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高功率光学元件校正波前的梯度均方根指标
1
作者
黄晚晴
张颖
+2 位作者
刘兰琴
耿远超
王文义
《强激光与粒子束》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2015年第5期1-4,共4页
对高功率固体激光装置中,光学元件波前经过变形镜校正后的梯度均方根指标开展了研究。建立了变形镜校正效果的等效分解方法,分析了校正波前的部分相干叠加特性,对校正波前的梯度均方根与焦斑尺寸的对应关系进行了研究。解决了在有变形...
对高功率固体激光装置中,光学元件波前经过变形镜校正后的梯度均方根指标开展了研究。建立了变形镜校正效果的等效分解方法,分析了校正波前的部分相干叠加特性,对校正波前的梯度均方根与焦斑尺寸的对应关系进行了研究。解决了在有变形镜校正时,如何制定元件波前梯度均方根指标的问题。研究结果对高功率固体激光装置的光学元件波前指标制定有指导意义。
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关键词
光学元件
波前梯度均方根
自适应光学
变形镜
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职称材料
大口径平面光学元件波前梯度数控抛光
被引量:
10
2
作者
黄金勇
赵恒
+1 位作者
胡庆
高胥华
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2019年第7期1473-1480,共8页
针对改善光学元件的波前梯度均方根指标,在总结面形精度及面形分布对波前梯度指标影响规律的基础上,提出了基于匀滑面形拟合加工的方法,给出了该方法的基本思想和工作流程。首先,对原始面形数据进行扫描计算,标记波前突变数据。然后,采...
针对改善光学元件的波前梯度均方根指标,在总结面形精度及面形分布对波前梯度指标影响规律的基础上,提出了基于匀滑面形拟合加工的方法,给出了该方法的基本思想和工作流程。首先,对原始面形数据进行扫描计算,标记波前突变数据。然后,采用NURBS拟合算法重构相邻面形突变点之间的数据,生成用于指导加工的面形数据。最后,根据待加工面形数据选择相应参数进行面形加工。采用多件610mm×440mm口径K9材料平面反射镜进行实验验证。实验结果表明,使用该方法进行数控加工,在2~3个加工周期内可使波前梯度均方根指标从11nm/cm收敛至7.7nm/cm以内,且面形几乎保持不变。
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关键词
光学加工
光学元件
数控抛光
波前梯度均方根
匀滑面形拟合
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职称材料
光学元件波前梯度的数值计算方法
被引量:
5
3
作者
柴立群
许乔
+1 位作者
石琦凯
邓燕
《强激光与粒子束》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2005年第6期841-844,共4页
惯性约束聚变系统中光学元件的波前梯度均方根是一个关键参数,对其数值计算涉及到的空域处理、频域滤波及梯度算法等关键技术进行了理论分析。分别采用最简单差分算法、中心差分算法、最小二乘拟合算法、“五点法”对实测波前数据进行...
