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斐索型球面干涉仪移相误差的探讨
被引量：
5
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作者
黄深旺
陈磊
+1 位作者
陈进榜
朱日宏
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
1996年第10期883-888,共6页
本文对斐索型球面干涉仪的移相原理误差进行了理论推导和计算；应用移相干涉术的三步法和五步法，分析和比较了球面移相误差对波面复原精度的影响，并给出了有关数据和曲线。最后，提出了几种减小球面测量误差的措施。
关键词
移相
误差
波面复原误差
三步法
干涉仪
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职称材料
题名
斐索型球面干涉仪移相误差的探讨
被引量：
5
1
作者
黄深旺
陈磊
陈进榜
朱日宏
机构
南京理工大学电光分院
出处
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
1996年第10期883-888,共6页
文摘
本文对斐索型球面干涉仪的移相原理误差进行了理论推导和计算；应用移相干涉术的三步法和五步法，分析和比较了球面移相误差对波面复原精度的影响，并给出了有关数据和曲线。最后，提出了几种减小球面测量误差的措施。
关键词
移相
误差
波面复原误差
三步法
干涉仪
Keywords
Phase-shifting error
Wavefront retrieving errors
3-frame method
5-frame method
分类号
TH744.3 [机械工程—光学工程]
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作者
出处
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被引量
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1
斐索型球面干涉仪移相误差的探讨
黄深旺
陈磊
陈进榜
朱日宏
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
1996
5
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