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一种采用微硅片狭缝的新型微小型光纤光谱仪
被引量：
17
1
作者
周连群
吴一辉
+3 位作者
张平
宣明
贾宏光
李正刚
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2005年第6期637-642,共6页
研制了一种采用微硅片狭缝代替传统机械狭缝的微小型光纤光谱仪。采用MEMS(微机电系统)工艺制造出了体积小、厚度薄的一体式微硅片狭缝,并分析了微硅片狭缝的狭缝不平直度对微小型光纤光谱仪分辨率的影响,通过测试系统分辨率的实验,验...
研制了一种采用微硅片狭缝代替传统机械狭缝的微小型光纤光谱仪。采用MEMS(微机电系统)工艺制造出了体积小、厚度薄的一体式微硅片狭缝,并分析了微硅片狭缝的狭缝不平直度对微小型光纤光谱仪分辨率的影响,通过测试系统分辨率的实验,验证了采用微硅片狭缝的可行性。同时,对微小型光纤光谱仪的光谱带宽和像元分辨力进行了讨论,为波长的标定提供了一种理论依据。通过对采集的汞灯谱线的分析和MATLAB的精确计算,验证了所提出的通用波长-像元迭代公式的正确性,从而研制出了一种采用微硅片狭缝的半峰全宽为0.85 nm,波长标定精度小于0.2 nm,体积为50 mm×46 mm×14 mm的微小型光纤光谱仪。
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关键词
微硅片狭缝
微小型光纤光谱仪
微光机电系统
分辨率
波长标定公式
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职称材料
题名
一种采用微硅片狭缝的新型微小型光纤光谱仪
被引量：
17
1
作者
周连群
吴一辉
张平
宣明
贾宏光
李正刚
机构
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室
出处
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2005年第6期637-642,共6页
基金
国家863MEMS重大专题项目(No.2003AA-3-A19)
(No.2004AA404250)
中国科学院二期创新资助项目
文摘
研制了一种采用微硅片狭缝代替传统机械狭缝的微小型光纤光谱仪。采用MEMS(微机电系统)工艺制造出了体积小、厚度薄的一体式微硅片狭缝,并分析了微硅片狭缝的狭缝不平直度对微小型光纤光谱仪分辨率的影响,通过测试系统分辨率的实验,验证了采用微硅片狭缝的可行性。同时,对微小型光纤光谱仪的光谱带宽和像元分辨力进行了讨论,为波长的标定提供了一种理论依据。通过对采集的汞灯谱线的分析和MATLAB的精确计算,验证了所提出的通用波长-像元迭代公式的正确性,从而研制出了一种采用微硅片狭缝的半峰全宽为0.85 nm,波长标定精度小于0.2 nm,体积为50 mm×46 mm×14 mm的微小型光纤光谱仪。
关键词
微硅片狭缝
微小型光纤光谱仪
微光机电系统
分辨率
波长标定公式
Keywords
micro-silicon slit
mini-fiber-spectrometer
MOEMS
resolution
formula for wavelength calibration
分类号
TH744.1 [机械工程—光学工程]
O433.1 [机械工程—光学工程]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
一种采用微硅片狭缝的新型微小型光纤光谱仪
周连群
吴一辉
张平
宣明
贾宏光
李正刚
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2005
17
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