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基于流量预测的波纹管泵流量脉动抑制控制方法
被引量：
1
1
作者
顾晓伟
周明昊
申慧敏
《机电工程》
CAS
北大核心
2024年第9期1684-1691,共8页
随着晶圆内部线宽减小,在晶圆制造的湿法清洗工艺中对超纯水杂质颗粒的数量和直径提出了更严格的要求,以提高晶圆生产的产量,因此,对作为流控部件的波纹管泵(BsP)有更高的要求。针对波纹管泵运行过程中流量脉动导致的超洁净水颗粒杂质...
随着晶圆内部线宽减小,在晶圆制造的湿法清洗工艺中对超纯水杂质颗粒的数量和直径提出了更严格的要求,以提高晶圆生产的产量,因此,对作为流控部件的波纹管泵(BsP)有更高的要求。针对波纹管泵运行过程中流量脉动导致的超洁净水颗粒杂质增加和晶圆良品率下降的问题,提出了一种基于神经网络流量预测模型的流量脉动抑制控制方法。首先,阐述了波纹管泵的工作原理和流量脉动产生的原因;然后,介绍了波纹管泵流固耦合模型的搭建方法,使用神经网络流量预测模型建立了流量脉动前馈控制的理论方法;最后,使用COMSOL仿真进行了流量预测模型验证研究,基于Simulink仿真平台开展了前馈控制应用于流量脉动抑制的验证研究。研究结果表明:在流量为[3.39,5.01]L/min时,预测的绝对流量误差范围为[8.0×10^(-1),1.6×10^(-1)]L/min;当流量为5.0 L/min时,最大流量脉动可从1.6 L/min降至4.0×10^(-1) L/min。在仿真验证中,该方法对波纹管泵脉动抑制有显著的效果,还可以有效提高波纹管的性能。
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关键词
波纹管泵
(BsP)
流量脉动
流固耦合仿真
神经网络流量预测模型
COMSOL
SIMULINK
前馈控制
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职称材料
面向半导体湿法制程的超洁净流控技术综述
被引量：
5
2
作者
杨津宇
杨军
+5 位作者
白晓蓉
任政钢
刘成卫
龚轩
胡亮
阮晓东
《液压与气动》
北大核心
2022年第5期1-17,共17页
湿法工艺作为半导体工艺的重要组成部分,通过化学品(酸、碱、溶剂等)与超纯水等液体介质,对晶圆表面进行刻蚀、清洗等处理,其制程需避免颗粒、金属、离子、细菌等污染物带来的工艺缺陷。为此,湿法工艺相关的化学品系统、超纯水系统与制...
湿法工艺作为半导体工艺的重要组成部分,通过化学品(酸、碱、溶剂等)与超纯水等液体介质,对晶圆表面进行刻蚀、清洗等处理,其制程需避免颗粒、金属、离子、细菌等污染物带来的工艺缺陷。为此,湿法工艺相关的化学品系统、超纯水系统与制程装备均需采用超洁净流控部件,但相关产品被国外垄断,我国对该技术领域的研究仍处起步阶段。该研究首先阐述了半导体湿法制程对超洁净流控部件的需求,剖析了该类部件的主要技术特征。进而,重点介绍了磁悬浮泵、波纹管泵、隔膜阀以及超声波流量传感器等超洁净流控部件的工作原理与发展历程,并分析了其关键技术与研究现状。最后,对超洁净流控技术的发展做出了展望。
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关键词
半导体
湿法制程
超洁净流控
磁悬浮
泵
波纹管泵
隔膜阀
超声波流量传感器
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职称材料
题名
基于流量预测的波纹管泵流量脉动抑制控制方法
被引量：
1
1
作者
顾晓伟
周明昊
申慧敏
机构
上海理工大学机械工程学院
出处
《机电工程》
CAS
北大核心
2024年第9期1684-1691,共8页
基金
国家自然科学基金资助项目(52175055)。
文摘
随着晶圆内部线宽减小,在晶圆制造的湿法清洗工艺中对超纯水杂质颗粒的数量和直径提出了更严格的要求,以提高晶圆生产的产量,因此,对作为流控部件的波纹管泵(BsP)有更高的要求。针对波纹管泵运行过程中流量脉动导致的超洁净水颗粒杂质增加和晶圆良品率下降的问题,提出了一种基于神经网络流量预测模型的流量脉动抑制控制方法。首先,阐述了波纹管泵的工作原理和流量脉动产生的原因;然后,介绍了波纹管泵流固耦合模型的搭建方法,使用神经网络流量预测模型建立了流量脉动前馈控制的理论方法;最后,使用COMSOL仿真进行了流量预测模型验证研究,基于Simulink仿真平台开展了前馈控制应用于流量脉动抑制的验证研究。研究结果表明:在流量为[3.39,5.01]L/min时,预测的绝对流量误差范围为[8.0×10^(-1),1.6×10^(-1)]L/min;当流量为5.0 L/min时,最大流量脉动可从1.6 L/min降至4.0×10^(-1) L/min。在仿真验证中,该方法对波纹管泵脉动抑制有显著的效果,还可以有效提高波纹管的性能。
关键词
波纹管泵
(BsP)
流量脉动
流固耦合仿真
神经网络流量预测模型
COMSOL
SIMULINK
前馈控制
Keywords
bellows pump(BsP)
flowrate pulsation
fluid-solid coupling simulation
neural network flowrate prediction model
COMSOL
Simulink
feedforward control
分类号
TH38 [机械工程—机械制造及自动化]
TH703 [机械工程—精密仪器及机械]
TN405 [电子电信—微电子学与固体电子学]
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职称材料
题名
面向半导体湿法制程的超洁净流控技术综述
被引量：
5
2
作者
杨津宇
杨军
白晓蓉
任政钢
刘成卫
龚轩
胡亮
阮晓东
机构
浙江大学流体动力与机电系统国家重点实验室
浙江启尔机电技术有限公司
出处
《液压与气动》
北大核心
2022年第5期1-17,共17页
文摘
湿法工艺作为半导体工艺的重要组成部分,通过化学品(酸、碱、溶剂等)与超纯水等液体介质,对晶圆表面进行刻蚀、清洗等处理,其制程需避免颗粒、金属、离子、细菌等污染物带来的工艺缺陷。为此,湿法工艺相关的化学品系统、超纯水系统与制程装备均需采用超洁净流控部件,但相关产品被国外垄断,我国对该技术领域的研究仍处起步阶段。该研究首先阐述了半导体湿法制程对超洁净流控部件的需求,剖析了该类部件的主要技术特征。进而,重点介绍了磁悬浮泵、波纹管泵、隔膜阀以及超声波流量传感器等超洁净流控部件的工作原理与发展历程,并分析了其关键技术与研究现状。最后,对超洁净流控技术的发展做出了展望。
关键词
半导体
湿法制程
超洁净流控
磁悬浮
泵
波纹管泵
隔膜阀
超声波流量传感器
Keywords
semiconductor
wet process
ultra-clean flow control
magnetic levitation pump
bellows pump
diaphragm valve
ultrasonic flow sensor
分类号
TH137 [机械工程—机械制造及自动化]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
基于流量预测的波纹管泵流量脉动抑制控制方法
顾晓伟
周明昊
申慧敏
《机电工程》
CAS
北大核心
2024
1
在线阅读
下载PDF
职称材料
2
面向半导体湿法制程的超洁净流控技术综述
杨津宇
杨军
白晓蓉
任政钢
刘成卫
龚轩
胡亮
阮晓东
《液压与气动》
北大核心
2022
5
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职称材料
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