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注氧隔离技术SOI晶圆材料高温压阻效应 被引量:1
1
作者 李新 刘沁 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2011年第6期1-2,共2页
针对注氧隔离技术制备的SOI晶圆顶层硅材料的高温压阻效应,设计并制作研究压阻效应的实验装置与测试样品,在高温条件下,利用悬臂梁结构研究SOI晶圆顶层硅的压阻效应。研究结果表明:在一定的掺杂浓度条件下,硅[110]晶向上的纵向压阻系数... 针对注氧隔离技术制备的SOI晶圆顶层硅材料的高温压阻效应,设计并制作研究压阻效应的实验装置与测试样品,在高温条件下,利用悬臂梁结构研究SOI晶圆顶层硅的压阻效应。研究结果表明:在一定的掺杂浓度条件下,硅[110]晶向上的纵向压阻系数随温度的升高而减小,横向压阻系数随温度的升高变化不大。在300℃条件下,硅[110]晶向具有较大的纵向压阻系数和横向阻系数,且性能稳定,适于高温压阻式压力传感器的制作。 展开更多
关键词 压阻效应 注氧隔离 高温
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注氧位置对电弧加热等离子体发生器性能的影响 被引量:1
2
作者 赵宇辉 王一白 +1 位作者 代晓松 王硕 《真空科学与技术学报》 CSCD 北大核心 2017年第12期1177-1182,共6页
等离子体发生器被广泛应用于再入飞行器热防护地面试验中,而对等离子体发生器的数值仿真可以预估发生器性能,对发生器的设计工作起到一定作用。因此本文通过耦合磁流体力学控制方程和N-S方程,对自主设计的氮氧等离子体发生器进行了数值... 等离子体发生器被广泛应用于再入飞行器热防护地面试验中,而对等离子体发生器的数值仿真可以预估发生器性能,对发生器的设计工作起到一定作用。因此本文通过耦合磁流体力学控制方程和N-S方程,对自主设计的氮氧等离子体发生器进行了数值仿真。仿真获得了发生器内部的温度场与速度场,以及氮氧的组分分布以及出口气流部分气动热力学参数,并讨论了注氧位置对发生器性能的影响。仿真结果表明,在发生器通道内,电弧的热能转化为工质内能,工质通过收缩-扩张型喷管以后将部分内能转化为动能,达到超音速,同时注氧位置前置可以使射流混合更充分,获得更好的射流性质。 展开更多
关键词 电弧加热等离子体发生器 数值模拟 气动热力学 注氧位置
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注氧条件下GaAs中Ga^+二次离子发射的研究
3
作者 莫志强 姜志雄 查良镇 《真空科学与技术》 CSCD 1994年第1期6-10,共5页
在有与没有Ar+同时轰击的条件下,研究了GaAs中Ga+2次离子发射的氧效应。对吸附在表面上的氧以及反弹注入到表面内的氧引起的Ga+二次离子产额增强效应进行了实验研究,同时测量了氧分压强对Ga+二次离子能量分布的影响。实验结果表明:... 在有与没有Ar+同时轰击的条件下,研究了GaAs中Ga+2次离子发射的氧效应。对吸附在表面上的氧以及反弹注入到表面内的氧引起的Ga+二次离子产额增强效应进行了实验研究,同时测量了氧分压强对Ga+二次离子能量分布的影响。实验结果表明:注氧后Ga+二次离子能量分布变窄且最可见能量向低能端移动2~3eV,说明氧对低能Ga+二次离子的增强作用更强,这可以用断键模型来解释。 展开更多
关键词 二次离子发射 砷化镓 注氧
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CT定位钻颅注氧置换治疗慢性硬膜下血肿的价值 被引量:1
4
作者 倪国汉 吴新宇 《放射学实践》 1997年第3期99-101,共3页
目的:介绍CT定位下钻颅注气置换治疗慢性硬膜下血肿(CSDH)的临床应用及效果。材料和方法:12例CSDH,经CT确诊共15个血肿。全部病倒在CT定位后,局部麻醉,于血肿最低处作一小切口,钻颅置入一同轴双腔管于血肿腔内,从内管缓慢注入... 目的:介绍CT定位下钻颅注气置换治疗慢性硬膜下血肿(CSDH)的临床应用及效果。材料和方法:12例CSDH,经CT确诊共15个血肿。全部病倒在CT定位后,局部麻醉,于血肿最低处作一小切口,钻颅置入一同轴双腔管于血肿腔内,从内管缓慢注入氧气(每次10ml),则陈旧性血液从另一管内流出。如此反复注氧,直至血肿排空为止。结果:术后即刻CT复查,全部病例绝大部分血肿被氧气替代,临床症状部分改善,5~10天出院,2个月内痊愈,无一例有并发症。结论:CT定位下钻颅注氧置换治疗CSDH,是一种安全简便、疗效可靠的治疗方法。 展开更多