惯性约束聚变系统中光学元件的波前梯度均方根是一个关键参数,对其数值计算涉及到的空域处理、频域滤波及梯度算法等关键技术进行了理论分析。分别采用最简单差分算法、中心差分算法、最小二乘拟合算法、“五点法”对实测波前数据进行了梯度均方根值计算。结果表明波前数据的空域处理采用Quadflip技术较为合适;频域滤波器的选用上应着重考虑滤波的有效性。对于原始波前,4种算法计算梯度均方根值的差别小于0.01λ/cm(λ=632.8nm);而对于截止频率为0.0303线/mm的低通滤波后波前,其差别小于0.001λ/cm,该差别对计算结果的影响可以忽略。
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关键词
波前梯度均方根
光学检测
傅里叶变换
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职称材料
题名
高功率光学元件校正波前的梯度均方根指标
1
作者
黄晚晴
张颖
刘兰琴
耿远超
王文义
机构
中国工程物理研究院激光聚变研究中心
出处
《强激光与粒子束》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2015年第5期1-4,共4页
基金
中国工程物理研究物科学技术发展基金项目(2013B0401067)
文摘
对高功率固体激光装置中,光学元件波前经过变形镜校正后的梯度均方根指标开展了研究。建立了变形镜校正效果的等效分解方法,分析了校正波前的部分相干叠加特性,对校正波前的梯度均方根与焦斑尺寸的对应关系进行了研究。解决了在有变形镜校正时,如何制定元件波前梯度均方根指标的问题。研究结果对高功率固体激光装置的光学元件波前指标制定有指导意义。
关键词
光学元件
波前梯度均方根
自适应光学
变形镜
Keywords
optics element
RMS gradient
adaptive optics
deformable mirror
分类号
O439 [机械工程—光学工程]
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职称材料
题名
大口径平面光学元件波前梯度数控抛光
被引量:
10
2
作者
黄金勇
赵恒
胡庆
高胥华
机构
成都精密光学工程研究中心
出处
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2019年第7期1473-1480,共8页
基金
国家863高技术研究发展计划资助项目
文摘
针对改善光学元件的波前梯度均方根指标,在总结面形精度及面形分布对波前梯度指标影响规律的基础上,提出了基于匀滑面形拟合加工的方法,给出了该方法的基本思想和工作流程。首先,对原始面形数据进行扫描计算,标记波前突变数据。然后,采用NURBS拟合算法重构相邻面形突变点之间的数据,生成用于指导加工的面形数据。最后,根据待加工面形数据选择相应参数进行面形加工。采用多件610mm×440mm口径K9材料平面反射镜进行实验验证。实验结果表明,使用该方法进行数控加工,在2~3个加工周期内可使波前梯度均方根指标从11nm/cm收敛至7.7nm/cm以内,且面形几乎保持不变。
关键词
光学加工
光学元件
数控抛光
波前梯度均方根
匀滑面形拟合
Keywords
optical manufacture
optical elements
Computer Numerical Controlled(CNC) polishing
Gradient Root Mean Square(GRMS)
smoothing surface shape by fitting
分类号
TG74 [金属学及工艺—刀具与模具]
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职称材料
题名
光学元件波前梯度的数值计算方法
被引量:
5
3
作者
柴立群
许乔
石琦凯
邓燕
机构
成都精密光学工程研究中心
出处
《强激光与粒子束》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2005年第6期841-844,共4页
基金
国家863计划项目资助课题
文摘
惯性约束聚变系统中光学元件的波前梯度均方根是一个关键参数,对其数值计算涉及到的空域处理、频域滤波及梯度算法等关键技术进行了理论分析。分别采用最简单差分算法、中心差分算法、最小二乘拟合算法、“五点法”对实测波前数据进行了梯度均方根值计算。结果表明波前数据的空域处理采用Quadflip技术较为合适;频域滤波器的选用上应着重考虑滤波的有效性。对于原始波前,4种算法计算梯度均方根值的差别小于0.01λ/cm(λ=632.8nm);而对于截止频率为0.0303线/mm的低通滤波后波前,其差别小于0.001λ/cm,该差别对计算结果的影响可以忽略。
关键词
波前梯度均方根
光学检测
傅里叶变换
Keywords
Calculations
Fourier transforms
Frequency domain analysis
Inertial confinement fusion
Least squares approximations
Optical filters
Optical testing
Wavefronts
分类号
O436 [机械工程—光学工程]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
高功率光学元件校正波前的梯度均方根指标
黄晚晴
张颖
刘兰琴
耿远超
王文义
《强激光与粒子束》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2015
0
在线阅读
下载PDF
职称材料
2
大口径平面光学元件波前梯度数控抛光
黄金勇
赵恒
胡庆
高胥华
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2019
10
在线阅读
下载PDF
职称材料
3
光学元件波前梯度的数值计算方法
柴立群
许乔
石琦凯
邓燕
《强激光与粒子束》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2005
5
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