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题名波长移相干涉仪的算法研究(英文)
被引量：7
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作者
于瀛洁
张本好
焦云芳
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机构
上海大学精密机械系
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出处
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
2003年第6期560-566,共7页
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基金
Theprojectissupportedbythe"Shanghaitechnologicalphosphor project(No.01QAI4021)
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文摘
叙述了波长移相干涉仪的基本原理,分析了其特点,对传统硬件移相干涉仪和波长移相干涉仪进行了比较,指出了它们的优缺点和应用范围。以美国NewFocus公司的可调谐半导体激光器为例,简述了实现波长调谐的硬件。文中将波长移相干涉仪算法分成三类:加权多步波长移相算法、基于傅里叶变换的波长移相算法和多波长算法,对这三类算法进行了较详细的叙述和分析,指出了各自的优缺点和应用范围。基于傅里叶变换的波长移相算法,提出了结合差分运算的适合于台阶测量的新算法,克服了已有算法中需要参考基准和参考面的缺点,提高了算法的实用性。
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关键词
相移干涉术
波长调谐
移相算法
波长移相干涉仪
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Keywords
phase-shifting interferometry
wavelength tuning
phase-shifting algorithms
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分类号
TH744.3
[机械工程—光学工程]
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