长寿命和铝离子大束流,针对金属铝离子源放电的辅助气源进行了一系列的研究和实验,包括铝离子产额、...
注铝离子注入机,是宽禁带半导体SiC产业的关键设备,金属铝离子源直接影响了整机的性能指标,特别是PM周期和离子源寿命。为保证离子源的长寿命和铝离子大束流,针对金属铝离子源放电的辅助气源进行了一系列的研究和实验,包括铝离子产额、束流质谱、阴极使用寿命及污染导致的放电打火情况等,通过实验结果筛选出最佳的气源。
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关键词
注铝离子注入机
金属
铝
离子
源
束流质谱
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题名
离子注入机金属铝离子源的气源的优选
被引量：
1
1
作者
孙勇
王迪平
陈洪
彭立波
机构
中国电子科技集团公司第四十八研究所
中国电子科技集团公司第二研究所
出处
《电子工艺技术》
2021年第3期147-149,169,共4页
文摘
注铝离子注入机,是宽禁带半导体SiC产业的关键设备,金属铝离子源直接影响了整机的性能指标,特别是PM周期和离子源寿命。为保证离子源的长寿命和铝离子大束流,针对金属铝离子源放电的辅助气源进行了一系列的研究和实验,包括铝离子产额、束流质谱、阴极使用寿命及污染导致的放电打火情况等,通过实验结果筛选出最佳的气源。
关键词
注铝离子注入机
金属
铝
离子
源
束流质谱
Keywords
aluminum ion implanter
aluminum ion source
beam mass spectrometry
分类号
TN305 [电子电信—物理电子学]
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作者
出处
发文年
被引量
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1
离子注入机金属铝离子源的气源的优选
孙勇
王迪平
陈洪
彭立波
《电子工艺技术》
2021
1
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