关键词 慢性 硬膜下血肿 注氧 置换 CT
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抗微生物制剂配合乳池注氧对牛乳腺炎及子宫疾病的疗效
5
作者 刘满 《国外兽医学(畜禽疾病)》 CSCD 1996年第2期31-32,共2页
母牛的乳腺炎常常与生殖器官疾病同时发生,这样就加剧了病理过程,使病性复杂化,并且使治疗效果降低。我们工作的目的是确定母牛乳腺炎的发病率,弄清它和子宫疾病同时发生的频率,确定应用抗微生物制剂并同时进行乳池内注氧的治疗效果。... 母牛的乳腺炎常常与生殖器官疾病同时发生,这样就加剧了病理过程,使病性复杂化,并且使治疗效果降低。我们工作的目的是确定母牛乳腺炎的发病率,弄清它和子宫疾病同时发生的频率,确定应用抗微生物制剂并同时进行乳池内注氧的治疗效果。试验在斯塔夫罗波尔斯克省的《涅夫杰古姆斯基》农场进行。根据检查乳房和挤乳。 展开更多
关键词 牛病 乳房炎 子宫疾病 抗微生物制剂 乳池内注氧
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钻颅正压注氧置换治疗慢性硬脑膜下血肿病人的护理
6
作者 刘广萍 梅梅 《护理研究》 2000年第4期165-166,共2页
关键词 慢性硬脑膜下血种 钻颅正压注氧置换术 护理
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气氧/甲烷同轴剪切喷注器燃烧特性数值模拟 被引量:9
7
作者 高玉闪 杜正刚 +1 位作者 金平 蔡国飙 《火箭推进》 CAS 2009年第5期18-23,33,共7页
对以气氧/甲烷为推进剂的同轴剪切喷注器进行了数值模拟,研究了喷注器设计参数对推进剂掺混燃烧、燃烧室壁面和喷注面板热载的影响。研究结果表明:氧喷注速度增大不利于推进剂的掺混燃烧,降低了燃烧效率,增大了燃烧室壁面和喷注面板的热... 对以气氧/甲烷为推进剂的同轴剪切喷注器进行了数值模拟,研究了喷注器设计参数对推进剂掺混燃烧、燃烧室壁面和喷注面板热载的影响。研究结果表明:氧喷注速度增大不利于推进剂的掺混燃烧,降低了燃烧效率,增大了燃烧室壁面和喷注面板的热载;动量比增大提高了推进剂的燃烧效率,缩短了燃烧距离,但增大了燃烧室壁面和喷注面板的热载;中心氧喷嘴管壁厚和氧喷嘴管的缩进,对燃烧效率有影响,但两者对燃烧室壁面和喷注面板热载影响不明显;对燃烧效率而言,特定情况下氧喷嘴缩进存在一最佳值。 展开更多
关键词 /甲烷喷 设计参数 燃烧效率 温度 数值模拟
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注气氧含量对P110钢腐蚀行为的影响 被引量:3
8
作者 文军红 孟德宇 +3 位作者 郭玉洁 张雷 羊东明 李大朋 《腐蚀与防护》 CAS 北大核心 2018年第6期449-452,458,共5页
在模拟注气井筒高温高溶解氧含量腐蚀环境中对P110钢开展了腐蚀评价试验,并利用失重法测试腐蚀速率,结合腐蚀形态观察和腐蚀产物分析,研究了注气氧含量对P110钢在90℃时腐蚀行为的影响。结果表明:P110钢在不同注气氧含量条件下均呈现严... 在模拟注气井筒高温高溶解氧含量腐蚀环境中对P110钢开展了腐蚀评价试验,并利用失重法测试腐蚀速率,结合腐蚀形态观察和腐蚀产物分析,研究了注气氧含量对P110钢在90℃时腐蚀行为的影响。结果表明:P110钢在不同注气氧含量条件下均呈现严重腐蚀结垢,腐蚀产物主要为铁的氧化物和CaCO_3,腐蚀形态主要为局部腐蚀;P110钢的腐蚀进程受阴极反应过程中溶解氧扩散速率控制,不同注气氧含量条件下氧的极限扩散电流密度不同使得P110钢的腐蚀速率存在一定程度波动,但其腐蚀速率均相对较高。 展开更多
关键词 P110钢 含量 腐蚀结垢 局部腐蚀
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液氧甲烷单喷嘴燃烧性能数值仿真研究 被引量:4
9
作者 刘红珍 田原 孙纪国 《火箭推进》 CAS 2014年第1期56-59,91,共5页
