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题名大口径离轴凸非球面系统拼接检验技术
被引量：13
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作者
王孝坤
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机构
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
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出处
《中国光学》
EI
CAS
CSCD
2016年第1期130-136,共7页
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基金
国家高技术研究发展计划(863计划)资助项目(No.O8663NJ090)
国家重大基础研究计划(973计划)资助项目(No.2011CB0132005)
国家自然科学基金重点资助项目(No.61036015)~~
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文摘
针对大口径离轴凸非球面面形检测的困难,本文将光学系统波像差检验技术与子孔径拼接干涉技术相结合,提出了凸非球面系统拼接检测方法。对该方法的基本原理和具体实现过程进行了分析和研究,并建立了合理的子孔径拼接数学模型。当离轴三反光学系统的主镜和三镜加工完成以后,对整个系统进行装调和测试,并依次测定光学系统各视场的波像差分布,通过综合优化子孔径拼接算法和全口径面形数据插值可以求解得到大口径非球面全口径的面形信息,从而为非球面后续加工和系统的装调提供了依据和保障。结合工程实例,对一口径为287 mm×115 mm的离轴非球面次镜进行了系统拼接测试和加工,经过两个周期的加工和测试,其面形分布的RMS值接近1/30λ(λ=632.8 nm)。
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关键词
光学检测
大口径非球面
三镜消像散系统
波像差检验
子孔径拼接干涉技术
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Keywords
optical testing
large aspheric surface
three mirror astigmatism （ TMA ）
wave aberration testing
subaperture stitching interferometry （SSI）
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分类号
TQ171.65
[化学工程—玻璃工业]
O436.1
[机械工程—光学工程]
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