为了研究液氧甲烷同轴剪切式喷注器结构参数变化对燃烧性能的影响,以单喷嘴为物理模型进行了燃烧数值仿真。研究表明:适当增加氧喷嘴出口壁厚和增加喷嘴个数均能提高喷注器燃烧效率,其中增加喷嘴个数对燃烧效率的影响更为显著。
关键词 甲烷喷 单喷嘴 燃烧性能 数值模拟
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SOI MOSFET器件X射线总剂量效应研究 被引量:6
10
作者 何玉娟 师谦 +2 位作者 李斌 林丽 张正选 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2006年第5期357-360,共4页
研究了以10keV X射线为辐照源对注氧隔离(SIMOX)SOI MOSFET器件进行辐照的总剂量效应。采用ARACOR 10keV X射线对埋氧层加固样品与未加固的对比样品在开态和传输门态两种辐照偏置下进行辐照,分析了器件的特性曲线,并计算了SOI MOS器件... 研究了以10keV X射线为辐照源对注氧隔离(SIMOX)SOI MOSFET器件进行辐照的总剂量效应。采用ARACOR 10keV X射线对埋氧层加固样品与未加固的对比样品在开态和传输门态两种辐照偏置下进行辐照,分析了器件的特性曲线,并计算了SOI MOS器件前栅与寄生背栅晶体管辐照前后的阈值电压的漂移。实验结果表明,加固样品的抗辐射性能优越,且不同的辐照偏置对SOI MOSFET器件的辐照效应产生不同的影响。 展开更多
关键词 X射线 总剂量辐射效应 绝缘体上硅 注氧隔离
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SOI技术的新进展 被引量:9
11
作者 林成鲁 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2003年第9期39-43,共5页
综述了SOI技术的发展历程,SOI的主流技术,SOI技术发展的新动向,SOI技术的应用进展,并介绍了上海微系统与信息技术研究所和上海新傲科技有限公司的SOI研发和产业化情况。
关键词 SOI技术 绝缘层上硅 离子 注氧隔离 薄层转移 硅集成电路
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薄膜SOI上大于600 V LDMOS器件的研制
12
作者 王中健 夏超 +3 位作者 徐大伟 程新红 宋朝瑞 俞跃辉 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2012年第4期254-257,共4页
针对600 V以上SOI高压器件的研制需要,分析了SOI高压器件在纵向和横向上的耐压原理。通过比较提出薄膜SOI上实现高击穿电压方案,并通过仿真预言其可行性。在埋氧层为3μm,顶层硅为1.5μm的注氧键合(Simbond)SOI衬底上开发了与CMOS工艺... 针对600 V以上SOI高压器件的研制需要,分析了SOI高压器件在纵向和横向上的耐压原理。通过比较提出薄膜SOI上实现高击穿电压方案,并通过仿真预言其可行性。在埋氧层为3μm,顶层硅为1.5μm的注氧键合(Simbond)SOI衬底上开发了与CMOS工艺兼容的制备流程。为实现均一的横向电场,设计了具有线性渐变掺杂60μm漂移区的LDMOS结构。为提高纵向耐压,利用场氧技术对硅膜进行了进一步减薄。流片实验的测试结果表明,器件关态击穿电压可达600 V以上(实测832 V),开态特性正常,阈值电压提取为1.9 V,计算开态电阻为50Ω.mm2。 展开更多
关键词 绝缘体上硅 横向扩散金属化物半导体 击穿电压 线性渐变掺杂 注氧键合
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SIMOX结构及杂质的二次离子质谱分析
13
作者 罗晏 王阳元 《真空科学与技术》 CSCD 北大核心 1998年第A12期125-129,共5页
用二次离子质谱方法,测量了SIMOX样品的各层结构和杂质分布。讨论了测量的方法。说明了SIMOX材料顶部硅层的捩缺陷和杂质的施主作用。要制作适合器件需要的SOI材料,必须控制工艺过程中顶部硅层的杂质污染和损伤。
关键词 注氧隔离技术 顶部硅层 埋层 扩展缺陷 杂质
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SIMOX材料的SIMS分析
14
作者 马农农 刘容 《真空科学与技术》 CSCD 北大核心 1998年第A12期130-132,共3页
对SIMOX材料进行了SIMS深度剖析,研究了电荷积累效应、二次离子传输效率等实验因素对测试结果的影响,氧检测的动态范围达三个量级。对国内、外的SIMOX材料做了对比研究。
关键词 二次离子质谱 注氧隔离 深度剖析 SOI材料
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主动脉瘤手术时脑保护的方法
15
作者 罗国华 吴清玉 《中国微创外科杂志》 CSCD 1999年第4期45-47,共3页
随着心血管外科技术的发展,主动脉瘤手术时的脑保护变得日益重要。不少学者认为目前制约主动脉外科进一步发展的主要因素已经不是单纯的外科技术问题而更重要的是脑保护问题。本文就近年来主动脉瘤手术时脑保护的研究现状作一综述。
关键词 DHCA 脑保护液 主动脉瘤手术 深低温停循环 上腔静脉 非搏动血流 流量 安全时限 注氧 脑组织
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单晶硅高温压阻式压力传感器 被引量:8
16
作者 吴沛珊 刘沁 +2 位作者 李新 张治国 郑东明 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2020年第10期1-3,7,共4页
适于高温环境应用的压力传感器的相关研究工作备受关注。以注氧隔离(SIMOX)技术SOI晶圆为基础,探讨了单晶硅高温压阻式压力传感器芯片和封装结构设计,在传感器国家工程中心OEM压力传感器制作工艺的基础上,完成传感器研制与测试。结果表... 适于高温环境应用的压力传感器的相关研究工作备受关注。以注氧隔离(SIMOX)技术SOI晶圆为基础,探讨了单晶硅高温压阻式压力传感器芯片和封装结构设计,在传感器国家工程中心OEM压力传感器制作工艺的基础上,完成传感器研制与测试。结果表明,在50~300℃温度范围,研制的高温压力传感器具有很好的性能,传感器静态灵敏度大于29 mV/MPa,非线性误差小于0.25%F·S,重复性小于0.2%F·S,传感器灵敏度随温度升高而增大,非线性随温度增加而减小。研制的单晶硅高温压力传感器在军事和民用方面具有广阔的应用前景。 展开更多
关键词 高温压力传感器 注氧隔离 压阻效应
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以重整气为燃料气的PEMFC电堆性能 被引量:4
17
作者 钊文科 胡军 +3 位作者 石伟玉 林治银 邵志刚 衣宝廉 《电源技术》 CAS CSCD 北大核心 2009年第10期861-864,共4页
与使用氢气为燃料气相比,以重整气作为质子交换膜燃料电池的燃料气可以避免氢气储存与运输的不便,更可以增加PEMFC的适用场合和范围。研究了常压与加压条件下重整气中N2和CO2组分对PEMFC电堆的影响,结果表明N2和CO2主要是降低了H2的分压... 与使用氢气为燃料气相比,以重整气作为质子交换膜燃料电池的燃料气可以避免氢气储存与运输的不便,更可以增加PEMFC的适用场合和范围。研究了常压与加压条件下重整气中N2和CO2组分对PEMFC电堆的影响,结果表明N2和CO2主要是降低了H2的分压,对电池性能影响较小。针对CO组分,研究比较了阳极注氧和外部净化对电池抗CO能力的影响,结果表明这两种方法都有明显的抗CO效果,相比之下外净化的效果更佳。同时,考察了电堆在重整气氛围下的稳定性,进行了1500h的寿命实验,实验结果显示电压衰减速度为19.21μV/h。 展开更多
关键词 质子交换膜燃料电池 燃料电池电堆 重整气 阳极注氧 外净化
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易自燃煤层预测预报气体指标体系研究 被引量:47
18
作者 疏义国 赵庆伟 郁亚楠 《煤炭科学技术》 CAS CSCD 北大核心 2019年第10期229-234,共6页
为提高西部煤矿煤层自然发火预测预报效率及防火措施的针对性,采用自然发火试验方法对侏罗系及石炭二叠系含煤地层煤样进行了研究,分析了煤自燃的特点及规律,优选了CO、O2、Δφ(CO)/Δφ(O2)、C2H6、C2H4作为自然发火的气体指标,建立了... 为提高西部煤矿煤层自然发火预测预报效率及防火措施的针对性,采用自然发火试验方法对侏罗系及石炭二叠系含煤地层煤样进行了研究,分析了煤自燃的特点及规律,优选了CO、O2、Δφ(CO)/Δφ(O2)、C2H6、C2H4作为自然发火的气体指标,建立了以5个气体指标为依据的分级预警及防控体系,并进行了现场实践。结果表明:一氧化碳、氧气结合火灾系数100×(Δφ(CO)/Δφ(O2))能相对准确地对煤体氧化情况进行判断,辅以乙烷、乙烯对氧化煤体达到的温度进行反演,实现了多指标煤自然发火隐患的动态识别。同时以“动态推进、端头封堵、注氮降氧、灌浆抑温、分段隔离”等技术手段相互协同的主动分级防控方法,达到了自燃隐患的有效控制,现场取得了很好的应用效果。 展开更多
关键词 自然发火 灌浆抑温 分级预警体系 氮降
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Preparation and photocatalytic properties of Fe-doped TiO_2 nanoparticles 被引量:1
19
作者 陈晓青 杨娟玉 张俊山 《Journal of Central South University of Technology》 2004年第2期161-165,共5页
Nanocrystalline Fe-doped TiO2 with size of 6070 nm was prepared by a sol-gel technique, followed by freeze-drying treatment for 2 h. Thermogravimetric and differential thermal analyses, X-ray diffraction, scanning (e... Nanocrystalline Fe-doped TiO2 with size of 6070 nm was prepared by a sol-gel technique, followed by freeze-drying treatment for 2 h. Thermogravimetric and differential thermal analyses, X-ray diffraction, scanning (electron) microscope, laser diffraction particle size analyzer and UV-Vis spectrophotometer technologies were used to characterize the product. The photocatalytic activities of the samples were evaluated by the degradation of wastewater of paper-making. The effects of Fe ion implantation on the photocatalytic activity of TiO2 were also discussed. The results show that the iron content plays an essential role in affecting the photocatalytic activity of the Fe-doped TiO2 and the optimum content of Fe-doped is 0.05% (mass fraction). The photocatalytic activity of samples with lower content of Fe-doped is higher than that of pure TiO2 in the treatment of paper-making wastewater. The photo-degradation effect of paper-making effluent is the best by means of Fe-doped TiO2 with 0.05% Fe. 展开更多
关键词 nanometer titanium dioxide iron ion implantation photocatalytic activity paper-making wastewater
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